【技术实现步骤摘要】
一种多用途扫描电镜样品台
本技术属于分析用试验设备领域，更具体地，涉及一种多用途扫描电镜样品台。
技术介绍
扫描电镜全称为扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)，是一种采用电子束为光源的表面观察手段，通过收集电子束与样品表面物质作用后产生的信号进行成像，极高的放大倍数和图像分辨率使之成为一种十分先进的样品表面表征手段。同时扫描电镜配备的电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction，EBSD)附件，可以获得材料的结构和取向信息，近些年来已成为晶体材料尤其是金属材料、陶瓷材料分析不可或缺的有力工具，是高水平论文必不可少的分析手段之一。在使用扫描电镜分析时样品稳固装夹是很重要的要求之一，通常用到最多的固定手段是导电胶，但对于小而薄的块状样品的加持不适用，在后续测试中则会出现样品表面采集图像漂移的现象，严重影响拍摄效果和放大倍数。尤其在测试EBSD时，小而薄的块状样品和大而厚的块状样品需要倾斜70°，此时既要求样品稳固装夹又要避免由于样品自重引起的图像漂移现像，用导电胶固定样品很难满足要求。技术内...
【技术保护点】
1.一种多用途扫描电镜样品台，其特征在于，包括：样品台主体(3)、阶梯轴插台(1)、插台紧固螺钉(4)以及两个样品紧固螺钉(2)；样品台主体(3)包括主体部(31)以及从主体部(31)向上延伸的两个支架(32)；两个支架(32)上各设有一个水平螺纹孔(33)，两个水平螺纹孔(33)同轴且对称布置；两个样品紧固螺钉(2)一一对应设于两个水平螺纹孔(33)中；主体部(31)上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部(31)的竖直通孔(34)以及连通竖直通孔(34)与主体部(31)侧壁的插台紧固螺纹孔(35)；阶梯轴插台(1)上部为样品承载台(11)，下部为插台杆(12)；插台杆(12)...
【技术特征摘要】
1.一种多用途扫描电镜样品台，其特征在于，包括：样品台主体(3)、阶梯轴插台(1)、插台紧固螺钉(4)以及两个样品紧固螺钉(2)；样品台主体(3)包括主体部(31)以及从主体部(31)向上延伸的两个支架(32)；两个支架(32)上各设有一个水平螺纹孔(33)，两个水平螺纹孔(33)同轴且对称布置；两个样品紧固螺钉(2)一一对应设于两个水平螺纹孔(33)中；主体部(31)上设有三通孔，三通孔包括贯通主体部(31)的竖直通孔(34)以及连通竖直通孔(34)与主体部(31)侧壁的插台紧固螺纹孔(35)；阶梯轴插台(1)上部为样品承载台(11)，下部为插台杆(12)；插台杆(12)插入竖直通孔(34)中，插台紧固螺钉(4)穿过插台紧固螺纹孔(35)将插台杆(12)固定于竖直通孔(34)中。2.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：郜鲜辉，罗慧倩，吴金金，李明辉，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42
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