【技术实现步骤摘要】
图像传感器及其形成方法、指纹成像模组
本专利技术涉及指纹成像领域,特别涉及一种图像传感器及其形成方法、指纹成像模组。
技术介绍
指纹识别技术是通过图像传感器采集到人体的指纹图像,然后与指纹识别系统里已有的指纹信息进行比对,从而实现身份识别的技术。由于其便捷性和人体指纹的唯一性,指纹识别技术已经大量应用于各个领域,比如:公安局、海关等安检领域,楼宇的门禁系统,以及个人电脑和手机等消费品领域等等。指纹识别技术中所采用的成像方式有光学式、电容式、超声波式等多种。其中一种是通过光学式成像模组采集人体的指纹图像。光学式成像模组主要包括:保护盖板、图像传感器、集成芯片(IC)、柔性电路板(FPC)和柔性电路板上的电子器件(包括光源LED)、导光板、上保护壳体以及下保护壳体等主要部件。其中图像传感器是利用非晶硅薄膜晶体管(a-SiTFT)、低温多晶硅薄膜晶体管(LTPSTFT)或氧化物半导体薄膜晶体管(OSTFT)等半导体工艺技术,在玻璃基底上制作的;之后经过切割、点胶、粘接等过程实现封装。但是现有技术中的指纹成像模组往往存在噪声信号过大,信噪比过低的问题。
技术实现思路
本专利技 ...
【技术保护点】
1.一种图像传感器的形成方法,其特征在于,包括:形成衬底,所述衬底上具有多个分立的第一透镜;形成位于第一透镜之间衬底上的光电器件。
【技术特征摘要】
1.一种图像传感器的形成方法,其特征在于,包括:形成衬底,所述衬底上具有多个分立的第一透镜;形成位于第一透镜之间衬底上的光电器件。2.如权利要求1所述的形成方法,其特征在于,形成衬底的步骤包括:提供初始衬底;去除部分所述初始衬底,形成所述衬底以及所述第一透镜。3.如权利要求2所述的形成方法,其特征在于,通过湿法刻蚀的方式去除部分所述初始衬底。4.如权利要求2所述的形成方法,其特征在于,所述形成方法还包括:形成所述衬底之后,形成所述光电器件之前,对所述衬底和所述第一透镜进行表面形貌处理。5.如权利要求4所述的形成方法,其特征在于,通过干法刻蚀的方式对所述衬底和所述第一透镜进行表面形貌处理。6.如权利要求1所述的形成方法,其特征在于,所述形成方法还包括:形成所述光电器件之后,在所述光电器件上形成第二透镜。7.如权利要求6所述的形成方法,其特征在于,所述第二透镜的材料为有机材料;通过掩膜曝光、显影的方式形成所述第二透镜。8.如权利要求7所述的形成方法,其特征在于,形成所述第二透镜的步骤还包括:在掩膜曝光、显影之后,进行烘烤处理。9.如权利要求1所述的形成方法,其特征在于,所述形成方法还包括:形成所述光电器件之后,形成至少环绕所述第一透镜的遮光层。10.如权利要求9所述的形成方法,其特征在于,所述遮光层的材料为有机材料;通过掩膜曝光、显影的方式形成所述遮光层。11.如权利要求9所述的形成方法,其特征在于,形成环绕所述第一透镜和所述光电器件的遮光层;在四周环绕有遮光层的光电器件上形成第二透镜。12.如权利要求1所述的形成方法,其特征在于,所述形成方法还包括:形成光电器件之后,形成覆盖所述第一透镜和所述光电器件的封装叠层。13.如权利要求12所述的形成方法,其特征在于,形成所述封装叠层的步骤包括:形成位于所述第一透镜和所述光电器件上的平坦化层;在所述平坦化层上形成钝化层。14.如权利要求13所述的形成方法,其特征在于,所述形成方法还包括:形成所述光电器件之后,形成所述平坦化层之前,至少在所述第一透镜上形成隔离材料。15.如...
【专利技术属性】
技术研发人员:曲志刚,朱虹,
申请(专利权)人:上海箩箕技术有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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