晶圆夹持器组件、系统及其用途技术方案

本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持晶圆(10)；框架(60)，其联接到桥接元件(52)。框架(60)设置有被配置用于接触晶圆舟的定位装置(57)，以便将晶圆定位在距晶圆舟的预定距离处。在框架(60)与桥接元件(52)或包括抽吸设备(54)的保持板(70)之间存在弹性联接件(56)，如果存在这样的保持板的话。

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持器组件、系统及其用途专利
本专利技术涉及一种设置有至少一个晶圆夹持器的晶圆夹持器组件，该晶圆夹持器包括基座和从该基座悬挂的元件，其中存在包括用于施加负压的软管和至少一个抽吸设备的真空装置以用于借助于所施加的负压来保持晶圆，所述抽吸装置联接到所述悬挂元件。本专利技术还涉及这种晶圆夹持器组件和晶圆舟的系统。本专利技术还涉及这种晶圆夹持器组件将晶圆装载到晶圆舟上的用途。本专利技术还涉及一种制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：-将至少一个晶圆装载在包括相互分离的电极的晶圆舟上；-将带有至少一个晶圆的晶圆舟运送到等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装备的沉积室中；-借助于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在晶圆舟上的至少一个晶圆上施加至少一层；-将晶圆舟运送出沉积室，以及-从晶圆舟卸载至少一个晶圆。专利技术背景等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装备例如用于在太阳能电池晶圆上沉积正面抗反射涂层(ARC)。这种装备利用晶圆舟来将多个(apluralityof)晶圆运送进和运送出装备的沉积室。用于等离子体增强CVD的晶圆舟的特征在于，它包括相互隔离的电极，等离子体通过这些电极在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设置有至少一个晶圆夹持器的晶圆夹持器组件，包括：‑基座；‑桥接元件，所述桥接元件从所述基座悬挂；‑框架，所述框架联接到所述桥接元件并且设置有定位装置，所述定位装置被配置用于接触晶圆舟，以便将所述框架定位在距所述晶圆舟的预定距离处；‑真空装置，所述真空装置包括用于施加负压的软管和至少一个抽吸设备，被配置用于借助于所施加的负压来保持晶圆；其中，在所述框架和所述桥接元件之间或者在所述框架和所述至少一个抽吸设备之间存在弹性联接件。

【技术特征摘要】
2017.06.06 EP 17000956.7;2017.06.07 EP 17001191.0;1.一种设置有至少一个晶圆夹持器的晶圆夹持器组件，包括：-基座；-桥接元件，所述桥接元件从所述基座悬挂；-框架，所述框架联接到所述桥接元件并且设置有定位装置，所述定位装置被配置用于接触晶圆舟，以便将所述框架定位在距所述晶圆舟的预定距离处；-真空装置，所述真空装置包括用于施加负压的软管和至少一个抽吸设备，被配置用于借助于所施加的负压来保持晶圆；其中，在所述框架和所述桥接元件之间或者在所述框架和所述至少一个抽吸设备之间存在弹性联接件。2.如权利要求1所述的晶圆夹持器组件，其中，所述弹性联接件存在于所述框架和所述桥接元件之间。3.如权利要求2所述的晶圆夹持器组件，其中，所述弹性联接件被体现为至少一个弹簧，所述弹簧被配置用于在相对于所述框架的两个相反方向上变形。4.如权利要求2所述的晶圆夹持器组件，其中，所述至少一个抽吸设备限定在所述框架上。5.如权利要求2所述的晶圆夹持器组件，其中，所述至少一个抽吸设备存在于连接到所述框架或所述桥接元件的保持板上。6.如权利要求1或2所述的晶圆夹持器组件，其中，所述至少一个抽吸区域限定在联接到所述框架的保持板上，并且其中所述保持板弹性联接到所述框架。7.一种晶圆舟和如前述权利要求中任一项所述的晶圆夹持器组件的系统。8.如权利要求7所述的系统，其中，所述晶圆舟设置有用于与所述晶圆夹持器组件的所述定位装置协作的定位元件。9.一种如前述权利要求1-6中任一项所述的晶圆夹持器组件的用途，其用于将晶圆装载到晶圆舟上和/或用于从所述晶圆舟卸载所述晶圆，优选地形成如权利要求7中任一项所述的系统。10.如权利要求9所述的用途，其中，所述晶圆是正在经处理以形成太阳能电池的晶圆。11.如权利要求9所述的用途，包括以下步骤：-将至少一个晶圆安装到所述晶圆夹持器组件上...

【专利技术属性】
技术研发人员：彼得·罗埃尔弗·维尼玛，马滕·罗纳德·雷内斯，罗纳德·亨利卡·玛丽亚·范迪克，约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯，
申请(专利权)人：泰姆普雷斯艾普公司，索雷泰克私人有限责任公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL