一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底制造技术

本实用新型专利技术涉及一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底。柔性衬底基板包括一玻璃板和一吸附底板，玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，吸附底板具有真空腔，能够将基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料的和玻璃板的平整度。该基板在柔性衬底材料固化过程中，可增加底部真空吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板发生翘曲，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度。还涉及一种高平整度柔性衬底，由柔性衬底材料上述柔性衬底基板上经高温固化后得到。该柔性衬底在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底
本技术涉及柔性衬底制备
，特别是一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底。
技术介绍
由于柔性衬底具有轻便、可弯折的优点，在显示
中有着广阔的前景。一般常用的柔性衬底材料为聚酰亚胺Polyimide(简称PI)，通过高温固化工艺，先将PI材料涂覆在玻璃基板上，经高温烘烤后固化成型。但是由于PI材料的热膨胀系数普遍大于玻璃的热膨胀系数，使得高温固化工艺中PI材料会带动玻璃发生翘曲，影响后续工艺制程，甚至造成破片。但是降低固化工艺温度，或开发低热膨胀系数的柔性衬底材料，目前难度仍然很大，难以解决当前的问题。
技术实现思路
基于此，有必要针对柔性衬底材料固化过程中，会发生玻璃翘曲的问题，提供一种柔性衬底基板，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度。一种柔性衬底基板，包括一玻璃板和一吸附底板，所述玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，其特征在于，所述吸附底板具有真空腔，能够将所述基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料的和所述玻璃板的平整度。上述柔性衬底基板，在柔性衬底材料固化过程中，增加底部真空吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板200发生翘曲，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度，提高后续制程精度，防止破片。在其中一个实施例中，若干个所述真空腔在所述吸附底板上点阵分布。在其中一个实施例中，所述吸附底板具有上表面和下表面，面向所述玻璃板的一面为所述吸附底板的上表面，与所述上表面相对的一面为所述吸附底板的下表面；所述真空腔沿所述吸附底板厚度方向延伸，贯穿所述上表面和所述下表面。在其中一个实施例中，所述真空腔的横截面为圆形，内径在所述吸附底板的所述上表面处最大，向所述吸附底板的所述下表面方向逐渐减小，使得所述真空腔在面向所述玻璃板一侧的内径大于面向所述真空平台一侧的内径。在其中一个实施例中，所述真空腔为沿所述吸附底板长度方向延伸一定尺寸的槽型。在其中一个实施例中，所述吸附底板能够完全覆盖所述玻璃板的底面。在其中一个实施例中，所述吸附底板在所述真空平台上能够产生的吸附力范围为0.4Mp-0.7Mp。在其中一个实施例中，所述玻璃板的厚度为0.5mm或0.7mm。在其中一个实施例中，一种高平整度柔性衬底，由柔性衬底材料在上述任一实施例中所述的基板上经高温固化后得到。上述高平整度柔性衬底，在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。附图说明图1为本技术的一个实施例的柔性衬底基板的结构示意图；图2为本技术的一个实施例的吸附底板的结构示意图；图3是本技术的另一个实施例中的吸附底板的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。图1是本技术的一个实施例的柔性衬底基板的结构示意图。如图1所示，一种柔性衬底基板100，用于在柔性衬底材料固化工艺中，作为制备基底，可在固化工艺中，防止玻璃翘曲，提高玻璃和柔性衬底的平整度。包括一玻璃板200和一吸附底板300，玻璃板200的正面210涂覆有柔性衬底材料。吸附底板300具有真空腔310，能够将柔性衬底基板100平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料和玻璃板200的平整度。本技术的柔性衬底基板100具有真空腔310，能够牢固的吸附在真空平台上，增加吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板200发生翘曲。图2是本技术一个实施例的吸附底板的结构示意图。如图2所示，若干个真空腔310在吸附底板300上呈点阵分布。进一步地，真空腔310可以从中间向四周呈散射状分布，分布密度由中间向四周逐渐加大，使得靠近玻璃板200边缘处的真空腔310分布较为密集，在玻璃板200边缘处产生更大的吸附力，进一步抑制玻璃板200和柔性衬底的翘曲。参见图1，吸附底板300具有上表面320和下表面330，面向所述玻璃板的一面为所述吸附底板300的上表面320，与上表面320相对的一面为吸附底板300的下表面330；真空腔310沿吸附底板300厚度方向延伸，贯穿上表面320和下表面330。如图2所示，所述真空腔310的横截面为圆形。参见图1，真空腔310的内径在吸附底板300的上表面320处最大，并向吸附底板300的所述下表面330方向逐渐减小，使得真空腔310在面向玻璃板200一侧的内径大于面向真空平台一侧的内径。使得真空腔310在与玻璃板200接触的一面具有较大的接触面积，进一步增加对玻璃板200的吸附力。本技术的真空腔310的形状设置不限于上述提及的方案。图3是本技术的另一个实施例中的吸附底板的结构示意图。如图3所示，真空腔310为沿吸附底板300长度方向延伸一定尺寸的槽型。只要是有利于增加接触面积，提高吸附力的方案都可。进一步地，吸附底板300能够完全覆盖玻璃板的底面220。本技术的柔性衬底基板100可以使用在柔性衬底固化制程中，也可以在后续的流程中使用，保证各个工艺中柔性衬底和玻璃板200的平整度，提高制程中的定位精度以及产品品质。由于固化制程中，需要高温环境，吸附底板300优选耐高温刚度较高的合金材料，在不涉及到高温的制程环境下，吸附底板300可以选用轻质耐磨损的材料即可。在固化工艺中，由于高温翘曲问题较为严重，吸附底板300需保证在真空平台上能够产生范围为0.4Mp-0.7Mp的吸附力，以达到抑制柔性衬底的翘曲。柔性衬底基板100中的玻璃板200可以选用的厚度为0.5mm或0.7mm的普通玻璃。本技术还涉及一种高平整度柔性衬底，在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。该高平整度柔性衬底由柔性衬底材料在前述的柔性衬底基板100上经高温固化后得到。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性衬底基板，包括一玻璃板和一吸附底板，所述玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，其特征在于，所述吸附底板具有真空腔，能够将所述柔性衬底基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料和所述玻璃板的平整度。

【技术特征摘要】
1.一种柔性衬底基板，包括一玻璃板和一吸附底板，所述玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，其特征在于，所述吸附底板具有真空腔，能够将所述柔性衬底基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料和所述玻璃板的平整度。2.根据权利要求1所述的柔性衬底基板，其特征在于，若干个所述真空腔在所述吸附底板上点阵分布。3.根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述吸附底板具有上表面和下表面，面向所述玻璃板的一面为所述吸附底板的上表面，与所述上表面相对的一面为所述吸附底板的下表面；所述真空腔沿所述吸附底板厚度方向延伸，贯穿所述上表面和所述下表面。4.根据权利要求3所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述真空腔的横截面为圆形，内径在所述吸附底板的所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金华，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13