【技术实现步骤摘要】
一种高精度姿态旋转系统
本技术涉及高精密度工业自动化
，尤其涉及一种高精度姿态旋转系统。
技术介绍
随着科技的发展与进步，机器人技术被广泛应用于现代制造产业中，多数是通过机械手臂装置进行物料移动或物料加工等步骤。但是，现有的机器人结构中的转动结构功能单元，其控制精度低，移动速度较慢。而且绝大多数机械手臂装置无法完成高精密度的物料移动或者物料加工，更无法完成长时间、高稳定性的连续工作。尤其是在对精度要求极高的半导体行业，以半导体行业的晶圆生产为例，在半导体生产领域中从硅晶圆最终生产成芯片，要经过上百道工序，其中要经过一系列的“刻、蚀、磨”等工序，每一道工序完成后往下一道工序转运，均是通过晶圆搬运机器人去完成，晶圆搬运机器人必须要达到极高的控制精度、长时间连续工作高稳定性等要求。
技术实现思路
鉴于现有技术的现状，本技术的目的在于提供一种高精度姿态旋转系统，其结构简单，定位精度高，稳定性好，成本低，该系统与现有通用相关设备相比可实现高精度快速的转动姿态控制和定位。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种高精度姿态旋转系统，包括：固定底座；谐波减速器，所述谐波减速器安装...
【技术保护点】
1.一种高精度姿态旋转系统，其特征在于，包括：固定底座(10)；谐波减速器(4)，所述谐波减速器(4)安装在所述固定底座(10)上；伺服电机(2)，所述伺服电机(2)安装在所述谐波减速器(4)的壳体上，所述伺服电机(2)的驱动端设置有步带轮(5)，所述谐波减速器(4)的输入端也设置有步带轮(5)，所述谐波减速器(4)上的步带轮(5)与所述伺服电机(2)上的步带轮(5)通过同步带(6)传动连接；主转动轴(1)，所述主转动轴(1)与所述谐波减速器(4)的输出端固定连接，所述主转动轴(1)与所述谐波减速器(4)的输出端同步转动，所述主转动轴(1)用于作为负载安装平台。
【技术特征摘要】
1.一种高精度姿态旋转系统，其特征在于，包括：固定底座(10)；谐波减速器(4)，所述谐波减速器(4)安装在所述固定底座(10)上；伺服电机(2)，所述伺服电机(2)安装在所述谐波减速器(4)的壳体上，所述伺服电机(2)的驱动端设置有步带轮(5)，所述谐波减速器(4)的输入端也设置有步带轮(5)，所述谐波减速器(4)上的步带轮(5)与所述伺服电机(2)上的步带轮(5)通过同步带(6)传动连接；主转动轴(1)，所述主转动轴(1)与所述谐波减速器(4)的输出端固定连接，所述主转动轴(1)与所述谐波减速器(4)的输出端同步转动，所述主转动轴(1)用于作为负载安装平台。2.根据权利要求1所述的高精度姿态旋转系统，其特征在于，还包括定位拨杆(12)和槽轮定位块(11)，所述定位拨杆(12)设置在所述主转动轴(1)上，所述槽轮定位块(11)设置在所述谐波减速器(4)的壳体上，所述定位拨杆(12)与所述槽轮定位块(11)形成槽轮拨杆机构，所述定位拨杆(12)随着所述主转动轴(1)的转动而拨动所述槽轮定位块(11)旋转。3.根据权利要求2所述的高精度姿态旋转系统，其特征在于，还包括伺服驱动器(9)和主控机(8)，所述伺服驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞，刘丹，郭梅，吕兵，刘波，张延，
申请(专利权)人：昀智科技北京有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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