一种化学品供应系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种化学品供应系统，包括一中空柜体，位于中空柜体内的化学品室和运输管路室，以及第一化学品供应线，第一化学品供应线包括位于运输管路室内的第一输送管道，第一输送管道上设有排气管，排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于化学品室内的待供应化学品，经由第一输送管道传送至后续各装置。本实用新型专利技术提供的化学品供应系统，通过双化学品供应线提高系统的稳定性，并通过气体隔离大气，提高系统的洁净度。另外，通过化学品回流管路，保证供应管路的压力稳定。并通过排气管及时排出系统中的气泡，提高供应的化学品的合格率，也为下游光电化学品的高合格率提供保障。

【技术实现步骤摘要】
一种化学品供应系统
本技术涉及一种化学品供应系统，尤其涉及一种用于光电行业的化学品供应系统。
技术介绍
光电行业常常需要使用大量化学品，而这些行业对化学品的纯度要求较高，由于化学品容易氧化，因此，化学品供应过程中需要隔绝空气。另外，对环境中的粉尘量也有较高的要求，若环境中杂质超标，会给后续产品造成严重的影响，因此，对化学品的供应的要求也相应提高，如要求洁净度为100级的洁净室，即在1立方米的空气中，大于等于5微米的微小尘粒的个数要小于等于100，一般的企业很难做到洁净度为100的环境，或者需要耗费大量的资金。另外，这类化学品供应过程中还要求无气泡、压力恒定、流量稳定，这些都给化学品供应系统增加了难度。采用双桶自动切换DRUM就是桶，连续供应方式，配有补充气体，不让桶内产生负压，同时能让桶内少量正压，可以增加流量，在线压力检测，实时检测供应管道内的压力，采用泵为一用一备，即使有一台有问题可以启动另一台，可实现不停机维修保养。
技术实现思路
本技术针对现有技术存在的缺陷，提供一种能够满足光电化学领域对化学品供应的环境要求的化学品供应系统。本技术提供的化学品供应系统，包括一中空柜体，位于所述中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括一中空柜体，位于所述中空柜体内的化学品室和运输管路室，控制系统，以及第一化学品供应线，所述第一化学品供应线包括位于所述运输管路室内的第一输送管道，所述第一输送管道，所述第一输送管道上设有排气管，所述排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于所述化学品室内的待供应化学品，由经第一输送管道传送至后续各装置，所述控制系统控制所述排气管和/或第一输送管道的开启或关闭。

【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括一中空柜体，位于所述中空柜体内的化学品室和运输管路室，控制系统，以及第一化学品供应线，所述第一化学品供应线包括位于所述运输管路室内的第一输送管道，所述第一输送管道，所述第一输送管道上设有排气管，所述排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于所述化学品室内的待供应化学品，由经第一输送管道传送至后续各装置，所述控制系统控制所述排气管和/或第一输送管道的开启或关闭。2.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一化学品供应线还包括位于所述化学品室的第一化学品罐，待供应化学品位于第一化学品罐中，所述第一输送管道的一端位于所述第一化学品罐的液位以下，所述第一输送管道上设有第一动力泵。3.根据权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一动力泵的两端分别设有第一排气管和第二排气管。4.根据权利要求3所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一输送管道和/或所述第一排气管、第二排气管上还设有气动阀，所述控制系统控制所述气动阀的开启或关闭。5.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述运输管路室还设有第一回流管道，所述第一输送管道上设有压力传感器，所述第一回流管道的一端与第一输送管道连通，另一端位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：山世清，
申请(专利权)人：上海晶福机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31