平面度测定方法以及销高度调整方法技术

本发明专利技术提供能够简便地测定大量的销的上端所构成的假想面那样的面的平面度的实用的技术。在使在具有平坦的上表面以及下表面且厚度均匀的测定板(5)上安装有水平仪(6)的测定单元(4)载置在大量的销(3)中的相邻的三根销(3)上的状态下，利用水平仪(6)对正交的两个水平方向上的测定板(5)的倾斜进行测定，对各三根销(3)依次进行该步骤。在第二次以后的步骤中，重复选择此前选择过的销(3)中的一个并且针对所有的销(3)对测定板(5)的倾斜进行测定。根据测定板(5)的倾斜，将上端处于最高的位置的销(3)与上端处于最低的位置的销(3)之间的高度的差异作为平面度而计算。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】平面度测定方法以及销高度调整方法
本申请的专利技术涉及求出大量的销的上端所构成的假想面等的面的平面度的技术。
技术介绍
某个面以较高的精度成为平面作为产品的性能而经常被要求。该情况下的某个面有时为假想的面(假想面)，也有时为实际的部件的表面。大量的销的上端所构成的假想面具有较高的平面度例如在一边使用这样的销来保持对象物一边操作对象物的装置中变得需要。示出更具体的例子，在各种电子产品、各种显示器产品的制造中，为了在基板的表面制造微小形状，而进行光刻。在光刻中，存在将基板保持为水平并且将规定的图案的光照射于基板的曝光工序。在曝光工序中，根据使相对于基板的接触面积尽可能小等的要求，有时采用通过垂直的姿势的大量的销来保持基板的构造。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-18927号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在上述那样的曝光装置中，从获得精度高的曝光图案的观点出发，基板需要以较高的精度保持水平姿势。这意味着：在为通过大量的销来保持基板的构造的情况下，由这些销的上端所构成的假想面需要具有较高精度的平面度。然而，专利技术者进行了调查，能够简便地测定这样的大量的销的上端所构成的假想面的平面度的实用的技术至今不存在。本申请的专利技术是考虑到这点而完成的，其课题在于提供能够简便地测定大量的销的上端所构成的假想面那样的面的平面度的实用的技术。用于解决问题的手段为了解决上述课题，该申请的技术方案1所述的专利技术是平面度测定方法，将水平方向的配置为已知且垂直延伸的大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度来测定，其中，所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元包含具有平坦的上表面和下表面且厚度均匀的测定板；和安装在测定板之上的水平仪，所述平面度测定方法包括三点测定步骤，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，所述平面度测定方法通过依次对各三根销进行三点测定步骤来测定平面度，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择出的销中的一个而进行测定的步骤，所述平面度测定方法是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销，通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的方法，所述平面度测定方法包括：根据各三点测定步骤中的在上述两个水平方向上的侧顶板的倾斜，来对上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的该高度的差异进行计算的步骤。另外，为了解决上述课题，技术方案2所述的专利技术是平面度测定方法，对具备水平方向的配置为已知的大量的测定点标记的物体的上表面的水平方向上的平面度进行测定，其中，所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元具备：具有平坦的上表面的测定板；安装在测定板之上的水平仪；以及三根腿销，从测定板的下表面向下方垂直地延伸且距测定板的上表面的长度均匀，大量的测定点标记的配置是在选择了相邻的任意三个测定点标记的情况下都与测定单元的三根腿销的配置相同的配置，所述平面度测定方法包括三点测定步骤，在所述三点测定步骤中，选择大量的测定点标记中的相邻的三个测定点标记，在测定单元的腿销分别载置于选择出的三个测定点标记之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，所述平面度测定方法通过对各三个测定点标记依次进行三点测定步骤来测定平面度，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的测定点标记中的一个而进行测定的步骤，所述平面度测定方法通过依次进行三点测定步骤而针对所有的测定点标记，通过水平仪对测定板的上表面的倾斜进行测定，所述平面度测定方法包括：根据各三点测定步骤的上述两个水平方向上的测定板的上表面的倾斜，对处于最高的位置的测定点标记与处于最低的位置的测定点标记之间的高度的差异进行计算的步骤。另外，为了解决上述课题，技术方案3所述的专利技术是销高度调整方法，在具备基盘和安装于基盘的上表面而向垂直上方延伸的大量的销，且能够调整各销的突出高度的销单元中，对各销从基盘突出的突出高度进行调整，其中，包括：平面度测定工序，将大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度来测定；和调整工序，根据平面度测定工序中的平面度的测定结果来对各销的突出高度进行调整，平面度测定工序是使用测定单元的工序，且是包括三点测定步骤的工序，所述测定单元包含具有平坦的上表面和下表面且厚度均匀的测定板和安装在测定板之上的水平仪，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，平面度测定工序是通过对各三根销依次进行三点测定步骤而测定平面度的工序，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的销中的一个而进行测定的步骤，平面度测定工序是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销，通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的工序，平面度测定工序包括：根据各三点测定步骤中的在上述两个水平方向上的测定板的倾斜，对上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的该高度的差异进行计算的步骤，调整工序是以使平面度测定工序中所测定出的高度的差异变小的方式对各销的突出高度进行调整的方法。另外，为了解决上述课题，在上述技术方案3的基础上，技术方案4所述的专利技术为：上述调整工序是在上述基盘与上述销之间夹设垫片的工序，且是根据上述平面度测定工序中的测定结果来选择垫片的厚度的工序。另外，为了解决上述课题，在上述技术方案3或4的基础上，技术方案5所述的专利技术为：在进行了上述调整工序后，再次进行上述平面度测定工序，对各销的上端的高度的差异是否进入了一定的范围内进行判断，若未进入所述一定的范围内，则再次进行上述调整工序。专利技术效果如以下进行说明的那样，根据该申请的技术方案1所述的专利技术，能够简便地测定大量的销的上端所构成的假想面的平面度。测定所使用的工具也是将水平仪与测定板组合而成的简单的工具，因此能够以低成本实现。因此，成为极其实用的测定方法。另外，根据技术方案2所述的专利技术，能够简便地测定物体的上表面的平面度。测定所使用的工具也是将水平仪、测定板以及腿销组合而成的简单的工具，因此能够以低成本实现。因此，成为极其实用的测定方法。另外，根据技术方案3所述的专利技术，通过使用测定单元重复测定步骤来测定平面度，基于此来调整销高度，因此能够以简便的程序获得测定结果而进行调整。因此，即使在重复测定和调整的情况下，也不费事，不繁琐。另外，根据技术方案4所述的专利技术，除了上述效果之外，由于使用垫片，所以可简便且可靠地进行各销的突出高度的调整。另外，根据技术方案5所述的专利技术，除了上述效果之外，提供在特别要求较高的平面度的情况下适用的方法。附图说明图1是实施第一实施方式的平面度测定方法的销单元的立体示意图。图2是第一实施方式的方法的所使用的测定单元的立体示意图。图3是表示第一实施方式的平面度测定方法的俯视示意图。图4是表示第一实施方式的平面度测定方法的俯视示意图。图5是在实施方式的平面度测定方法中，针对根据各测定数据来计算平面度的运算处理的主要部分而示出的立体示意图。图6是示意性地示出基于表格计算软件的运算处理步骤的执行例的图。图7是表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面度测定方法，将水平方向的配置为已知且垂直延伸的大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度进行测定，其特征在于，所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元包括具有平坦的上表面及下表面且厚度均匀的测定板和安装于测定板之上的水平仪，所述平面度测定方法是包括三点测定步骤的方法，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，所述平面度测定方法是通过依次对各三根销进行三点测定步骤来测定平面度的方法，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的销中的一根而进行测定的步骤，所述平面度测定方法是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的方法，所述平面度测定方法包括：根据各三点测定步骤中的所述两个水平方向上的测定板的倾斜，来算出上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的该高度的差异的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.26 JP 2017-0602681.一种平面度测定方法，将水平方向的配置为已知且垂直延伸的大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度进行测定，其特征在于，所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元包括具有平坦的上表面及下表面且厚度均匀的测定板和安装于测定板之上的水平仪，所述平面度测定方法是包括三点测定步骤的方法，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，所述平面度测定方法是通过依次对各三根销进行三点测定步骤来测定平面度的方法，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的销中的一根而进行测定的步骤，所述平面度测定方法是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的方法，所述平面度测定方法包括：根据各三点测定步骤中的所述两个水平方向上的测定板的倾斜，来算出上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的该高度的差异的步骤。2.一种平面度测定方法，对具备水平方向的配置为已知的大量的测定点标记的物体的上表面的水平方向上的平面度进行测定，其特征在于，所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元具备：具有平坦的上表面的测定板；安装于测定板之上的水平仪；以及三根腿销，从测定板的下表面向下方垂直地延伸，且距测定板的上表面的长度均匀，大量的测定点标记的配置是在选择了相邻的任意三个测定点标记的情况下都与测定单元的三根腿销的配置相同的配置，所述平面度测定方法包括三点测定步骤，在所述三点测定步骤中，选择大量的测定点标记中的相邻的三个测定点标记，在测定单元的腿销分别载置于选择出的三个测定点标记之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，所述平面度测定方法是通过依次对各三个测定点标记进行三点测定步骤来测定平面度的方法，第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的测定点标记中的一个而进行测定的步骤，所述平面度测定方法是...

【专利技术属性】
技术研发人员：金内伸朗，
申请(专利权)人：株式会社阿迪泰克工程，
类型：发明
国别省市：日本,JP