致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法。分光测定装置具备：静电致动器(56)，通过被施加驱动电压而驱动；间隙检测器(151)，检测间隙(G1)的尺寸；闭环系统(15L)，根据来自间隙检测器(151)的检测信号，控制向静电致动器(56)施加的驱动电压；以及增益设定单元(164)，根据基于间隙检测器(151)的检测信号的静电致动器(56)的驱动特性，设定闭环系统(15L)中的增益。

【技术实现步骤摘要】
致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法本申请是申请日为2015年1月26日、申请号为201510038264.0、专利技术名称为“致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。
本专利技术涉及致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法。
技术介绍
现有技术中，已知有具备相互对置的一对基板、分别配置在各基板而相互对置的反射膜以及分别配置在各基板而相互对置的电极的波长可变干涉滤波器(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器中，在各基板分别配置有相互对置的静电电容监视器用电极以及相互对置的静电力施加用电极(静电致动器)。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过控制电路向静电致动器施加电压，从而使反射膜间的间隙量(间隔尺寸)发生变化。另外，通过用静电电容检测电路检测静电电容监视器用电极的电位，并基于检测到的静电电容微调(反馈控制)从控制电路向静电致动器施加的电压，从而能够将反射膜间间隙的间隙量设定为期望的目标值。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开平1－94312号公报
技术实现思路
专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器控制装置，其特征在于，包括：检测单元，检测波长可变干涉滤波器的第一反射膜与所述波长可变干涉滤波器的第二反射膜间的间隙尺寸；以及反馈环路，根据检测到的所述间隙尺寸，控制向所述波长可变干涉滤波器的致动器施加的驱动电压，所述反馈环路中的增益与基于检测到的所述间隙尺寸的所述致动器的驱动特性相应。

【技术特征摘要】
2014.01.27 JP 2014-0121251.一种致动器控制装置，其特征在于，包括：检测单元，检测波长可变干涉滤波器的第一反射膜与所述波长可变干涉滤波器的第二反射膜间的间隙尺寸；以及反馈环路，根据检测到的所述间隙尺寸，控制向所述波长可变干涉滤波器的致动器施加的驱动电压，所述反馈环路中的增益与基于检测到的所述间隙尺寸的所述致动器的驱动特性相应。2.根据权利要求1所述的致动器控制装置，其特征在于，所述致动器控制装置还包括设定所述增益的增益设定单元。3.根据权利要求1或2所述的致动器控制装置，其特征在于，所述致动器控制装置具备第一部件以及与所述第一部件相对的第二部件，所述致动器具备设于所述第一部件的第一电极以及设于所述第二部件并与所述第一电极相对的第二电极，所述检测单元检测所述第一部件与所述第二部件间的间隙尺寸。4.根据权利要求2所述的致动器控制装置，其特征在于，所述增益设定单元基于未对所述致动器施加所述驱动电压的初始状态下的所述间隙尺寸设定所述增益。5.根据权利要求2或4所述的致动器控制装置，其特征在于，所述增益设定单元取得所述驱动电压和施加该驱动电压时由所述检测单元检测到的所述间隙尺寸的多组组合，并基于这些组合设定所述增益。6.根据权利要求2或4所述的致动器控制装置，其特征在于，所述反馈环路具有控制器，所述控制器基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP