带电粒子束装置以及试样保持器制造方法及图纸

本发明专利技术为了提供能够容易搜索观察视场的试样保持器，设为该试验保持器具有：试样搭载部(137)，其具备形成有通过搭载具有对位用图案的试样支承部件(115)而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使第一顶面水平地旋转的旋转轴；试样台部(141)，其具备试样搭载部能够上下活动的开口部以及开口部周边的第二顶面；以及试样盖部(140)，其具有导电性并且通过向试样台部的第二顶面的方向按压而使搭载于试样搭载部的试样支承部件的顶面与试样台部的第二顶面成为相同高度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带电粒子束装置以及试样保持器
本专利技术涉及带电粒子束装置以及试样保持器。
技术介绍
在以扫描电子显微镜(以下，称为SEM)为代表的带电粒子束装置中，将通过静电透镜、电磁透镜等精细地聚焦的带电粒子束在试样上进行扫描，从试样得到期望的信息(例如试样像)。在使用这种装置观察试样时，判断当前视场处于试样的哪一位置，需要将视场移动至要观察的部位(以下，称为观察视场搜索)。在专利文献1中公开了能够将在利用光学显微镜(以下，称为OM)的观察中所使用的滑动玻璃直接用作观察试样的、SEM用试样保持器以及搭载了该试样保持器的SEM。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-44967号公报
技术实现思路
带电粒子束装置具有以下优点：由于使用波长比光短的带电粒子束，因此分辨率高于OM，能够观察从几纳米至几百纳米等级大小的试样(或者试样的结构)。另一方面，根据带电粒子束装置的电子光学系统的条件，对用户来说难以进行视场搜索。针对该问题，在专利文献1中公开了以下方法：在带电粒子束装置观察试样之前，使用OM观察试样的全景，一边与得到的光学图像进行比较一边使用带电粒子束观察试样，由此进行观察视场搜索。然而，在专利文献1中存在以下问题：在使用由OM拍摄得到的图像(以下，称为观察位置指定图像)进行带电粒子束装置的观察视场搜索的情况下，使观察对象试样上的观察位置指定图像的坐标系与试样台的坐标系一致的校准作业变得繁杂。本专利技术的目的在于提供能够容易地搜索观察视场的带电粒子束装置以及试样保持器。作为用于实现上述目的的一个实施方式，有一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，上述试样保持器具有：试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度。根据本专利技术，可以提供能够容易地搜索观察视场的带电粒子束装置以及试样保持器。附图说明图1是表示SEM的系统结构例的截面图(局部框图)。图2A是表示观察对象试样的OM拍摄动作例的流程图。图2B是表示观察对象试样的SEM拍摄动作例的流程图。图3A是表示试样支承部件的概要结构例的鸟瞰图。图3B是表示试样支承部件(无试样)的概要结构例的俯视图。图3C是表示试样支承部件(有试样)的概要结构例的俯视图。图4A是表示试样保持器的概要结构例的鸟瞰图。图4B是图4A的A-A’截面图。图4C是表示试样保持器的其它概要结构例的鸟瞰图。图5A是表示电子显微镜像的初始视场与对位用图案的位置关系的俯视图。图5B是用于说明电子显微镜像的图案数据与电子显微镜像初始视场的位置关系的俯视图。图6是表示位置和倍率运算部的动作例的流程图。具体实施方式在实施例中，作为带电粒子束装置以SEM为例进行说明，但是本专利技术的带电粒子束装置并不限定于SEM。本专利技术所涉及的带电粒子束装置在由拍摄装置获取的试样的拍摄图像上，将由带电粒子束装置获取观察图像的该试样上的观察范围设定为视场范围，另一方面，在使用带电粒子束装置在与该视场范围对应的试样上的观察范围内照射带电粒子束而获取试样的观察图像时，只要将用于设定该视场范围的观察位置指定图像中的施加到试样支承部件的图案的形状和大小信息使用于带电粒子束的照射位置的校准即可，例如还包括扫描离子显微镜、扫描透射电子显微镜、透射电子显微镜、这些与试样加工装置的复合装置或者应用了这些的解析和检查装置等。以下，根据附图说明本专利技术的实施例所涉及的带电粒子束装置。此外，相同附图标记表示相同结构要素。实施例1<带电粒子束装置的系统结构例以及拍摄流程>首先，根据图1和图2A、图2B说明带电粒子束装置的系统结构例以及观察对象试样的拍摄流程。图1是表示带电粒子束装置(在此，SEM)的一例的概要结构图。SEM101具有：镜筒102、与试样室103一体化形成的显微镜装置主体104、以及分别控制SEM各部的控制装置(控制部)105，控制装置105与显示部150和操作部151相连接。在镜筒102中设置有释放电子束106的电子枪107以及对该电子束106进行照射控制的电子光学系统108。电子光学系统108包括：聚光透镜109，其使从电子枪107释放的电子束106聚焦；偏转器110，其扫描电子束106；以及物镜111，其以在试样112的表面上聚焦的方式使电子束106聚焦。图1的示例中，形成为还设置有检测器114的结构，该检测器114检测通过电子束106照射到试样112而产生的信号113(例如二次电子、反射电子等)。试样室103的结构形成为经由可打开和关闭的未图示的导入/导出口收容载置有试样支承部件115的试样保持器116，试样112载置于试样支承部件115。在试样支承部件115上形成有对位用图案117。使用图3A～图3C的试样支承部件115采用圆型盖玻璃的方式的情况下的概要结构例，在后文中详细说明试样支承部件115，使用图4A～图4C，在后文中还详细说明试样保持器116。试样保持器116具备能够容易地载置、旋转、固定试样支承部件115的机构，且具备以使对位用图案117处于SEM101进行拍摄时的初始视场内的方式来固定试样支承部件115的机构。在试样室103中设置有保持该试样保持器116的试样台118。当然试样室也进行真空排气。试样台118具备：被安装部119，其装卸自如地安装有试样保持器116；以及试样移动机构120，其使该被安装部119在试样室103内例如向水平面内和垂直面方向进行移动、或者进行旋转、倾斜，使试样室103内的试样112和试样支承部件115的位置、朝向按每个试样保持器116进行位移。使用控制装置105控制试样移动机构120和电子光学系统108，将电子束106照射到试样112的任意位置，使用检测器114检测所产生的信号113，由此能够进行试样的任意位置和倍率的电子显微镜观察。在此，上述倍率也可以是视场(FieldOfView：FOV)的宽度或者设为数字图像的情况下的每个像素所示的长度(像素大小)等。OM121在本实施例中示出了正置型的OM的一例，但是也可以是倒置型的OM，设置有载置试样支承部件115的载置台122、以及得到观察对象物的图像数据的拍摄元件123。当然OM也能够在大气压下使用。载置台122具备以下机构：将试样112所载置的试样支承部件115固定于未图示的试样支承部件保持器，例如向水平面内和垂直面方向进行移动或者进行旋转、倾斜，使载置台122上的试样112的位置、朝向按每个试样支承部件115进行位移。载置台122的移动机构即可以是电动式也可以是手动式。拍摄元件123例如是CCD传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，上述试样保持器具有：试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，上述试样保持器具有：试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度。2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，用于解析上述倍率和旋转角度的图案为网格图案。3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述试样支承部件还具有表面和背面以及方向识别标记。4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述试样支承部件为绝缘性材料，表面形成有导电性覆膜。5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述带电粒子束装置还具备使上述试样保持器的位置、朝向或者这两者进行位移的试样移动机构。6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，上述试样保持器具备多组的试样搭载部和试样盖。7.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，上述试样保持器具有：试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及试样盖部，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：池内昭朗，羽根田茂，星野吉延，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本,JP