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一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室，其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口，空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的...
该专利属于斯皮德法姆－艾佩克公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯皮德法姆－艾佩克公司授权不得商用。

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