适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括龙门基座、传动装置和升降结构，传动装置安装在龙门基座上，包括带传动结构、滑动结构、驱动结构，带传动结构安装在龙门基座一侧；滑动结构与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；驱动结构安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；升降结构包括运动基座和滑动连接块，运动基座位于龙门基座正面；滑动连接块一端与运动基座固结，另一端与滑动结构和/或带传动结构连接。通过本发明专利技术，提高了升降结构在大负载情况下的运动稳定性和位置控制精度。密封保护结构安装在龙门基座两侧，将升降装置正面的面板轨道槽遮蔽起来，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流。

【技术实现步骤摘要】
适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置
本专利技术涉及机器人
,具体涉及一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置。
技术介绍
在现代芯片加工行业，随着大尺寸晶圆片的普遍应用以及多功能夹爪的实际需求，使得晶圆片搬运机器人的整体结构更加复杂，从而对升降结构的负载能力、控制精度以及运动稳定性提出了更高的设计要求，同时升降结构还应满足在高等级超净环境中安装使用的要求。目前，国内在该方面的产品和技术研究起步较晚，还没有较为成熟的设计方法，这也是制约国内晶圆搬运机器人发展水平的主要原因之一。因此,本行业急需一种可在高等级超净间环境使用的大负载，高精度升降结构设计方案。
技术实现思路
本专利技术的目的是本专利提出了一种可以应用在高等级超净环境使用的龙门型大负载，高精度升降装置。本专利技术采用龙门型的设计结构，龙门基座两侧各设置一套导轨结构分别与运动基座两侧固定连接，龙门基座在运动基座的升降过程中提供更加稳定的支撑和辅助引导作用，龙门基座的使用能够提高运动基座部分的负载能力，并提高运动的稳定性和位置控制精度；带传动结构安装在龙门基座的一侧，采用同步带和步带轮作为带传动机构提高整套设计的运动性能和位置控制精度；龙门基座两侧采用了密封带设计，将运动基座移动路径上的空隙遮蔽起来，减少结构内部与外部环境的空气对流，同时龙门架和运动基座内使用了对流风扇的设计，控制内部气流沿着内部槽路向整体结构底层流动，使整体结构可以满足高等级超净间产品集成设计和使用的要求。为了解决上述技术问题，本专利技术公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括：龙门基座；传动装置，安装在龙门基座上，包括：带传动结构，安装在龙门基座一侧；滑动结构，与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；驱动结构，安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；升降结构，所述升降结构包括：运动基座，位于龙门基座正面；滑动连接块，固接在运动基座两端，并与滑动结构和/或带传动结构连接。进一步的，还包括密封保护结构，所述密封保护结构与滑动结构并排设置，并安装在龙门基座两侧。进一步的，所述密封保护结构包括：辅助轮安装支架组件，包括：第一辅助轮安装支架，数量为4，对称安装在龙门基座一侧的两端；第二辅助轮安装支架，与第一辅助轮安装支架相对设置，并对称安装在龙门基座另一侧的两端；辅助轮组件，包括：第一辅助轮和第二辅助轮，数量与第一辅助轮安装支架和第二辅助轮安装支架一一对应，分别转动连接在第一辅助轮安装支架和第二辅助轮安装支架上；密封带，密封带的一边固定在运动基座和滑动连接块之间，密封带分别与龙门基座两侧的辅助轮组件滑动连接。进一步的，所述传动装置还包括减速器，所述减速器输入端与驱动结构连接，减速器输出端与带传动结构连接。进一步的，所述滑动连接块包括：第一连接块，一端与运动基座固定连接；第二连接块，与第一连接块的另一端垂直连接，包括：第一连接面，与带传动结构固定连接；第二连接面，与第一连接面相对，并与滑动结构固定连接。进一步的，所述带传动结构包括：传动轴，转动连接在龙门基座一侧的侧壁上；主动轮，与传动轴固定连接；从动轮支架，安装在龙门基座一侧的顶部位置；从动轮，与从动轮支架转动连接；同步带，与主动轮和从动轮带传动连接；同步带固定板，将同步带的一边固定在滑动连接块的第一连接面上。进一步的，所述带传动结构还包括：支撑螺钉，位于从动轮支架底部，并固定在龙门基座一侧的侧壁上；调节螺钉，一端螺纹连接在从动轮支架底部，另一端抵接至支撑螺钉。进一步的，所述滑动结构包括：直线导轨，安装在龙门基座的两侧；滑块，一面与滑动连接块的第二连接面固定连接，相对的另一面与直线导轨滑动连接。进一步的，还包括风扇，所述风扇分别安装在运动基座和龙门基座的两侧支架内部。进一步的，还包括限位结构，位于与带传动结构相对的另一侧龙门基座上，包括：限位槽，开设在带传动结构相对的另一侧龙门基座支架壁上；限位销钉，一端安装在第二连接面，另一端位于限位槽内，并对运动基座的运动范围进行限定。有益效果：1.采用两根直线导轨从两侧引导运动基座在垂直方向做升降运动，这样大大提高了升降结构在大负载情况下的运动稳定性；2.密封带与滑动连接块固定连接，两端与辅助轮滑动连接，跟随滑动连接块在垂直方向做往复升降运动，将滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来，减少结构内部与外部环境的空气对流，降低内部颗粒对外界环境的污染；3.在运动基座和龙门架两侧支架内部都安装有风扇，用来控制结构内部气流沿内部沟槽方向，向结构底层流动，以满足高等级超净环境内安装和使用的要求。4.减速器在本方案中使用的是同步带与步带轮的组合来实现的，不排除可以使用其他种类的减速器实现相同功能的情况。附图说明图1为本专利技术龙门型升降装置的各结构示意图；图2为本专利技术龙门型升降装置的结构示意图之一；图3为本专利技术龙门型升降装置的结构示意图之二；图4为本专利技术龙门型升降装置的滑动连接块的结构示意图。图例：1.龙门基座；2.传动装置；21.带传动结构；211.传动轴；212.主动轮；213.从动轮支架；214.从动轮；215.同步带；216.同步带固定板；217.支撑螺钉；218.调节螺钉；22.滑动结构；221.直线导轨；222.滑块；23.驱动结构；24.减速器；3.升降结构；31.运动基座；32.滑动连接块；321.第一连接块；322.第二连接块；3221.第一连接面；3222.第二连接面；4.密封保护结构；41.辅助轮安装组件；411.第一辅助轮安装支架；412.第二辅助轮安装支架；42.辅助轮组件；421.第一辅助轮；422.第二辅助轮；43.密封带；5.风扇；6.限位结构；61.限位槽；62.限位销钉；7.正面面板。具体实施方式下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。以下通过特定的具体实例说明本公开的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本公开的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。本公开还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本公开的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中间”、“长度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“垂直”、“水平”、“内”、“外”、“正面”、“背面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，包括：/n龙门基座(1)；/n传动装置(2)，安装在龙门基座(1)上，包括：/n带传动结构(21)，安装在龙门基座(1)一侧；/n滑动结构(22)，与带传动结构(21)竖直方向平行设置，并安装在龙门基座(1)两侧；/n驱动结构(23)，安装在龙门基座(1)底部，并与带传动结构(21)连接；/n升降结构(3)，所述升降结构(3)包括：/n运动基座(31)，位于龙门基座(1)正面；/n滑动连接块(32)，固接在运动基座(31)两端，并与滑动结构(22)和/或带传动结构(21)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，包括：
龙门基座(1)；
传动装置(2)，安装在龙门基座(1)上，包括：
带传动结构(21)，安装在龙门基座(1)一侧；
滑动结构(22)，与带传动结构(21)竖直方向平行设置，并安装在龙门基座(1)两侧；
驱动结构(23)，安装在龙门基座(1)底部，并与带传动结构(21)连接；
升降结构(3)，所述升降结构(3)包括：
运动基座(31)，位于龙门基座(1)正面；
滑动连接块(32)，固接在运动基座(31)两端，并与滑动结构(22)和/或带传动结构(21)连接。


2.根据权利要求1所述的适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，还包括密封保护结构(4)，所述密封保护结构(4)与滑动结构(22)并排设置，并安装在龙门基座(1)两侧。


3.根据权利要求2所述的适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，所述密封保护结构(4)包括：
辅助轮安装支架组件(41)，包括：
第一辅助轮安装支架(411)，数量为4，对称安装在龙门基座(1)一侧的两端；
第二辅助轮安装支架(412)，与第一辅助轮安装支架(411)相对设置，并对称安装在龙门基座(1)另一侧的两端；
辅助轮组件(42)，包括：第一辅助轮(421)和第二辅助轮(422)，数量与第一辅助轮安装支架(411)和第二辅助轮安装支架(412)一一对应，分别转动连接在第一辅助轮安装支架(411)和第二辅助轮安装支架(412)上；
密封带(43)，密封带(43)的一边固定在运动基座(31)和滑动连接块(32)之间，密封带(43)分别与龙门基座(1)两侧的辅助轮组件(42)滑动连接。


4.根据权利要求1所述的适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，所述传动装置(2)还包括减速器(24)，所述减速器(24)输入端与驱动结构(23)连接，减速器(24)输出端与带传动结构(21)连接。


5.根据权利要求1所述的适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，其特征在于，所述滑动连接块(32)包括：
第一连接块(321)，一端与运动基座(31)固定连接；
第二连接块...

【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞，郭梅，刘丹，韩浚源，
申请(专利权)人：昀智科技北京有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11