一种自混酸填充与供应系统技术方案

本申请公开了一种自混酸填充与供应系统，包括CCB控制柜、自混酸供应控制柜、自混酸储存罐；其中，CCB控制柜设有对接区，对接区内的酸管道接口第一端连接与外部工业用酸供应设备连接的工业用酸供应管；工业用酸管道接口第二端连接工业用酸第一运输管道的第一端，工业用酸第一运输管道的第二端穿过CCB控制柜后连接到自混酸第一储存罐，自混酸第一储存罐连接工业用酸第二运输管道第一端，工业用酸第二运输管道第二端进入自混酸供应控制柜，并在自混酸供应控制柜的柜体内连接到自混酸供应控制柜的生产线第一接口；生产线第一接口上游，连接工业用酸第三运输管道，工业用酸第三运输管道穿出自混酸供应控制柜柜体后，连接自混酸第一储存罐。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种供应系统，尤其涉及一种自混酸填充与供应系统。

技术介绍

1、在半导体制造过程中，涉及高腐蚀性的化学品进行蚀刻。在供应到半导体生产线之前，一般需要将混合罐内各种混入的物料混合均匀，但是由于物料的高腐蚀性，罐内一般不宜设搅拌机构，而半导体工厂使用的工业用酸，往往是外部工业用酸生产商处提供，由运输车从工业用酸生产商处运输并填充于半导体制造工厂的工业用酸供应体系中，这就需要一种能够自混合的填充与供应系统。

技术实现思路

1、本技术的目的是确保半导体制造工厂有稳定的蚀刻酸溶液供应，避免因供应中断导致生产暂停或减产。

2、为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供了一种自混酸供应体系，包括ccb控制柜、自混酸供应控制柜、自混酸储存罐。其中，ccb控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有工业用酸管道接口，工业用酸管道接口第一端连接与外部工业用酸供应设备连接的工业用酸供应管；工业用酸运输管道接口第二端连接工业用酸第一运输管道的第一端，工业用酸第一运输管道的第二端穿过ccb控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自混酸填充与供应系统，其特征在于，包括CCB控制柜、自混酸供应控制柜、自混酸储存罐；其中，CCB控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有盐酸管道接口，盐酸管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备连接的盐酸供应管；盐酸运输管道接口第二端连接盐酸第一运输管道的第一端，盐酸第一运输管道的第二端穿过CCB控制柜后连接到自混酸第一储存罐，自混酸第一储存罐连接盐酸第二运输管道第一端，盐酸第二运输管道第二端进入自混酸供应控制柜，并在自混酸供应控制柜的柜体内连接到自混酸供应控制柜的生产线第一接口；生产线第一接口上游，连接盐酸第三运输管道，盐酸第三运输管道穿出自混酸供应控制柜柜体后，连接自混酸第一储存罐...

【技术特征摘要】

1.一种自混酸填充与供应系统，其特征在于，包括ccb控制柜、自混酸供应控制柜、自混酸储存罐；其中，ccb控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有盐酸管道接口，盐酸管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备连接的盐酸供应管；盐酸运输管道接口第二端连接盐酸第一运输管道的第一端，盐酸第一运输管道的第二端穿过ccb控制柜后连接到自混酸第一储存罐，自混酸第一储存罐连接盐酸第二运输管道第一端，盐酸第二运输管道第二端进入自混酸供应控制柜，并在自混酸供应控制柜的柜体内连接到自混酸供应控制柜的生产线第一接口；生产线第一接口上游，连接盐酸第三运输管道，盐酸第三运输管道穿出自混酸供应控制柜柜体后，连接自混酸第一储存罐；自混酸第二储存罐设有双氧水源接口，自混酸第二储存罐连接盐酸第四运输管道第一端，盐酸第四运输管道第二端进入自混酸供应控制柜，连接到自混酸供应控制柜的生产线第二接口；生产线第二接口上游，连接盐酸第五运输管道，盐酸第五运输管道穿出自混酸供应控制柜柜体后，连接自混酸第二储存罐。

2.根据权利要求1所述的一种自混酸填充与供应系统，其特征在于，自混酸供应控制柜内，盐酸第二运输管道设有磁力泵，所述磁力泵位于生产线第一生产线接口的上游；所述磁力泵可以是一个或至少两个，当磁力泵是至少两个时候，磁力泵可以是并联设置。

3.根据权利要求1所述的一种自混酸填充与供应系统，其特征在于，自混酸供应控制柜内，磁力泵与生产线第一接口之间，连接盐酸第三运输管道，盐酸第三运输管道穿出自混酸供应控制柜，连接自混酸第一储存罐。

4.根据权利要求1所述的一种自混酸填充与供应系统，其特征在于，自混酸供应控制柜内，设有第一取样箱，在生产线第一接口和磁力泵之间的管道上，连接第一盐酸运输支路，第一盐酸运输支路连接所述第一取样箱。

5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：山世清，
申请(专利权)人：上海晶福机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：