【技术实现步骤摘要】
激光分光装置及双工位激光加工设备和方法
本专利技术属于激光加工
，具体涉及一种激光分光装置及双工位激光加工设备和方法。
技术介绍
激光的分光技术有能量分光和分时分光两种，中国专利技术专利CN204855952U公开了一种分时分光光路，其包括可调焦激光器准直筒、45度反光镜座、高速电机座和光纤耦合座组成。这种分光技术属于分时分光，由于在光路中用到了光纤耦合，因此光路调试难度大，耦合效率无法达到100%。此外，该光路的可靠性不佳，在高功率或光路抖动的情况下，存在光纤耦合头烧坏的风险。现有的硅片激光加工设备，一般采用一台激光器对应一台振镜进行加工，设备的加工速度取决于激光雕刻加工时间和硅片传输时间，由于硅片的传输只能采用机械方法，单个工位加工时，下一片硅片必须等候加工位上的硅片加工完毕才能传输到位，这已经成为限制提高激光加工效率的短板，硅片传输时间的短板使得设备产能难以进一步提高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：提供一种激光分光装置及双工位激光加工设备和方法，能够提高加工效率，同时稳定性好。本专利技术为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种激光分光装置...
【技术保护点】
1.一种激光分光装置，包括激光光源、激光光路和扫描头，其特征在于：本装置还包括单轴振镜系统；所述的激光光路为2路，每路激光光路的末端均设有一个扫描头，每个扫描头分别对应一个加工台，扫描头包括加工振镜和场镜；2路激光光路通过控制单轴振镜系统中单轴振镜的机械转角而实现切换。
【技术特征摘要】
1.一种激光分光装置，包括激光光源、激光光路和扫描头，其特征在于：本装置还包括单轴振镜系统；所述的激光光路为2路，每路激光光路的末端均设有一个扫描头，每个扫描头分别对应一个加工台，扫描头包括加工振镜和场镜；2路激光光路通过控制单轴振镜系统中单轴振镜的机械转角而实现切换。2.根据权利要求1所述的激光分光装置，其特征在于：所述的2路激光光路均由全反射镜片组对激光进行反射。3.根据权利要求1所述的激光分光装置，其特征在于：每路所述的激光光路与对应的扫描头之间均设有扩束镜。4.一种双工位激光加工设备，其特征在于：本加工设备包括权利要求1至3中任意一项所述的激光分光装置，还包括双工位传输系统和控制系统；所述的双工位传输系统包括两个与扫描头对应的加工台，以及传送装置；传送装置包括上料模组、上料转移模组、下料转移模组和下料模组；上料模组用于传送待加工产品，上料转移模组用于从上料模组轮流向2个加工台转移待加工产品，下料转移模组用于轮流从2个加工台向下料模组转移已加工产品；所述的控制系统用于控制激光分光装置和双工位传输系统动作的时序，从而完成以下动作：当激光经其中一路激光光路入射到对应的扫描头，对其中一个加工台进行激光加工时，下料转移模组和上料转移模组完成对另一个加工台的已加工产品和待加工产品转移及准备动作。5.根据权利要求4所述的双工位激光加工设备，其特征在于：所述的传送装置只有一组，上料模组的末端仅设有一个取料位，下料模组的前端仅设有一个接料位；所述的上料转移模组包括上料旋转轴、与上料旋转轴连接的2个上料连接臂，上料连接臂的末端设有产品固定装置；上料旋转轴的位置和2个上料连接臂之间的夹角使得：一个上料连接臂的末端位于加工台上时，另一个上料连接臂的末端位于所述的取料位上；上料旋转轴由所述的控制系统控制往复步进旋转；所述的下料转移模组包括下料旋转轴、与下料旋转轴连接的2个下料连接臂，下料连接臂的末端设有产品固定装置；下料旋转轴的位置和2个下料连接臂之间的夹角使得：一个下料连接臂的末端位于加工台上时，另一个下料连接臂的末端位于所述的接料位上；下料旋转轴由所述的控制系统控制往复步进旋转。6.根据权利要求5所述的双工位激光加工设备，其特征在于：每个所述的加工台为旋转加工台，包括旋转部和驱动部，驱动部用于驱动旋转部步进旋转并在上料位、加工位和下料位之间循环停留，分别与所述的上料转移模组、扫描头和下料转移模组匹配；旋转加工台上设有产品固定装置。7.根据权利要求6所述的双工位激光加工设备，其特征在于：所述的上料旋转轴设置在2个加工台的上料位连线的中点上，且取料位位于2个加工台的上料位连线的中心线上，2个上料连接臂的夹角为90度；所述的下料旋转轴设置在2个加工台的下料位连线的中点上，且接料位位于2个加工台的下料位连线的中心线上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：程晓伟，李志刚，朱凡，
申请(专利权)人：武汉帝尔激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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