The aim is to provide a technology for semiconductor devices to suppress the warpage of cooling plates caused by shrinkage of bonding materials, thereby suppressing the reduction of cooling performance. Semiconductor device (100) has: cooling plate (11) with circuit pattern disposed on insulator; cooling plate (12) with circuit pattern disposed on insulator relative to cooling plate (11); semiconductor chip (15), which is joined between circuit pattern of cooling plate (11) and circuit pattern of cooling plate (12) by bonding material; and shell (13), cooling plate (11) and cooling plate (11). (12) The outer part is maintained, and part of the cooling plate (11) and the cooling plate (12) and the semiconductor chip are accommodated. The semiconductor chip is mounted between the cooling plate (11) and the cooling plate (12) in the semiconductor chip mounting parts (11a, 12a). The upper and lower widths of the shell and the corresponding parts of the semiconductor chip mounting part and its surrounding parts are larger than the upper and lower widths of the other parts of the shell.
【技术实现步骤摘要】
半导体装置
本专利技术涉及具有对半导体芯片的上表面和下表面这两者进行冷却的双面冷却构造的半导体装置。
技术介绍
作为半导体装置,存在具有对半导体芯片的上表面和下表面这两者进行冷却的双面冷却构造的半导体装置。就以往的具有双面冷却构造的半导体装置而言,例如,在半导体芯片的上表面和下表面用焊料将由Cu材料构成的一对散热板接合,在一对散热板之间封装有绝缘材料。例如,在专利文献1中提出了具有如下构造的半导体装置,即,将在绝缘性薄板之上层叠金属制散热板并在金属制散热板之上层叠有金属制薄板的构造物,接合于半导体芯片的上表面和下表面。专利文献1:日本特开平11-204703号公报但是,就专利文献1所记载的半导体装置而言,由于将半导体芯片与金属制薄板接合时所产生的接合材料的收缩,使得金属制薄板的半导体芯片搭载部被向半导体芯片侧拉拽。由此,存在如下问题,即,由于上下的冷却板翘曲而使得上侧的金属制薄板和下侧的金属制薄板的平行度变差,半导体装置的冷却性能降低。
技术实现思路
因此,本专利技术的目的在于针对半导体装置提供如下技术,即,通过对接合材料的收缩所引起的冷却板的翘曲进行抑制,从而能够抑制冷却性能的降低。本专利技术涉及的半导体装置具备:第1冷却板,其具备在绝缘体之上配置的电路图案;第2冷却板,其与所述第1冷却板相对地配置,具备在绝缘体之上配置的电路图案;半导体芯片,其由接合材料接合在所述第1冷却板的所述电路图案和所述第2冷却板的所述电路图案之间;以及壳体,其对所述第1冷却板及所述第2冷却板的外周部进行保持,且收容所述第1冷却板及所述第2冷却板的一部分和所述半导体芯片,所述半导体芯 ...
【技术保护点】
1.一种半导体装置,其具备:第1冷却板,其具备在绝缘体之上配置的电路图案;第2冷却板,其与所述第1冷却板相对地配置,具备在绝缘体之上配置的电路图案;半导体芯片,其由接合材料接合在所述第1冷却板的所述电路图案和所述第2冷却板的所述电路图案之间;以及壳体,其对所述第1冷却板及所述第2冷却板的外周部进行保持,且收容所述第1冷却板及所述第2冷却板的一部分和所述半导体芯片,所述半导体芯片搭载于所述第1冷却板和所述第2冷却板之间的半导体芯片搭载部,所述壳体的与所述半导体芯片搭载部及其周边对应的部分的上下宽度比所述壳体的其它部分的上下宽度大。
【技术特征摘要】
2017.06.26 JP 2017-1239551.一种半导体装置,其具备:第1冷却板,其具备在绝缘体之上配置的电路图案;第2冷却板,其与所述第1冷却板相对地配置,具备在绝缘体之上配置的电路图案;半导体芯片,其由接合材料接合在所述第1冷却板的所述电路图案和所述第2冷却板的所述电路图案之间;以及壳体,其对所述第1冷却板及所述第2冷却板的外周部进行保持,且收容所述第1冷却板及所述第2冷却板的一部分和所述半导体芯片,所述半导体芯片搭载于所述第1冷却板和所述第2冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员:宫本昇,佐佐木太志,
申请(专利权)人:三菱电机株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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