基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法技术

本发明专利技术涉及一种基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法，包括：加工制备传感器阵列；将制备所得传感器阵列布置在密闭气室中进行信号采集，并加电初始化；对传感器阵列进行气敏测试并将测试结果作为样本进行存储；构建气体识别网络模型并对气氛进行识别。本发明专利技术通过在传感器阵列加入石墨烯‑金属氧化物纳米气敏材料，能有效降低能耗；通过构建气体识别网络模型并结合传感器阵列，能够对SF6气体分解产物进行有效识别。

【技术实现步骤摘要】
基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法
本专利技术属于气体分解产物检测领域，具体涉及一种基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法。
技术介绍
六氟化硫(SF6)在气体绝缘组合电器，断路器，气体绝缘母线等高压电力设备中被广泛应用。研究发现，SF6气体在高温放电作用下会分解生成氟化亚硫酰(SOF2)、氟化硫酰(SO2F2)、二氧化硫(SO2)和硫化氢(H2S)等一系列分解物，且分解物组分含量与设备内放电强弱程度有关，可用于设备故障诊断。传统的气相色谱质谱法、红外吸收光谱法精度高，但无法实现SF6分解物的在线监测。基于纳米材料的气体传感器因其体积小、成本低、便携性好、在线监测潜力大等优点，在SF6气体分解产物检测中逐渐被应用。但此类传感器存在工作温度较高的问题，且对SF6分解后产生的多种气体的交叉敏感问题没有很好的解决。石墨烯具有高比表面积、良好的电子迁移率和低噪声特点，通过将其与金属氧化物复合，可以得到在低温下具有高灵敏度的气敏材料，能够有效改善传统器件工作温度高的问题。
技术实现思路
针对目前存在的SF6分解物组分含量检测问题，本专利技术提出了一种基于石墨烯纳米复合材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法，包括：步骤S100：加工制备传感器阵列；步骤S200：将制备所得传感器阵列布置在密闭气室中进行信号采集，并加电初始化；步骤S300：对传感器阵列进行气敏测试并将测试结果作为样本进行存储；步骤S400：构建气体识别网络模型并对气氛进行识别。

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯复合材料传感器阵列的SF6分解物检测方法，包括：步骤S100：加工制备传感器阵列；步骤S200：将制备所得传感器阵列布置在密闭气室中进行信号采集，并加电初始化；步骤S300：对传感器阵列进行气敏测试并将测试结果作为样本进行存储；步骤S400：构建气体识别网络模型并对气氛进行识别。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，优选的，所述步骤S100包括：步骤S101：传感器基底加工：通过电子束蒸发镀膜工艺和光刻工艺在传感器衬底上加工出所设计电极图案，并引出相应的电极引线，各电极对呈刷子状交叉且不相交；步骤S102：纳米气敏薄膜制备：采用水热化学合成法，将石墨烯分别与氧化锡(SnO2)、氧化铟(In2O3)、氧化铈(CeO2)、氧化钨(WO3)复合形成不同纳米气敏材料，将所得纳米气敏材料与乙醇相混融，滴涂在各个叉指电极组表面，形成纳米气敏薄膜；步骤S103：传感器组装：将不同纳米气敏材料附着在不同叉指电极组表面，同一叉指电极组内的叉指电极表面附着相同的纳米气敏材料。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传感器阵列包括传感器基底、纳米气敏薄膜；所述传感器基底包括传感器衬底和叉指电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨爱军，褚继峰，王小华，骆挺，荣命哲，刘定新，李育灵，
申请(专利权)人：西安交通大学，国网山西省电力公司长治供电公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61