一种可调型探针制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调型探针，包括探针板、铝板和手轮，所述探针板四角均设置有连接孔，所述连接孔穿过探针板，探针板中间设置有铝板，所述铝板上下两侧均设置有第一锁紧螺丝，所述第一锁紧螺丝在铝板的一侧上均设置有两组，位于铝板两侧最左端锁紧螺丝的左上方固定设置有手轮，所述手轮上固定连接有第二锁紧螺丝。该可调型探针，实现了在一定行程范围内的多种规格测试，打破了常规针卡的局限，完全实现了客户的要求，在实验和调试阶段既满足了测试，又节省了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种可调型探针
本技术属于探针卡
，具体涉及一种可调型探针。
技术介绍
探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制程特征尺寸越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。探针台系统通常由承载台、探针座、显微镜、测试机，以及其他辅助增强系统组成，一般配备数到通过探针实现芯片上每个PAD与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。目前，常规的TrimPCTM探针卡都是一种型号制作一种探针卡，只要被测物结构尺寸稍有变化就必须重新制作探针卡，原有的探针卡是无法使用的。一种型号的被测物对应一种探针卡对于大批量生产是没有问题的，但当出现客户产品改型实验阶段这种做法就比较浪费，需要制作多种针卡满足实验要求，客户要求在线微调针卡尺寸以达到多种测试要求，常规针卡无法满足要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可调型探针，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调型探针，包括探针板、铝板和手轮，所述探针板四角均设置有连接孔，所述连接孔穿过探针板，探针板中间设置有铝板，所述铝板上下两侧均设置有第一锁紧螺丝，所述第一锁紧螺丝在铝板的一侧上均设置有两组，位于铝板两侧最左端锁紧螺丝的左上方固定设置有手轮，所述手轮上固定连接有第二锁紧螺丝。优选的，所述铝板为长方体结构，铝板的四角均经过圆滑处理。优选的，所述手轮通过连接片与第一锁紧螺丝相连接，所述手轮为圆柱形结构，手轮还是上环形阵列设置有七组螺纹孔，所述手轮上一组螺纹孔与第二锁紧螺丝固定连接。本技术的技术效果和优点：该可调型探针，通过设置可调节的第一锁紧螺丝与第二锁紧螺丝，配合铝板的设计，实现了在一定行程范围内的多种规格测试，打破了常规针卡的局限，同时完全实现了客户的要求，在实验和调试阶段既满足了测试，又节省了成本。附图说明图1为本技术的主视图；图2为本技术的手轮主视图。图中：1探针板、2连接孔、3第一锁紧螺丝、4铝板、5手轮、6第二锁紧螺丝、7螺纹孔、8连接片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-2所示的一种可调型探针，包括探针板1、铝板4和手轮5，所述探针板1四角均设置有连接孔2，所述连接孔2穿过探针板1，探针板1中间设置有铝板4，所述铝板4上下两侧均设置有第一锁紧螺丝3，所述第一锁紧螺丝3在铝板4的一侧上均设置有两组，位于铝板4两侧最左端锁紧螺丝的左上方固定设置有手轮5，所述手轮5上固定连接有第二锁紧螺丝6。具体的，所述铝板4为长方体结构，铝板4的四角均经过圆滑处理。具体的，所述手轮5通过连接片8与铝板4上下两侧最左端的第一锁紧螺丝3相连接，所述手轮5为圆柱形结构，手轮5还是上环形阵列设置有七组螺纹孔7，所述手轮5上一组螺纹孔7与第二锁紧螺丝6固定连接。具体的，该可调型探针，在使用过程中，将探针卡的一边做成固定，另一边做成活动式，如图1所示，设定好针卡将来的行程，在铝板4上定位好，需要调整位置时，松开铝板4两头第一锁紧螺丝3和手轮5的第二锁紧螺丝6，根据客户的被测物调整到位后锁紧第一锁紧螺丝3，然后将手轮5第二锁紧螺丝6锁上，这样就可以开始测试，而且第一锁紧螺丝3和第二锁紧螺丝6不会因为测试过程的震动而自行松开。该可调型探针，实现了在一定行程范围内的多种规格测试，打破了常规针卡的局限，同时满足各种客户的要求，节省了成本。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调型探针，包括探针板(1)、铝板(4)和手轮(5)，其特征在于：所述探针板(1)四角均设置有连接孔(2)，所述连接孔(2)穿过探针板(1)，探针板(1)中间设置有铝板(4)，所述铝板(4)上下两侧均设置有第一锁紧螺丝(3)，所述第一锁紧螺丝(3)在铝板(4)的一侧上均设置有两组，位于铝板(4)两侧最左端锁紧螺丝的左上方固定设置有手轮(5)，所述手轮(5)上固定连接有第二锁紧螺丝(6)。

【技术特征摘要】
1.一种可调型探针，包括探针板(1)、铝板(4)和手轮(5)，其特征在于：所述探针板(1)四角均设置有连接孔(2)，所述连接孔(2)穿过探针板(1)，探针板(1)中间设置有铝板(4)，所述铝板(4)上下两侧均设置有第一锁紧螺丝(3)，所述第一锁紧螺丝(3)在铝板(4)的一侧上均设置有两组，位于铝板(4)两侧最左端锁紧螺丝的左上方固定设置有手轮(5)，所述手轮(5)上固定连接有第二锁紧螺丝(...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹斌，
申请(专利权)人：苏州矽利康测试系统有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32