【技术实现步骤摘要】
硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺
本专利技术属于耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺
，特别是涉及一种耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺，适用于IC装配关键耐腐蚀性反应腔体硬质阳极工艺。
技术介绍
耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺，有其特别的重要性。硬质阳极工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用，IC领域中对硬质阳极工艺性能要气越来越高，尤其阳极膜的耐腐蚀性能，其广泛应用与关键反应腔体及其它关键零部件，开发具有较高耐腐蚀硬质阳极，提高设备性能及使用寿命有重要意义。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术提供一种硫酸+草酸混酸硬质阳极氧化工艺，对铝合金材料工件在硫酸+草酸混合酸液中进行阳极氧化处理，通过控制阳极过程中两种酸的比例，反应温度，及电流密度等。从而得到致密的氧化膜，具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4-6℃，调整电流密度为1-3A/dm2，...
【技术保护点】
1.一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，其特征在于：(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4‑6℃，调整电流密度为1‑3A/dm2，升流时间为5‑10min，反应时间为3‑4h，要求膜厚50‑100um；(3)阳极达到膜厚后，采用92‑100℃纯水封孔3‑4小时，得到具有较高耐腐性氧化膜。
【技术特征摘要】
1.一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，其特征在于：(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4-6℃，调整电流密度为1-3A/dm2，升流时间为5-10min...
【专利技术属性】
技术研发人员：张少杰，邵颖，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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