【技术实现步骤摘要】
一种无尘洁净室防静电壁板
本专利技术涉及半导体工厂无尘洁净室的壁板,尤其是涉及一种半导体工厂无尘洁净室的防静电壁板。
技术介绍
无尘洁净室壁板,又称“库板”,结构为两层彩钢板内夹蜂巢状碳酸钙化的物质或岩面、石膏板,彩钢板外表面为防静电涂层。无尘洁净室长期运行使用中,所使用的壁板表面会因各种原因随机出现刮痕,即表面防静电涂层被破坏。刮痕一旦产生,此部位便不再具有防静电特性,通过与无尘洁净室内层流空气的不断摩擦,会产生静电并积聚,从而吸附空气中的各种尘埃颗粒,影响无尘洁净室的自净能力。无尘洁净室运行中,因生产流程安排、产品搬送路径等因素,有些壁板的某些特定部位会特别频繁地受到碰撞,造成明显的壁板涂层划伤,以及壁板表面内陷。如果不及时处理,内陷继续加剧,直至最终彩钢板损坏,壁板内部的蜂巢纸或岩面直接暴露在空气中,这对无尘洁净室环境将造成极大的破坏。另外,对于正在进行生产运行的无尘洁净室,也无法象传统手段一样使用会挥发出有机溶剂气味的油漆进行修补。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种无尘洁净室防静电壁板,其能够防止壁板上静电涂层被破坏,且能够保持防尘防静电特性。-->本专利技术的目的是这样实现的:无尘洁净室防静电壁板,包括彩钢板,在彩钢板表面具有防静电涂层,其在彩钢板上容易受伤的部位的防静电涂层外设置有经过表面阳极处理的金属板。与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:由于在容易擦碰的部位加上金属板,可以保护其下的防静电涂层,而且经过表面阳极处理的金属板可以继续保持防尘防静电的特性。附图说明附图为本专利技术一种无尘洁净室防静电壁板的结构示意图。具体实施方式下面 ...
【技术保护点】
一种无尘洁净室防静电壁板,包括彩钢板,在彩钢板表面具有防静电涂层,其特征在于:在彩钢板上容易受伤的部位的防静电涂层外设置有经过表面阳极处理的金属板。
【技术特征摘要】
1.一种无尘洁净室防静电壁板,包括彩钢板,在彩钢板表面具有防静电涂层,其特征在于:在彩钢板上容易受伤的部位的防静电涂层外设置有经过表面阳极处理的金属板。2.如权利要求1所述的无尘洁净室防静电壁板,其特征在于:所述金属板为铝板。3.如权利要求1或2所述的无尘洁净室防静电壁板,其特征在于:所述金属板与彩钢板之间通过粘接连接。4....
【专利技术属性】
技术研发人员:张悦,
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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