下载一种用于零位对准的光栅结构的技术资料

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本实用新型公开了一种用于零位对准的光栅结构,涉及精密加工技术领域,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相...
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