【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片生产用加工装置
本专利技术涉及晶圆流片生产附属装置的
，特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置。
技术介绍
众所周知，晶圆流片生产用加工装置是一种用于晶圆流片生产过程中，将晶圆流片的四个尖角切成四个圆角，以便使晶圆流片的四个角变得圆滑，防止安装人员划伤的辅助装置，其在晶圆流片生产领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片生产用加工装置包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴，并在转动轴上设置有连接架，两组安装座分别设置在连接架左右两侧上，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；现有的晶圆流片生产用加工装置使用时只需将晶圆流片放置在放置架上并使两组切割器输出端均与晶圆流片顶端接触，之后控制伺服电机带动转动轴上的连接件进行转动，使两组切割器均在晶圆流片进行画圆操作，然后控制切割器进行工作，使切割器对晶圆流片进行切割，将晶圆流片的四个尖角切成四个圆角即可；现有的晶圆流片生产用加工装置使用中发现，两组切割器输出端间的距...
【技术保护点】
1.一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台（1）、支架（2）、伺服电机（3）、两组安装座（4）、两组切割器（5）和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴（6），并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；其特征在于，还包括后支板（7）、左测量件（8）、左测量尺（9）、右测量件和右量尺寸（10），所述连接架包括连接块（11）、左电动伸缩杆（12）和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台（1）、支架（2）、伺服电机（3）、两组安装座（4）、两组切割器（5）和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴（6），并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；其特征在于，还包括后支板（7）、左测量件（8）、左测量尺（9）、右测量件和右量尺寸（10），所述连接架包括连接块（11）、左电动伸缩杆（12）和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，所述支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；所述放置架包括下伸缩电机（13）和放置板（14），工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件（15），所述固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板（16），所述工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，所述透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧。2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述左测量件包括左支板、左伸缩电机（17）和左测量板（18），右测量件包括右支板（19）、右伸缩电机和右测量板，所述左支板设置在支架内底壁左侧，左伸缩电机设置在左支板上，所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆，左测量板位于左支板右侧，且左驱动杆右端穿过左支板并与左测量板左端连接，所述右支板设置在支架内底壁右侧，右伸缩电机设置在右支板上，所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆（20），右测量板位于右支板左侧，且右驱动杆左端穿过右支板并与右测量板右端连接。3.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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