The invention discloses a Four-Degree-of-Freedom magnetic field measuring device, which comprises a gantry motion platform module (1), a probe connecting rod module (2), and a rotary platform module (3). The gantry motion module (1) is connected by three linear motion platforms, and can move along X, Y and Z directions by motor, thus accurately controlling the position and coordinates of the probe; the probe connecting rod module (2) is composed of a connecting rod base, a connecting rod and a Gauss probe. The Gauss probe is located at the front end of the connecting rod and can rotate 360 degrees to measure the different components of the magnetic field. The rotating platform module (3) consists of a horizontal platform and a rotating platform, which is used to fix the gantry moving platform. The rotating platform can rotate at a certain angle and adjust the magnetic measuring angle. The invention relates to a magnet measuring device, which belongs to the field of semiconductor manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
一种四自由度磁场测试装置
本专利技术涉及一种半导体器件制造装备，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机各个磁铁磁场测量的装置。
技术介绍
随着集成电路工艺的不断进步，离子注入设备也在随之不断更新换代。离子注入设备可用于各种材料改性、半导体元器件制造、电子器件制造等领域。离子注入机主要由各种不同结构的磁铁组成。其中包括分析磁铁、平行透镜、四极透镜等。磁铁属于离子注入设备的核心部件，直接决定了离子注入设备的性能高低。而不同磁铁结构不同、磁场不同，其存在机械结构复杂、磁场分布复杂等特点。因此在磁铁生产完成后，需要专业的磁场测量设备测试磁铁不同位置的磁场，以准确掌握磁铁的工作能力。
技术实现思路
本专利技术公开了一种四自由度磁场测试装置，可用于绝大部分离子注入设备所用磁铁的磁场测试。其可以在三维空间实现准确定位，并且可以在一定角度内旋转测量，测量范围大、位置控制准确。本专利技术公开了一种四自由度磁场测试装置，包括：龙门运动平台模块、探头连杆模块、旋转平台模块。其可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；高斯探头位于连杆前端，可作360°...
【技术保护点】
1.一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)，其特征在于：龙门运动平台可在三维空间内准确定位坐标，旋转台可准确控制探头与磁铁平行度，探头可360°旋转，易于测试磁场分量。
【技术特征摘要】
1.一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)，其特征在于：龙门运动平台可在三维空间内准确定位坐标，旋转台可准确控制探头与磁铁平行度，探头可360°旋转，易于测试磁场分量。2.如权利要求1所述的一种四自由度磁场测量装置，龙门运动平台模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标，其X(左右)方向运动范围为800mm，Y(垂直)方向...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾晓亮，王凯波，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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