一种硅料清洗装载机构制造技术

本发明专利技术公开了一种硅料清洗装载机构，它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内安装有转轴，转轴一端安装有从动齿轮，清洗架固定在清洗槽底部，清洗槽底部设置有传动轴，传动轴的两端部安装在轴承座上，传动轴上设置有传动齿轮，传动齿轮与从动齿轮啮合连接，带动多个承载篮旋转，传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内从动齿轮与清洗槽底部传动轴上的传动齿轮啮合，从而带动多个承载篮旋转，采用这种硅料旋转清洗方式，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。

A Silicon Cleaning Loading Mechanism

The invention discloses a silicon material cleaning loading mechanism, which comprises a cleaning trough, a cleaning rack placed in the cleaning trough and a plurality of carrying baskets placed in the cleaning rack. A plurality of carrying baskets are stacked from bottom to top along the cleaning rack, a rotating shaft is installed in the cleaning rack, a driven gear is installed at one end of the rotating shaft, a cleaning rack is fixed at the bottom of the cleaning trough, and a transmission shaft is arranged at the bottom of the cleaning trough. The two ends of the transmission shaft are installed on the bearing seat. The transmission shaft is provided with transmission gears. The transmission gears are meshed with the driven gears to drive the rotation of multiple bearing baskets. The transmission shaft is connected with the driving motor through chains and sprockets. A plurality of load-bearing baskets are stacked from bottom to top along the cleaning rack. The driven gears in the cleaning rack mesh with the transmission gears on the bottom drive shaft of the cleaning groove, thus driving the rotation of multiple load-bearing baskets. This kind of silicon rotary cleaning method can effectively improve the uniformity, cleaning efficiency and cleanliness of silicon cleaning.

【技术实现步骤摘要】
一种硅料清洗装载机构
本专利技术涉及一种硅料清洗装载机构，具体涉及一种半导体领域的湿法设备上的硅料清洗装载机构。
技术介绍
传统的硅料清洗承载篮为框式结构，制作硅片的硅料通常需要进行腐蚀、清洗等前序工艺的处理。在传统的前序工艺处理中，原有硅料的盛载篮大多为方篮机构，硅料直接置于方篮(或分层置于方篮)中，通过浸泡和上下抛动的方式对硅料进行清洗，硅料在工序处理中无法做到翻动，而改变接触点，该清洗方式清洗效率低、不同深度的硅料清洗都不均匀。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种硅料清洗装载机构，采用硅料旋转清洗，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。本专利技术采用的技术方案：一种硅料清洗装载机构，它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，所述清洗架内安装有转轴，所述转轴一端安装有从动齿轮，所述清洗架固定在清洗槽底部，所述清洗槽底部设置有传动轴，所述传动轴上设置有传动齿轮，所述传动齿轮与从动齿轮啮合连接，从而带动多个承载篮旋转，所述传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。进一步的，所述承载篮安装在清洗架内的快拆支架内，所述快拆支架两端安装有快拆支架盖板。为了方便承载篮放置或取出。进一步的，所述清洗架的两端底部安装在清洗架限位底座上，所述清洗架限位底座固定于清洗槽底部。为了防止清洗架离清洗槽底部距离过近。进一步的，所述清洗架包括上盖板和下盖板，所述上盖板和下盖板之间通过多个立柱连接成一体，多个立柱沿着上下盖板圆周方向均匀分布。清洗架的结构合理，能有序层叠放置承载篮。进一步的，所述承载篮包括圆筒状的篮体，所述篮体上端设有加料口，所述篮体的加料口上通过搭扣连接篮盖。进一步的，所述篮体顶部、侧面和底部均匀设有多个液体流通孔。与现有技术相比，本专利技术的有益效果：多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内从动齿轮与清洗槽底部传动轴上的传动齿轮啮合，从而带动多个承载篮旋转，采用这种硅料旋转清洗方式，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。附图说明图1是本专利技术的硅料清洗装载机构的结构示意图。图2是本专利技术的硅料清洗装载机构的侧视图。图3是本专利技术的清洗架的立体图。图4是本专利技术的清洗架的俯视图。图5是本专利技术的承载篮的结构示意图。1、驱动电机，2、链条，3、清洗槽，4、清洗架，41、上盖板，42、下盖板，43、立柱，5、从动齿轮，6、快拆支架，7、承载篮，8、轴承座，9、清洗架限位底座，10、传动齿轮，11、传动轴，12、快拆支架盖板，13、链轮，14、篮盖，15、搭扣，16、篮体，17、顶部液体流通孔，18、侧面液体流通孔，19、底部液体流通孔，20、转轴，21、加料口。具体实施方式为了加深对本专利技术的理解，下面结合附图及具体实施方式进行详细描述，本说明书中描述的实施例仅用于解释本专利技术，并非用来限定本专利技术。图1、图2所示，本专利技术的一种硅料清洗装载机构，它包括清洗槽3、置于清洗槽3内的清洗架4和置于清洗架4内的承载篮7，多个承载篮7沿着清洗架4内从下到上依次层叠放置，清洗架4内安装有转轴20，转轴20一端安装有从动齿轮5，清洗架4固定在清洗槽3底部，清洗槽3底部设置有传动轴11，传动轴11的两端部安装在轴承座8上，传动轴11上设置有传动齿轮10，传动齿轮10与从动齿轮5啮合连接，从而带动多个承载篮7旋转，传动轴11通过链条2和链轮13与驱动电机1连接。驱动电机1提供动力，带动传动轴11旋转，传动轴11上的传动齿轮10与清洗架4上的从动齿轮5啮合，带动承载篮7旋转。为了方便承载篮7的取放，承载篮7安装在清洗架4内的快拆支架6内，快拆支架6两端安装有快拆支架盖板12。安装、拆卸方便。清洗架4的两端底部安装在清洗架限位底座9上，清洗架限位底座9固定于清洗槽3底部。为了防止清洗架离清洗槽底部距离过近，控制清洗槽3底部传动轴11上的传动齿轮10与清洗架4上的从动齿轮5的配合距离。图3、图4所示，清洗架4包括上盖板41和下盖板42，上盖板41和下盖板42之间通过多个立柱43连接成一体，多个立柱43沿着上下盖板圆周方向均匀分布。在这个立体空间内，结构合理，更够更好的叠放承载篮7。为了方便对硅料的加料，图5所示，承载篮7包括圆筒状的篮体16，篮体16上端设有加料口21，篮体16的加料口21上通过搭扣15连接篮盖14。同时篮体16顶部、侧面和底部均匀设有多个液体流通孔（顶部液体流通孔17、侧面液体流通孔18、底部液体流通孔19）。相比较与传统的浸泡和上下抛动的方式对硅料进行清洗，本专利技术的工装，使得硅料旋转清洗，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅料清洗装载机构，其特征在于：它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，所述清洗架内安装有转轴，所述转轴一端安装有从动齿轮，所述清洗架固定在清洗槽底部，所述清洗槽底部设置有传动轴，所述传动轴上设置有传动齿轮，所述传动齿轮与从动齿轮啮合连接，从而带动多个承载篮旋转，所述传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅料清洗装载机构，其特征在于：它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，所述清洗架内安装有转轴，所述转轴一端安装有从动齿轮，所述清洗架固定在清洗槽底部，所述清洗槽底部设置有传动轴，所述传动轴上设置有传动齿轮，所述传动齿轮与从动齿轮啮合连接，从而带动多个承载篮旋转，所述传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。2.根据权利要求1所述的一种硅料清洗装载机构，其特征在于：所述承载篮安装在清洗架内的快拆支架内，所述快拆支架两端安装有快拆支架盖板。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，何留杯，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32