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一种晶圆流片生产用加工装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆流片生产用加工装置的技术资料
文档序号:19817672
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本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置,其可对两组切割器输出端间的距离进行调整,以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整,提高适应能力;同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整,以便能切割多种厚度...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。
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