一种超音波增强电镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超音波增强电镀装置，包括电镀池和超声波震板，所述电镀池的内侧壁固定连接有阳极板，所述阳极板与电镀电源的正极连接，所述电镀池的内底壁连接有超声波震板，所述超声波震板通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板的外壁上端固定连接有磁条，所述电镀池远离阳极板的外侧壁固定连接有连接台，超声波震板发出超声波，从而有效减薄阴极膜的厚度，进而提升电镀效果，可减少对前处理的依赖，避免漏镀的问题，有效避免了池壁对于超声波的吸收作用，效率更高，进而提升电镀效果。晶圆夹具可适配固定多种尺寸的晶圆，有效防止因夹具的力度过大导致的晶圆损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种超音波增强电镀装置
本专利技术涉及半导体封装领域，具体涉及一种超音波增强电镀装置。
技术介绍
目前半导体封装技术快速发展，比方：立体封装堆叠技术要求电镀有很高的可用电流密度；扇出封装、被动元件、PCB等对电镀均匀性提出了很高的要求；工业电镀也希望很高的电流密度以提高产量。以上这些对电镀来说是很大的挑战，通过电镀药水本身的改良已经无法满足这方面的要求，需要设备的配合改善均匀性和提高电流密度。目前半导体封装为了提高产量，要求电镀有很高的可用电流密度。从设备的角度考虑，减薄阴极膜对于提高可用电流密度最为有效。目前为了提高电流降低阴极膜的厚度，各家用不同方法来强制溶液对流，Eductor是使用最多的一种方法，也有使用机械扰流的方式，也有使用阴极运动的方法，镀速均能有不同程度的提高。但都因为流体本身的限制，无法在微米级的阴极膜上高效率的发挥作用。镶嵌电镀、铜柱电镀、TSV电镀等高纵横比洞和沟内部的气泡会影响电镀，甚至因为气泡导致局部无法电镀，从而导致漏镀问题。且现有的电镀装置通常使用鳄鱼夹作为固定晶圆的夹具，但晶圆尺寸大小不同，目前市面上出现的晶圆直径是分为150mm，300mm以及450本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超音波增强电镀装置，包括电镀池(1)和超声波震板(3)，其特征在于，所述电镀池(1)的内侧壁固定连接有阳极板(2)，所述阳极板(2)与电镀电源的正极连接，所述电镀池(1)的内底壁连接有超声波震板(3)，所述超声波震板(3)通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板(3)的外壁上端固定连接有磁条(8)，所述电镀池(1)远离阳极板(2)的外侧壁固定连接有连接台(4)，所述连接台(4)铰接有磁性连接杆(5)的一端，所述磁性连接杆(5)为凹字形结构，所述磁性连接杆(5)远离连接台(4)的一端固定连接有晶圆夹具(6)，所述晶圆夹具(6)夹有晶圆，所述晶圆与电镀电源的负极连接；所述晶圆夹具(6)...

【技术特征摘要】
1.一种超音波增强电镀装置，包括电镀池(1)和超声波震板(3)，其特征在于，所述电镀池(1)的内侧壁固定连接有阳极板(2)，所述阳极板(2)与电镀电源的正极连接，所述电镀池(1)的内底壁连接有超声波震板(3)，所述超声波震板(3)通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板(3)的外壁上端固定连接有磁条(8)，所述电镀池(1)远离阳极板(2)的外侧壁固定连接有连接台(4)，所述连接台(4)铰接有磁性连接杆(5)的一端，所述磁性连接杆(5)为凹字形结构，所述磁性连接杆(5)远离连接台(4)的一端固定连接有晶圆夹具(6)，所述晶圆夹具(6)夹有晶圆，所述晶圆与电镀电源的负极连接；所述晶圆夹具(6)包括安装壳(601)和缓冲盖板(618)，所述缓冲盖板(618)与安装壳(601)固定连接，所述安装壳(601)由环形侧板和圆底板构成，所述安装壳(601)的圆底板外侧壁固定连接有两个平行设置的套板(602)，所述套板(602)转动套接在蜗杆(603)的两端，所述蜗杆(603)的一端连接有旋钮(604)，所述蜗杆(603)啮合有蜗轮(605)，所述蜗轮(605)同轴固定连接有转轴(606)的一端，所述转轴(606)转动插接在圆底板的中心处，所述转轴(606)的另一端固定套接有固定轴承(607)，所述固定轴承(607)固定连接在缓冲盖板(618)的中心处，所述转轴(606)位于安装壳(601)内部的一段固定套接有第一齿轮(608)和第二齿轮(610)，所述第一齿轮(608)和第二齿轮(610)规格相同，所述第一齿轮(608)啮合有两个平行设置的第一齿条(609)，所述第二齿轮(610)啮合有两个平行设置的第二齿条(611)，且第一齿条(609)和第二齿条(611)规格相同，所述第一齿条(609)和第二齿条(611)垂直设置且关于转轴(606)的轴心中心对称设置，两个所述第二齿条(611)和其中一个第一齿条(609)各固定连接有一个长度调节装置(616)的一端，所述长度调节装置(616)的另一端贯穿环形侧板到达安装壳(601)的外部，另一个所述第一齿条(609)固定连接有压力检测装置(617)，所述压力检测装置(617)的另一端贯穿环形侧板到达安装壳(601)的外部，每个所述长度调节装置(616)均滑动连接在两个限位隔板(612)之间，所述限位隔板(612)固定连接在圆底板上，所述压力检测装置(617)滑动连接一个限位隔板(612)和一个定位隔板(613)之间；所述定位隔板(613)包括限位卡板和活动卡板，所述限位卡板位于活动卡板正下方，所述限位卡板固定连接在在圆底板上，所述活动卡板靠近压力检测装置(617)的侧壁开设有轮齿型卡槽，所述活动卡板远离压力检测装置(617)的侧壁固定连接有L型拉杆(614)，所述L型拉杆(614)平行于圆底板的一段活动套接有连...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄荣龙，侯利然，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34