一种用于斜面钼圆靶放置的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及圆靶支架工装技术领域，具体涉及一种用于斜面钼圆靶放置的装置，包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条、传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条啮合。本实用新型专利技术专用于斜面钼圆靶的放置，一个支架可以放置多个斜面钼圆靶，更节省空间，且放置到支架上的斜面钼圆靶不易划伤、倾倒。

【技术实现步骤摘要】
一种用于斜面钼圆靶放置的装置
本技术涉及圆靶支架工装
，具体涉及一种用于斜面钼圆靶放置的装置。
技术介绍
溅射靶材主要用于平面显示器、薄膜太阳能电池的电极和配线材料以及半导体的阻挡层材料。这些是基于钨、钼的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能。以前，平面显示器的配线材料主要是铬，但随着平面显示器的大型化和高精度化，越来越需要比阻抗小的材料。另外，环保也是必须考虑的问题。而钼具有比阻抗和膜应力仅为铬的1／2的优势，而且不存在环境污染问题，因此钼成为了平面显示器溅射靶材的首选材料之一。此外，钼靶材使用在LCD的元器件中，可使液晶显示器在亮度、对比度、色彩以及寿命方面的性能大大提升。钼圆靶中存在一类斜面钼圆靶，其用于曲面屏幕的生产。目前在存放钨钼靶材时，一般是将钨钼靶材两端支撑，靶材水平放置在支撑架上，由于钨、钼靶材一般长度相对较长，靶材水平放置，两端支撑，此种存放方式，长时间存放，靶材的中部缺乏支撑，受重力影响会出现向下的弯曲变形，从而影响平面靶材后续的使用。并且该放置方法所占空间较大。进一步的现有技术中还没有专门用于斜面钼圆靶放置的支架；更没有可以调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条与传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条啮合。

【技术特征摘要】
1.一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条与传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条啮合。2.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述移动板底部两端设置行走轮，行走轮与底板上的轨道连接。3.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：付成，胥宏俊，
申请(专利权)人：洛阳成久电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41