一种真空铸铝加热器制造技术

本发明专利技术公开了一种真空铸铝加热器，包括导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与导热板连接，不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部。导热板和不锈钢加热管及温度传感器的探头端铸造融合，传热效果好且测温更准确；密封垫片实现了套线管和法兰一的真空密封；法兰一与不锈钢加热管及温度传感器的导线管焊接或采用金属胶以实现真空密封及冷却降温；水冷却法兰密封件与镀膜腔室及套线管之间采用密封圈实现真空密封及冷却降温。

【技术实现步骤摘要】
一种真空铸铝加热器
本专利技术涉及太阳能电池生产
，尤其是一种等离子体化学增强气相沉积板式PECVD设备，提供了一种板式PECVD设备的专用真空铸铝加热器。
技术介绍
常规能源资源的有限性和环境压力的增加，使世界上许多国家重新加强了对新能源和可再生能源技术发展的支持。新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一。太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源。在实际中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容。而光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等优点，在我国西部广袤严寒、地形多样和居住分散的现实条件下，有着非常独特的作用。而太阳能电池是光伏发电设备的核心器件。在太阳能电池生产过程中，电池镀膜工艺过程的镀膜腔室需要400-450℃的高温，腔室需要维持这一恒定温度以实现工艺的需求。同时需要在真空环境中完成镀膜工艺，镀膜腔室的真空度为1-500Pa。电池镀膜设备具有镀膜腔室温度高、真空度高的特点，常规的加热器无法满足上述需求。同时加热器需要具备长寿命、保温性能好、机械性能强、耐腐蚀等特点。根据上述需求，加热器的材料及结构起到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空铸铝加热器，其特征在于，包括：导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；所述导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；所述套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与所述导热板连接，所述不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部；所述导热板与套线管连接；所述导热板与不锈钢加热管的连接处采用铝合金铸造融合连接；所述导热板与温度传感器的探头端采用铝合金铸造融合连接；位于镀膜腔室外部的所述套线管端部连接有法兰一，所述不锈钢加热管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接，所述温度传感器的导线管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接；所述腔室下板的外部安装有与所述套线...

【技术特征摘要】
1.一种真空铸铝加热器，其特征在于，包括：导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；所述导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；所述套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与所述导热板连接，所述不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部；所述导热板与套线管连接；所述导热板与不锈钢加热管的连接处采用铝合金铸造融合连接；所述导热板与温度传感器的探头端采用铝合金铸造融合连接；位于镀膜腔室外部的所述套线管端部连接有法兰一，所述不锈钢加热管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接，所述温度传感器的导线管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接；所述腔室下板的外部安装有与所述套线管紧配连接的法兰二。2.根据权利要求1所述的一种真空铸铝加热器，其特征在于，所述套线管与所述法兰一之间设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯岳明，庄正军，上官泉元，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32