一种用于零位对准的光栅结构制造技术

技术编号:19932167 阅读:73 留言:0更新日期:2018-12-29 03:48
本实用新型专利技术公开了一种用于零位对准的光栅结构,涉及精密加工技术领域,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置,其中,所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝,且所述标尺光栅上设置有N个凸台;将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜,所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上;在焦点处接收所述一级衍射光,并将光信号转化为电信号的探测器。通过上述装置解决了现有技术中的光栅零位对准的精度较低,难以装配的技术问题,达到了便于装配,对准精度高,对准距离较远的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于零位对准的光栅结构
本技术属于精密加工
,尤其涉及一种用于零位对准的光栅结构。
技术介绍
由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件称为光栅。一般常用的光栅是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成,刻痕为不透光部分,两刻痕之间的光滑部分可以透光,相当于一狭缝。精制的光栅,在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅,还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅,如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕,两刻痕间的光滑金属面可以反射光,这种光栅称为反射光栅。但本申请专利技术人在实现本申请实施例中技术方案的过程中,发现上述现有技术至少存在如下技术问题:现有技术中的光栅零位对准的精度较低,对准距离较近。
技术实现思路
本申请实施例通过提供一种用于零位对准的光栅结构,解决了现有技术中的光栅零位对准的精度较低,对准距离较近,难以装配的技术问题,达到了便于装配,对准精度高,对准距离较远的技术效果。本技术实施例提供了一种用于零位对准的光栅结构,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于零位对准的光栅结构,其特征在于,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置,且,所述平行光经过所述扫描光栅之后,在所述标尺光栅表面产生反射和衍射,其中,所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝和N个凸台;将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜,所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上;在焦点处接收所述一级衍射光,并将光信号转化为电信号的探测器,所述探测器设置在聚焦后的所述一级衍射光的光路上。

【技术特征摘要】
1.一种用于零位对准的光栅结构,其特征在于,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置,且,所述平行光经过所述扫描光栅之后,在所述标尺光栅表面产生反射和衍射,其中,所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝和N个凸台;将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜,所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上;在焦点处接收所述一级衍射光,并将光信号转化为电信号的探测器,所述探测器设置在聚焦后的所述一级衍射光的光路上。2.如权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述标尺光栅尺寸为5mm*10mm;所述扫描光栅尺寸为5mm*5mm。3.如权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述扫描光栅的材质为玻璃板,且,所述玻璃板上具有一金属层。4...

【专利技术属性】
技术研发人员:周康范小康孙禹严爽王竹萍
申请(专利权)人:武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司
类型:新型
国别省市:湖北,42

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