洁净室及其方法技术

一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室，其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口，空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的设备。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本案是名称为“洁净室及其方法”的、专利申请号为008125732的专利申请的分案申请。
本专利技术一般涉及一洁净室，特别地涉及一种用于洁净室的地板和建立洁净室的方法。
技术介绍
洁净室广泛地用在电子工业和其它工业上，在这些工业中在产品装配和检测时清洁的无颗粒环境是必须的。用洁净室内的标准体积内测试到的给定标准尺寸的颗粒数量来评估该室。根据该评估系统，一个“10级”洁净室仅具有一个“100级”洁净室十分之一的颗粒数目。类似地，一个“1级”洁净室仅具有一个“10级”洁净室十分之一的颗粒数量。洁净室内的小的颗粒数目是通过该室内的大量分布的空气变化实现的。空气通常是以成层的形式流过洁净室并从天花板向下流至地板或地板附近的通气口。空气变化洗涤室内的颗粒物质。其它条件都相同时，空气变化的次数越多，室内的颗粒数目越少。例如，“1级”洁净室通常需要大于每小时450次的空气变化。一般地，洁净室内的空气通过天花板上的过滤器进入室内，对室内的内容物洗涤地穿过该室，然后穿过开口或升高的洁净室地板内的通气口进入形成于高架地板和建筑物结构地板之间的气室。随后，将空气再循环又穿过过滤器进入该室内。现有技术的洁净室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于洁净室的地板结构，其包括：一具有混凝土板式地板的装置室；许多在所述板式地板之上延伸的支撑柱；许多由所述柱支撑的梁；一现场浇注的密实支撑地板，其具有许多从其穿过的开口，以允许空气流从位于所述地板之上的洁净室流向位于所述地板之下的所述装置室，所述地板能够支撑在其上面任何位置设备；以及许多定位在所述开口中的格栅。

【技术特征摘要】
US 1999-9-7 09/3911131.一种用于洁净室的地板结构，其包括：一具有混凝土板式地板的装置室；许多在所述板式地板之上延伸的支撑柱；许多由所述柱支撑的梁；一现场浇注的密实支撑地板，其具有许多从其穿过的开口，以允许空气流从位于所述地板之上的洁净室流向位于所述地板之下的所述装置室，所述地板能够支撑在其上面任何位置设备；以及许多定位在所述开口中的格栅。2.一种有利于洁净室的方法，其包括下述步骤：提供一种支撑洁净室，其能够支撑其上任何位置的处理设备，该支撑地板包括许多从其穿过的开口，此开口能够将空气从该洁净室排放至紧在该洁净室之下的空间，多个格栅定位在所述多个开口的部分中；将一件处理设备在该支撑洁净室地板上输送至预定位置；以及将该件处理设备直接放置在此支撑洁净室地板上的所述预定位置。3.如权利要求2所述的方法，其中所述输送步骤包括在一气垫上输送该件处理设备。4.如权利要求2所述的方法，其中所述输送步骤包括输送该处理设备穿过至少一个所述许多开口。5.如权利要求4所述的方法，其中所述输送步骤还包括将基本气密材料放在所述开口之上的步骤。6.如权利要求5所述的方法，其中所述输送步骤包括将含金属或塑料的薄板放在所述开口之上的步骤。7.如权利要求2所述的方法，还包括布置装置线路的步骤，其从所述件的处理设备，穿过所述许多开口之一，直至所述洁净室之下的空间。8.如权利要求2所述的方法，其中执行输送步骤而不需拆卸任何所述支撑洁净室地板。9.一种将过滤的空气提供给洁净室的方法，其包括下述步骤：提供一支撑洁净室地板，其能够支撑其上任何位置的设备，该地板具有许多从其穿过的开口，多个格栅定位在所述多个开口的部分中；提供一洁净室天花板，其覆在所述地板上并具有许多在其内的过滤的空气入口；将空气通过所述许多过滤的空气入口导入该洁净室；将空气穿过所述洁净室并通过所述许多地板中的开口抽回所述空气；将通过所述许多开口抽回的空气穿过所述洁净室地板下方的气室；将空气从该气室通过回气道抽回，以及将从所述气室抽回的空气返回至所述过滤的空气入口。10.一种洁净室，其包括：一第一室，其内放置有装置设备，用于通过装置线路把装置供应给在一装置室之上的处理设备，该第一室由地板和环绕所述地板的壁结构限定；一第二室，其容放有处理设备，该第二室定位在所述装置室之上，所述第二室由一具有许多装置线路从其穿过的开口的地板和一环绕所述地板的壁结构限定；一天花板，其具有许多定位在所述第二室之上的过滤的...

【专利技术属性】
技术研发人员：J拉皮萨达，T科利，
申请(专利权)人：斯皮德法姆艾佩克公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]