可调制微波装置制造方法及图纸

本公开提供了一种可调制微波装置，包括一第一辐射体、一第二辐射体、以及一调制结构。第一辐射体包括一基板；一金属层，设置于基板上；一保护层，设置于至少部分的金属层上，且具有与金属层至少部分重叠的一穿孔；以及一蚀刻阻挡层，设置于金属层与保护层之间。第二辐射体与第一辐射体对应设置。调制结构设置于第一辐射体与第二辐射体之间。

Modulable microwave device

The present disclosure provides a modulatable microwave device comprising a first radiator, a second radiator and a modulation structure. The first radiator includes a substrate; a metal layer, which is arranged on the substrate; a protective layer, which is arranged on at least part of the metal layer and has a perforation overlapping with at least part of the metal layer; and an etching barrier layer, which is arranged between the metal layer and the protective layer. The second radiator is corresponding to the first radiator. The modulation structure is arranged between the first radiator and the second radiator.

【技术实现步骤摘要】
可调制微波装置
本公开主要关于一种微波装置，尤指一种可调制微波装置。
技术介绍
在可调制微波装置中，可使用液晶天线单元(Liquid-CrystalAntennaunit)，利用液晶的双介电系数特性，经由电场控制液晶的转动方向，会产生不同的介电系数，再经由电信号控制各液晶天线单元中液晶的排列，改变微波系统中各单元的介电参数，借以控制可调制微波装置中微波信号的相位或振幅，经搭配后此可调制微波装置辐射出来的波前直进方向，即为可调制微波装置辐射方向。借由可调制微波装置辐射方向控制，可搜寻最强微波信号，随信号来源调整收发辐射角度，增强通讯品质。此信号的来源可以是太空的卫星、地面的基站、或其他的信号源。可调制微波装置的无线通讯可应用在各种交通工具上，如飞机、游艇船只、火车、汽车、机车等，亦或是物联网、自动驾驶、无人载具等。与传统机械式相比，电子式可调制微波装置具平整、轻薄、反应速度快等优点。然而，虽然目前的可调制微波装置符合了其使用的目的，但尚未满足许多其他方面的要求。因此，需要提供可调制微波装置的改进方案。
技术实现思路
本公开提供了一种可调制微波装置，包括一第一辐射体、一第二辐射体、以及一调制结构。第一辐射体包括一基板；一金属层，设置于基板上；一保护层，设置于至少部分的金属层上，且具有与金属层至少部分重叠的一穿孔；以及一蚀刻阻挡层，设置于金属层与保护层之间。第二辐射体与第一辐射体对应设置。调制结构设置于第一辐射体与第二辐射体之间。本公开提供了一种可调制微波装置，包括一第一辐射体、一第二辐射体、以及一调制结构。第一辐射体，包括一基板；一缓冲层，设置于基板上；一金属层，设置于缓冲层上；一保护层，设置于部分的金属层上，且具有一穿孔；以及一蚀刻阻挡层，设置于金属层与缓冲层之间。第二辐射体与第一辐射体分离。调制结构设置于第一辐射体与第二辐射体之间。穿孔暴露出部分蚀刻阻挡层。附图说明为让本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本专利技术的具体实施方式作详细说明，其中：图1为根据本公开的一些实施例中可调制微波装置的示意图。图2为本公开的第一实施例的辐射体的示意图。图3A至图3D为本公开的第一实施例的辐射体于制程中间阶段的示意图。图4为根据本公开的一些实施例中辐射体的示意图。图5为本公开的第二实施例的辐射体的示意图。图6A至图6D为本公开的第二实施例的辐射体于制程中间阶段的示意图。图7为本公开的第三实施例的辐射体的示意图。图8为本公开的第三实施例的辐射体于制程中间阶段的示意图。图9为本公开的第四实施例的辐射体的示意图。图10A与图10B为本公开的第四实施例的辐射体于制程中间阶段的示意图。图11为本公开的第五实施例的辐射体的示意图。图12为本公开的第五实施例的辐射体于制程中间阶段的示意图。图13为本公开的一些实施例中的两辐射体的示意图。图14为本公开的一些实施例中的辐射体30与辐射体60的示意图。符号说明：可调制微波装置1辐射体10基板11传递层12粘着层13支撑结构20辐射体30传递层31开口区312基板32连接孔321第一表面322第二表面323辐射信号层33开口区331、331a、331b、331c穿孔332a、332b、332c粘着层34基板35调制结构40密封壁41调制材料42调制分子421支撑结构50辐射体60辐射信号层61穿孔611a、611b、611c基板62第三表面623第四表面624支撑结构70缓冲层A1金属层A2绝缘层A3蚀刻阻挡层A4保护层A5导电层A6金属层B2绝缘层B3蚀刻阻挡层B4保护层B5导电层B6第一电路层B7绝缘层B8第二电路层B9绝缘层B10粘着层C1传递层C2叠置方向D1光阻P1、P2、P3参考平面R1微波传导层S1具体实施方式以下的说明提供了许多不同的实施例、或是例子，用来实施本专利技术的不同特征。以下特定例子所描述的元件和排列方式，仅用来精简的表达本专利技术，其仅作为例子，而并非用以限制本专利技术。例如，第一特征在一第二特征上或上方的结构的描述包括了第一和第二特征之间直接接触，或是以另一特征设置于第一和第二特征之间，以致于第一和第二特征并不是直接接触。本说明书的第一以及第二等词汇，仅作为清楚解释的目的，并非用以对应于以及限制专利范围。此外，第一特征以及第二特征等词汇，并非限定是相同或是不同的特征。于此使用的空间上相关的词汇，例如上方或下方等，仅用以简易描述附图上的一元件或一特征相对于另一元件或特征的关系。除了附图上描述的方位外，包括于不同的方位使用或是操作的装置。附图中的形状、尺寸、厚度、以及倾斜的角度可能为了清楚说明的目的而未依照比例绘制或是被简化，仅提供说明之用。可理解的是，于下列各实施例的方法中的各步骤中，可于各步骤之前、之后以及其间增加额外的步骤，且于前述的一些步骤可被置换、删除或是移动。图1为根据本公开的一些实施例中可调制微波装置1的示意图。可调制微波装置1可为一液晶天线装置。可调制微波装置1可用以发射微波信号。微波信号的频率范围可为300MHz至300GHz之间。于另一实施例中，微波信号的频率范围可为10GHz至40GHz之间。可调制微波装置1可包括一辐射体10、一支撑结构20、一辐射体30、一调制结构40、一密封壁41、一支撑结构50以及一辐射体60。辐射体10沿一参考平面R1延伸。支撑结构20设置于辐射体10上。辐射体30设置于支撑结构20上。辐射体30可平行辐射体10。辐射体10与辐射体30之间具有一微波传导层S1，且微波传导层S1用以供一微波信号进行传输。于一些实施例中，微波传导层S1为气体、实质上真空、液体、绝热材料或其他适合作为微波传导层的介质或其组合。辐射体10包括一基板11以及一传递层12。基板11沿参考平面R1延伸。基板11可由刚性材质所制成。于一些实施例中，基板11的材质可为玻璃材质、金属材质、塑胶材质或其他绝缘材质，但不以此为限。传递层12设置于基板11上。传递层12可为一薄层结构。传递层12可由金属材质、导电材质或其他适合作为传递层材料或其组合所制成。于一些实施例中，传递层12可覆盖基板11超过1/2或是1/3的面积。于一些实施例中，传递层12可覆盖基板11超过4/5的面积。于一些实施例中，传递层12可接地。需说明的是，若基板11为金属材质时，传递层12与基板11可以是一体成型。支撑结构20设置于辐射体10上，且连接辐射体30。换句话说，支撑结构20位于辐射体10以及辐射体30之间。于本实施例中，支撑结构20设置于传递层12上。于另一实施例中，支撑结构20设置于基板11上。支撑结构20沿一叠置方向D1延伸，上述的叠置方向D1可垂直于参考平面R1。换句话说，叠置方向D1也为基板11的法线方向。于一些实施例中，支撑结构20包括绝缘材质、刚性材质、或刚性绝缘材质。支撑结构20用以间隔辐射体10以及辐射体30，并维持辐射体10以及辐射体30之间的距离，以使辐射体10以及辐射体30之间形成微波传导层S1。于一些实施例中，支撑结构20、传递层12与基板11可以是一体成型。辐射体30包括一传递层31、一基板32、以及一辐射信号层33。传递层31设置于基板32的第一表面322上。传递层31可为一薄层结构，可覆盖超过基板32的第一表面322的2/3的面积本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调制微波装置，其特征在于，包括：一第一辐射体，包括：一基板；一金属层，设置于该基板上；一保护层，设置于至少部分的该金属层上，且具有一穿孔，该穿孔与该金属层至少部分重叠；以及一蚀刻阻挡层，设置于该金属层与该保护层之间；一第二辐射体，与该第一辐射体对应设置；以及一调制结构，设置于该第一辐射体与该第二辐射体之间。

【技术特征摘要】
2017.06.22 US 62/523,336;2017.08.08 US 62/542,373;1.一种可调制微波装置，其特征在于，包括：一第一辐射体，包括：一基板；一金属层，设置于该基板上；一保护层，设置于至少部分的该金属层上，且具有一穿孔，该穿孔与该金属层至少部分重叠；以及一蚀刻阻挡层，设置于该金属层与该保护层之间；一第二辐射体，与该第一辐射体对应设置；以及一调制结构，设置于该第一辐射体与该第二辐射体之间。2.如权利要求1所述的可调制微波装置，其特征在于，该第一辐射体更包括一绝缘层，设置于该保护层与该金属层之间。3.如权利要求2所述的可调制微波装置，其特征在于，该金属层的厚度对该保护层的厚度的比值介于4至25之间。4.如权利要求1所述的可调制微波装置，其特征在于，部分该蚀刻阻挡层未与该保护层重叠。5.如权利要求1所述的可调制微波装置，其特征在于，该第一辐射体更包括一导电层，设置于该金属层上且延伸至该穿孔内，其中部分的该导电层与该蚀刻阻挡层重叠。6.如权利要求5所述的可调制微波装置，其特征在于，部分的该蚀刻阻挡层位于该导电层以及该金属层之间。7.如权利要求5所述的可调制微波装置，其特征在于，部分的该导电层设置于该保护层上。8.如权利要求5所述的可调制微波装置，其特征在于，部分的该导电层设置于该蚀刻阻挡层以及该金属层之间。9.如权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宜音，林宜宏，何家齐，宋立伟，翁銘彦，曾弘毅，罗国淳，苏夏琳，高克毅，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71