【技术实现步骤摘要】
基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法
本专利技术涉及聚合物薄膜电容器领域，尤其涉及一种基于大气压低温等离子体沉积技术的高温电容器薄膜的快速大规模制备方法。
技术介绍
电介质电容器具有极快的充放电速率(微秒级)和超高的功率密度(兆瓦每千克)，是一类极其重要的功率型储能器件，在电网调频、工业节能、关键医学设备、工业激光器、新能源汽车以及先进电磁武器等大功率储能和脉冲功率系统中发挥着关键作用。电介质电容器按照使用的介质材料主要可分为聚合物介质电容器、无机介质电容器、电解电容器等三类。其中以聚合物为介质材料的电容器——聚合物薄膜电容器，凭借其质量轻、加工性能好、生产成本低、介电强度高、自愈性好、集成组装工艺简单以及无液体介质等特点，目前已在电动汽车、风电、光伏、照明和铁路机车等行业中广泛应用。随着智能电网和新能源等产业的迅猛发展，薄膜电容器的需求还在逐年递增。目前薄膜电容器在许多应用领域中的工作环境温度都高于室温，电场强度也较高。绝大多数聚合物电介质材料的最高使用温度在125℃以下，当温度逐渐升高到接近最高使用温度时，聚合物电介质材料的介电损耗急剧升高。尤其...
【技术保护点】
1.一种基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法，其特征在于：通过大气压低温等离子沉积技术在聚合物电容器薄膜表面沉积具有高绝缘性能的薄层，在金属电极和聚合物电容器薄膜之间引入高绝缘性能薄层，利用高绝缘性能薄层具有宽能带隙的特点，将其作为电荷阻挡层，从而有效抑制高温高电场作用下由于电极处的电荷注入而形成的泄漏电流，进而提高聚合物电容器薄膜在高温高电场作用下的充放电效率，达到提高其工作温度的目的。
【技术特征摘要】
1.一种基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法，其特征在于：通过大气压低温等离子沉积技术在聚合物电容器薄膜表面沉积具有高绝缘性能的薄层，在金属电极和聚合物电容器薄膜之间引入高绝缘性能薄层，利用高绝缘性能薄层具有宽能带隙的特点，将其作为电荷阻挡层，从而有效抑制高温高电场作用下由于电极处的电荷注入而形成的泄漏电流，进而提高聚合物电容器薄膜在高温高电场作用下的充放电效率，达到提高其工作温度的目的。2.根据权利要求1所述的基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法，其特征在于：在所述大气压低温等离子沉积技术中大气压低温等离子体的产生方式为介质阻挡放电方式，通过载气将高绝缘性能薄层前驱体吹入等离子体区，经高压电源激励，在介质阻挡板之间产生均匀稳定的大气压低温等离子体，在等离子体作用下，前驱体发生物理、化学变化从而在电容器薄膜表面沉积一层高绝缘性能薄层。3.根据权利要求2所述的基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法，其特征在于：在所述大气压低温等...
【专利技术属性】
技术研发人员：李琦，何金良，周垚，曾嵘，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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