微型发光二极管显示器、微型发光二极管元件及其制法制造技术

本发明专利技术公开一种微型发光二极管显示器、微型发光二极管元件及其制作方法，该微型发光二极管显示器的制作方法为，形成第一发光单元，形成第二发光单元，各第一与第二发光单元具有第一电极与第二电极。形成具有第一膜厚的第一以及第二透明延伸电极于各第一发光单元上且分别电连接第一与第二电极，以形成多个第一发光元件，并将第一发光元件转移至元件基板上与元件基板电连接。形成具有第二膜厚的第一以及第二透明延伸电极于各第二发光单元上且分别电连接第一与第二电极，以形成多个第二发光元件，并将第二发光元件转移至元件基板。第一及第二发光元件通过各自的第一及第二连接电极分别与元件基板电连接。

【技术实现步骤摘要】
微型发光二极管显示器、微型发光二极管元件及其制法
本专利技术涉及一种显示器，且特别是涉及一种微型发光二极管显示器、微型发光二极管元件及其制作方法。
技术介绍
发光二极管由于可自发光且不同种发光二极管可发出不同波长的光等特性，以及低耗电、高对比和高反应速度等优点，因此，微型发光二极管显示器(Microlightemittingdiodedisplay,MicroLEDdisplay)被视为可能取代液晶显示器(LCD)而成为下一世代显示技术主流。由于近年来LED显示器技术越趋成熟，已经可以应用于智能型手机(smartphone)、电视(TV)、计算机屏幕(computermonitor)等产品，因此业界更致力于发展微型LED显示器，以使LED显示器具有更高的分辨率。部分微型LED显示器为了连接LED与元件基板，在LED上覆盖一透明导电材料以作为与元件基板电性相连接的桥梁，以避免影响LED的出光效率。由于透明导电材料的阻值比金属高，因而阻容负载(RCloading)较高。因此，如何在不影响LED的出光效率下，降低透明导电材料的阻容负载，实为业界亟欲解决的课题。
技术实现思路
本专利技术的目在于提供一种微型发光二极管显示器、微型发光二极管元件及其制作方法，用以提高发光元件的出光效率，有利于制作具有不同透明延伸电极的膜厚的发光元件，并且不会增加制作工艺难度及提高制作工艺的效益。根据本专利技术之一，提出一种微型发光二极管显示器的制作方法，包括下列步骤。形成多个第一发光单元，各第一发光单元包括一第一电极以及一第二电极，其中各第一发光单元具有一第一侧壁、一第二侧壁以及一绝缘层，第一电极邻近第一侧壁且第二电极邻近第二侧壁，绝缘层覆盖第一侧壁以及第二侧壁。形成多个第二发光单元，各第二发光单元包括一第一电极以及一第二电极，其中各第二发光单元具有一第一侧壁、一第二侧壁以及一绝缘层，第一电极邻近第一侧壁且第二电极邻近第二侧壁，绝缘层覆盖第一侧壁以及第二侧壁。分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各第一发光单元的第一侧壁与第二侧壁的绝缘层上，且分别电连接对应的第一发光单元的第一电极与第二电极，而形成多个第一发光元件，用以发出一第一色光，其中各第一发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第一膜厚T1。分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各第二发光单元的第一侧壁与第二侧壁的绝缘层上，且分别电连接对应的第二发光单元的第一电极与第二电极，而形成多个第二发光元件，用以发出与第一色光相异的一第二色光，其中各第二发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第二膜厚T2，第二膜厚T2不同于第一膜厚T1。将此些第一发光元件与此些第二发光元件设置于一元件基板上，元件基板具有多个第一接垫以及多个第二接垫。形成多个第一连接电极与多个第二连接电极于元件基板上，各第一连接电极电连接对应的各第一透明延伸电极与对应的第一接垫，各第二连接电极电连接对应的各第二透明延伸电极与对应的第二接垫。根据本专利技术之一，提出一种微型发光二极管，包括：一发光单元，发光单元包括一第一电极、一发光结构以及一第二电极，其中各第一发光单元具有一第一侧壁、一第二侧壁以及一绝缘层，第一电极邻近第一侧壁且第二电极邻近第二侧壁，绝缘层覆盖第一侧壁与第二侧壁，以及一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极，形成于发光单元的第一侧壁与第二侧壁的绝缘层上，且分别电连接第一电极与第二电极，而形成一发光元件，用以发出一色光，其中各第一发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第一膜厚，其中若发光元件所发出的色光具有一主波长范围为480nm至750nm，第一膜厚介于2000埃至2300埃之间；以及若发光元件所发出的色光具有一主波长范围为380nm至480nm，第一膜厚介于200埃至500埃之间。根据本专利技术之一方面，提出一种微型发光二极管显示器，包括一元件基板、多个第一发光元件、多个第二发光元件、多个第一连接电极与多个第二连接电极。第一发光元件设置于元件基板上，第一发光元件用以发出一第一色光。第二发光元件设置于元件基板上，第二发光元件用以发出一第二色光，第一色光与第二色光的颜色相异。各第一及第二发光元件包括一第一电极、一第二电极、一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极。第一透明延伸电极电连接第一电极，第二透明延伸电极电连接第二电极，且各第一发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第一膜厚，且各第二发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第二膜厚，第一膜厚与第二膜厚不同。第一连接电极与第二连接电极分别设置于各第一及第二发光元件上，其中各第一连接电极电连接对应的各第一透明延伸电极与对应的第一接垫，各第二连接电极电连接对应的各第二透明延伸电极与对应的第二接垫。根据本专利技术之一方面，提出一种微型发光二极管显示器的制作方法，包括下列步骤。形成一第一半导体层、一主动层以及一第二半导体层于一第一基板上，主动层位于第一半导体层与第二半导体层之间。图案化第一半导体层、主动层以及第二半导体层，以形成多个发光结构。移除各发光结构中位于第一半导体层上方的部分第二半导体层与部分主动层，以形成具有一显露部分的第一半导体层的多个发光单元。形成一绝缘层于各发光单元上，其中各发光单元包括一第一侧壁以及一第二侧壁，第一侧壁位于各发光单元的一侧，第二侧壁位于各发光单元中的另一侧，绝缘层覆盖各发光单元的第一侧壁与第二侧壁。分别形成一第一电极于各发光单元的第二半导体层上。分别形成一第二电极于各发光单元的第一半导体层的显露部分。分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各发光单元的绝缘层上，各第一透明延伸电极电连接对应的发光单元的第一电极，各第二透明延伸电极电连接对应的发光单元的第二电极，而形成多个发光元件，第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有一第一膜厚。将此些发光元件转移至一第二基板上，第二基板具有对应各发光元件的一第一接垫以及一第二接垫。分别形成一第一连接电极与一第二连接电极于各发光元件上，各第一连接电极电连接对应的发光元件的第一透明延伸电极与对应的第一接垫，各第二连接电极电连接对应的发光元件的第二透明延伸电极与对应的第二接垫。为了对本专利技术的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附的附图详细说明如下：附图说明图1为本专利技术一实施例的微型发光二极管显示器的示意图；图2为本专利技术一实施例的微型发光二极管显示器的示意图；图3A-图3H为本专利技术一实施例的微型发光二极管显示器的制作方法的示意图。图4为图3H的第一发光元件的俯视示意图。符号说明100、100’：微型发光二极管显示器101：第一基板102：第一发光结构1021：第一半导体层1022：主动层(有源层)1023：第二半导体层1025：绝缘层1031：第一侧壁1032：第二侧壁1033：第一电极1034：第二电极103a：第一发光单元103b：第二发光单元103c：第三发光单元104a、104b、104c：第一透明延伸电极105a、105b、105c：第二透明延伸电极106a：第一发光元件106b：第二发光元件106c：第三发光元件107a、107b、107c：第一连接电极108a、108b、108c：第二连接电极1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：形成多个第一发光单元，各该第一发光单元包括第一电极以及第二电极，其中各该第一发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁以及该第二侧壁；形成多个第二发光单元，各该第二发光单元包括第一电极以及第二电极，其中各该第二发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁以及该第二侧壁；分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各该第一发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接对应的该第一发光单元的该第一电极与该第二电极，而形成多个第一发光元件，用以发出一第一色光，其中各该第一发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第一膜厚T1；分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各该第二发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接对应的该第二发光单元的该第一电极与该第二电极，而形成多个第二发光元件，用以发出与该第一色光相异的一第二色光，其中各该第二发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第二膜厚T2，该第二膜厚T2不同于该第一膜厚T1；将该些第一发光元件与该些第二发光元件设置于一元件基板上，该元件基板具有多个第一接垫以及多个第二接垫；以及形成多个第一连接电极与多个第二连接电极于该元件基板上，各该第一连接电极电连接对应的各该第一透明延伸电极与对应的该第一接垫，各该第二连接电极电连接对应的各该第二透明延伸电极与对应的该第二接垫。...

【技术特征摘要】
2018.06.06 TW 1071195531.一种微型发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：形成多个第一发光单元，各该第一发光单元包括第一电极以及第二电极，其中各该第一发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁以及该第二侧壁；形成多个第二发光单元，各该第二发光单元包括第一电极以及第二电极，其中各该第二发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁以及该第二侧壁；分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各该第一发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接对应的该第一发光单元的该第一电极与该第二电极，而形成多个第一发光元件，用以发出一第一色光，其中各该第一发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第一膜厚T1；分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各该第二发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接对应的该第二发光单元的该第一电极与该第二电极，而形成多个第二发光元件，用以发出与该第一色光相异的一第二色光，其中各该第二发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第二膜厚T2，该第二膜厚T2不同于该第一膜厚T1；将该些第一发光元件与该些第二发光元件设置于一元件基板上，该元件基板具有多个第一接垫以及多个第二接垫；以及形成多个第一连接电极与多个第二连接电极于该元件基板上，各该第一连接电极电连接对应的各该第一透明延伸电极与对应的该第一接垫，各该第二连接电极电连接对应的各该第二透明延伸电极与对应的该第二接垫。2.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一膜厚T1介于2000埃至2300埃之间，且该第二膜厚T2介于200埃至500埃之间。3.如权利要求2所述的制作方法，其中该第一连接电极与该第二连接电极具有电极膜厚d，该电极膜厚d介于500埃至800埃之间。4.如权利要求3所述的制作方法，其中1.4<(T1+d)/(T2+d)<2.8。5.如权利要求2所述的制作方法，其中该第一发光元件所发出的该第一色光具有一主波长范围为480nm至750nm，该第二发光元件所发出的该第二色光具有一主波长范围为380nm至480nm。6.如权利要求1所述的制作方法，还包含：形成多个第三发光单元，各该第三发光单元包括第一电极以及第二电极，其中各该第三发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁以及该第二侧壁；分别形成一第一透明延伸电极以及一第二透明延伸电极于各该第三发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接对应的该第三发光单元的该第一电极与该第二电极，而形成多个第三发光元件，用以发出一第三色光，其中该第一色光、该第二色光以及该第三色光的颜色相异；将该些第三发光元件设置于该元件基板上，其中各该第三发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第三膜厚T3，该第三膜厚T3不同于该第二膜厚T2，且该第三膜厚T3介于2000埃至2300埃之间。7.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极对应至该第一发光元件与对应至该第二发光元件的材料不同。8.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极的材料为氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、导电高分子、纳米碳管或纳米金属。9.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极的材料和该第一连接电极与该第二连接电极的材料为不同的透明导电材料。10.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一连接电极与该第二连接电极的材料为氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、导电高分子、纳米碳管或纳米金属。11.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一连接电极与该第二连接电极的材料为金属。12.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一连接电极与该第二连接电极的宽度大于该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极的宽度至少两倍以上。13.如权利要求1所述的制作方法，其中形成该些第一透明延伸电极以及该些第二透明延伸电极之前还包括：将该些第一发光单元转移至一第一过渡基板上；以及将该些第二发光单元转移至一第二过渡基板上。14.一种微型发光二极管，其特征在于，包括：发光单元，该发光单元包括第一电极、发光结构以及第二电极，其中该发光单元具有第一侧壁、第二侧壁以及绝缘层，该第一电极邻近该第一侧壁且该第二电极邻近该第二侧壁，该绝缘层覆盖该第一侧壁与该第二侧壁；以及第一透明延伸电极以及第二透明延伸电极，形成于该发光单元的该第一侧壁与该第二侧壁的该绝缘层上，且分别电连接该第一电极与该第二电极，而形成发光元件，用以发出色光，其中该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有一第一膜厚；其中若该发光元件所发出的该色光具有一主波长范围为480nm至750nm，该第一膜厚介于2000埃至2300埃之间；以及若该发光元件所发出的该色光具有一主波长范围为380nm至480nm，该第一膜厚介于200埃至500埃之间。15.一种微型发光二极管显示器，其特征在于，包括：元件基板，具有多个第一接垫以及多个第二接垫；多个第一发光元件，设置于该元件基板上，该些第一发光元件用以发出第一色光；多个第二发光元件，设置于该元件基板上，该些第二发光元件用以发出第二色光，该第一色光与该第二色光的颜色相异，各该第一及第二发光元件包括：第一电极；第二电极；及第一透明延伸电极以及第二透明延伸电极，其中该第一透明延伸电极电连接该第一电极，该第二透明延伸电极电连接该第二电极，且各该第一发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第一膜厚，且各该第二发光元件的该第一透明延伸电极与该第二透明延伸电极具有第二膜厚，该第一膜厚与该第二膜厚不同；以及多个第一连接电极与多个第二连接电极，分别设置于各该些第一及第二发光元件上，其中各该第一连接电极电连接对应的各该第一透明延伸电极与对应的该第一接垫，各该第二连接电极电连接对应的各该第二透明延伸电极与对应的该第二接垫。16.如权利要求15所述的微型发光二极管显示器，其中该第一膜厚介于2000埃至2300埃之间，且该第二膜厚介于200埃至500埃之间。17.如权利要求15所述的微型发光二极管显示器，其中各该第一发光元件所发出的该第一色光具有一主波长范围为480nm至750nm，各该第二发光元件所发出的该第二色光具有一主波长范围为380nm至480nm。18.如权利要求15所述的微型发光二极管显示器，还包括多个第三发光元件，设置于该元件基板上，该些第三发光元件用以发出第三色光，该第一色光、该第二色光与该第三色光的颜色相异，各该第三发光元件的第一透明延伸电极与第二透明延伸电极具有第三膜厚，该第三膜厚不同于该第二膜厚，且该第三膜厚介于2000埃至2300埃之间。19.如权利要求18所述的微型发光...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄柏荣，曹梓毅，蔡正晔，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71