固态影像装置制造方法及图纸

本申请提供一种固态影像装置，该装置具有感测区、接垫区以及介于感测区与接垫区之间的周边区。固态影像装置包含多个光电转换元件形成于半导体基底内且设置于感测区中，以及接合垫设置于半导体基底上且位于接垫区中。固态影像装置还包含微透镜层设置于半导体基底之上，微透镜层包含微透镜阵列位于感测区中以及第一虚设结构位于接垫区中，第一虚设结构包含多个第一微透镜元件设置成围绕接合垫所在的区域。此外，固态影像装置包含护膜顺应性地形成于微透镜层的顶面上。

【技术实现步骤摘要】
固态影像装置
本专利技术实施例涉及固态影像装置，且特别关于固态影像装置具有虚设结构的微透镜层。
技术介绍
影像感测器已广泛地使用于各种摄像装置，例如摄影机、数码相机以及类似的摄像装置。一般而言，固态影像装置例如电荷耦合器件(charge-coupleddevice，CCD)感测器或互补式金属氧化物半导体(complementarymetal-oxidesemiconductor，CMOS)感测器具有像是光电二极管(photodiodes)的光电转换器(photoelectrictransducer)用来将光转换为电荷。光电二极管形成于半导体基底，例如硅芯片中，通过电荷耦合器件(CCD)型或互补式金属氧化物半导体(CMOS)型读取电路得到对应于光电二极管中所产生的光电子的信号电荷。在固态影像装置中，光电二极管排列成像素(pixel)阵列。此外，固态影像装置具有微透镜阵列设置于光电二极管上方。微透镜阵列的每一个微透镜元件对齐每一个像素中相对应的光电二极管。通常在微透镜阵列上形成护膜，以在后续制程步骤的过程中保护微透镜元件，例如在影像装置的封装制程中，从晶圆切割为独立芯片时保护微透镜元件。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态影像装置，具有一感测区、一接垫区及一周边区位于该感测区与该接垫区之间，该固态影像装置包括：一半导体基底；多个光电转换元件，设置于该半导体基底内且位于该感测区中；一接合垫，设置于该半导体基底上且位于该接垫区中；一微透镜层，包含一微透镜阵列及一第一虚设结构，设置于该半导体基底之上，其中该微透镜阵列设置于该感测区中，该第一虚设结构设置于该接垫区中，且该第一虚设结构包含多个第一微透镜元件设置成围绕该接合垫的一区域；以及一护膜，顺应性地形成于该微透镜层的一顶面上。

【技术特征摘要】
2017.06.07 US 15/616,3901.一种固态影像装置，具有一感测区、一接垫区及一周边区位于该感测区与该接垫区之间，该固态影像装置包括：一半导体基底；多个光电转换元件，设置于该半导体基底内且位于该感测区中；一接合垫，设置于该半导体基底上且位于该接垫区中；一微透镜层，包含一微透镜阵列及一第一虚设结构，设置于该半导体基底之上，其中该微透镜阵列设置于该感测区中，该第一虚设结构设置于该接垫区中，且该第一虚设结构包含多个第一微透镜元件设置成围绕该接合垫的一区域；以及一护膜，顺应性地形成于该微透镜层的一顶面上。2.如权利要求1所述的固态影像装置，其中所述第一微透镜元件还设置于该接合垫的正上方，或者其中该第一虚设结构还包含一平坦部设置于该接合垫的正上方，且该护膜顺应性地形成于该平坦部上。3.如权利要求1所述的固态影像装置，其中该微透镜层还包含一第二虚设结构设置于该周边区中，该第二虚设结构包含多个第二微透镜元件，且该微透镜阵列包含多个第三微透镜元件。4.如权利要求3所述的固态影像装置，其中该微透镜阵列的所述第三微透镜元件中的每一个具有一第三微透镜高度，该第二虚设结构的所述第二微透镜元件中的每一个具有一第二微透镜高度，且该第三微透镜高度大于该第二微透镜高度，以及该第一虚设结构的所述第一微透镜元件中的每一个具有一第一微透镜高度，且该第二微透镜高度大于该第一微透镜高度。5.如权利要求3所述的固态影像装置，其中所述第一微透镜元件中的每一个具有一第一曲率半径，所述第二微透镜元件中的每一个具有一第二曲率半径，且该第一曲率半径大于该第二曲率半径，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄自维，林绮涵，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71