【技术实现步骤摘要】
一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法
本专利技术涉及聚合物薄膜电容器领域，尤其涉及一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法。
技术介绍
电池作为一种传统的储能元件，具有较高的能量密度，但其工作原理决定了其放电速度受限，放电时的功率密度较低，相反，电容器具有极快的充放电速率(微秒级)和超高的功率密度(兆瓦每千克)，适用于许多需要输出脉冲功率的场合，例如电网调频、工业节能、关键医学设备、工业激光器、新能源汽车以及先进电磁武器等。常用的储能电容器有电解电容器，陶瓷电容器和薄膜电容器三种。铝电解电容器损耗大，寿命短，工作稳定性差，已经逐渐被市场所淘汰；陶瓷电容器是目前微电子等领域使用最为广泛的储能电容器之一，与薄膜电容器相比，陶瓷材料具有较高的介电常数，这有利于制造高能量密度的电容器，但其电器强度往往较低，限制了其储能能力。同时，其加工需要高温烧结，工艺复杂且柔韧性差，随着电子器件持续向小型化，轻量化，集成化，薄膜化的方向发展，轻便，易加工，柔韧性好的的聚合物薄膜电容器将成为未来储能电容器的主流。目前薄膜电容器已在电动汽车、风电、光伏、照明和铁路机车等行业中广泛应用。...
【技术保护点】
1.一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法，其特征在于：通过化学气相沉积技术先在铜箔表面沉积一层高绝缘的六方氮化硼薄层；再通过高温热压的方法将六方氮化硼薄层转移至聚合物电容器薄膜表面；最后通过刻蚀液刻蚀掉复合薄膜表面的铜箔，烘干之后得到电容器薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法，其特征在于：通过化学气相沉积技术先在铜箔表面沉积一层高绝缘的六方氮化硼薄层；再通过高温热压的方法将六方氮化硼薄层转移至聚合物电容器薄膜表面；最后通过刻蚀液刻蚀掉复合薄膜表面的铜箔，烘干之后得到电容器薄膜。2.根据权利要求1所述的一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法，其特征在于：所述高绝缘的六方氮化硼薄层具有宽能带隙，并将其作为电荷阻挡层。3.根据权利要求1所述的一种高性能高温电容器薄膜的规模化制备方法，其特征在于：用化学气相沉积的技术，以氨硼烷为源，氮气与氢气的混合气体为工作气体在铜箔表面沉积六方氮化硼。其中典型反应气压为100mTorr，反应温度为1050℃，反应时间为20分钟；将聚合物电容...
【专利技术属性】
技术研发人员：李琦，何金良，周垚，成桑，曾嵘，胡军，张波，余占清，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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