一种干式爪型真空泵制造技术

本发明专利技术公开一种干式爪型真空泵，包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体、主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子腔相连通，所述进气口还接进气管路，所述排气口还与消声器连接，所述进气管路、进气口、转子腔、排气口和消声器形成抽送气体通道，所述抽送气体通道通过磁控溅射的工艺于表面形成WC‑DLC超晶格纳米多层防腐涂层。本发明专利技术通过上述设计，能够有效阻隔腐蚀性气体对零件表面的腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种干式爪型真空泵
本专利技术涉及真空泵设计领域，具体涉及一种干式爪型真空泵。
技术介绍
随着生物制药、食品、半导体、化工以及薄膜工业的迅速发展，对高真空度、高清洁度生产环境的需求日益迫切，传统高真空度的油扩散泵、油封式机械泵等由于泵内有油，不适于抽送含氧量高、易爆易腐蚀的气体，也不易于产生高清洁度的生产环境；在制药行业负压蒸馏、精馏、升华等工艺过程以及负压蒸发、干燥、浓缩、结晶、脱水、脱色、化学反应吸收及真空输送物料等工艺均要求提供不同真空度、高洁净度的生产环境。传统的往复真空泵、旋片、罗茨等真空泵随着运转部件磨损、检修次数的增加，工作真空度将不断下降，直至满足不了生产的要求。另外用此类泵抽吸水蒸汽等可凝性气体，将使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不凝性气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质，这也就限制了其适用范围。例如，精细和医药化工是化工领域重点发展的行业之一，但同时也是物质和能源消耗较大、污染较重的行业，排放的废水具有浓度高、腐蚀性、毒性大、难以生物降解等特点，是国内外公认的最难处理的废水之一。“高浓度”与“有毒、有害”或“难降解”两大特性的叠加,导致单独使用生物法处理此类废水失去可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干式爪型真空泵，其特征在于：包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体和安装于泵壳体内的主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述电机通过联轴器与所述主动轴连接，所述同步齿轮用于主动轴与从动轴之间的传动；所述泵壳体前端为齿轮腔，所述同步齿轮、轴承和动密封安装于所述齿轮腔内，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述齿轮腔与所述转子腔通过所述动密封隔离，所述进排气壳体与泵壳体之间的结合面密封，保证转子腔内气体不发生泄漏；所述主动转子于转子腔内安装于主动轴上，所述从动转子于转子腔内安装于所述从动轴上；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子...

【技术特征摘要】
1.一种干式爪型真空泵，其特征在于：包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体和安装于泵壳体内的主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述电机通过联轴器与所述主动轴连接，所述同步齿轮用于主动轴与从动轴之间的传动；所述泵壳体前端为齿轮腔，所述同步齿轮、轴承和动密封安装于所述齿轮腔内，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述齿轮腔与所述转子腔通过所述动密封隔离，所述进排气壳体与泵壳体之间的结合面密封，保证转子腔内气体不发生泄漏；所述主动转子于转子腔内安装于主动轴上，所述从动转子于转子腔内安装于所述从动轴上；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子腔相连通，所述进气口还接进气管路，所述排气口还与消声器连接，所述进气管路、进气口、转子腔、排气口和消声器形成抽送气体通道，所述抽送气体通道通过磁控溅射的工艺于表面形成WC-DLC超晶格纳米多层防腐涂层。2.根据权利要求1所述的干式爪型真空泵，其特征在于：所述电机为永磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜学兵，林文泉，易宇，彭勇，鲁天玲，王龙武，韦冬冬，刘照理，
申请(专利权)人：深圳市泉天下泵业有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44