温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持...该专利属于泰姆普雷斯艾普公司;索雷泰克私人有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰姆普雷斯艾普公司;索雷泰克私人有限责任公司授权不得商用。