The present invention discloses a method for optimizing the position and orientation of off-axis aspheric surface detected by structured light. The method calculates the slope of each point of the measured mirror by using the deformation information of projected fringes reflected by the mirror, and then integrates the surface information of the measured mirror. The principle of structured light measurement method is simple and its dynamic range is large. It is widely used in the field of surface shape detection. However, in the actual measurement process, the position and attitude error of the mirror will seriously affect the final surface detection accuracy, especially the low-frequency surface. The numerical optimization algorithm can effectively solve this problem and improve the detection accuracy of the structured light surface, which has important application value.
【技术实现步骤摘要】
一种结构光检测离轴非球面的位姿优化方法
本专利技术属于光学测量
,具体涉及一种结构光检测离轴非球面的位姿优化方法。
技术介绍
随着现代光学技术的不断发展,非球面光学元件在现代光学系统中得到了越来越广泛的应用,因为非球面光学元件的应用可使系统小型化、简单化和轻量化,特别是离轴非球面。在光学系统设计中,相对于平球面,非球面具有更多的设计自由度,可同时优化顶点曲率半径、二次曲面常数和高阶项系数,更利于控制光学系统的成像质量。由于其诸多优点,以非球面为核心的光学系统在同步辐射、空间光学、天文望远镜和光刻系统等高
有着极为广泛的应用,对非球面的加工检测也提出了新的要求。目前,对于离轴非球面的面形检测主要有坐标测量和干涉测量两种方法,前者是基于坐标的逐点测量,采样密度较小,后者检测精度较高,但对于离轴非球面需要加工制作补偿器,检测成本较高。结构光测量方法是近年发展起来的一种较为简易有效的面形检测方法,其基本原理是通过显示器投影条纹到被测镜面上,利用经镜面反射后的投影条纹的变形信息计算被测镜面各点的斜率,然后积分得到被测镜面的面形信息。结构光测量方法原理结构简单,检测动态范围较大,在面形检测领域应用愈加广泛。由于结构光测量方法结构原理简单,对被测镜面的位置姿态控制较为宽松,在实际测量过程中,镜面的位置姿态误差会严重影响最终的面形检测精度,特别是低频面形,镜面位置姿态的准确确定也是结构光测量方法的核心难点问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种结构光检测离轴非球面的位姿优化方法,对离轴非球面的位置姿态进行准确确定。本专利技术采用技术方案为:一种结构光检测离 ...
【技术保护点】
1.一种结构光检测离轴非球面的位姿优化方法,所述方法采用的器件包括LCD显示屏(1)、被测镜面(2)和相机(3),其特征在于:所述方法具体实现步骤如下:第一步,分别在LCD显示屏(1)、相机(3)和被测镜面(2)上制作至少3个标记点,采用激光跟踪仪进行测量,获得各标记点空间坐标位置信息;第二步,在LCD显示屏(1)上分别显示横竖正弦条纹,并用相机(3)拍摄经被测镜面(2)反射后的条纹,计算得到LCD显示屏(1)像素坐标;第三步,使用激光跟踪仪以被测镜面(2)为基准建立坐标系,并建立系统几何模型,然后将标定中得到的LCD显示屏(1)平面度误差数据代入模型中,从点像素坐标转换到其空间坐标;同时,结合相机(3)标定的光线出射光线向量,就可以得到屏幕点的空间坐标,最后将点的实测值与理想值坐标代入下式,
【技术特征摘要】
1.一种结构光检测离轴非球面的位姿优化方法,所述方法采用的器件包括LCD显示屏(1)、被测镜面(2)和相机(3),其特征在于:所述方法具体实现步骤如下:第一步,分别在LCD显示屏(1)、相机(3)和被测镜面(2)上制作至少3个标记点,采用激光跟踪仪进行测量,获得各标记点空间坐标位置信息;第二步,在LCD显示屏(1)上分别显示横竖正弦条纹,并用相机(3)拍摄经被测镜面(2)反射后的条纹,计算得到LCD显示屏(1)像素坐标;第三步,使用激光跟踪仪以被测镜面(2)为基准建立坐标系,并建立系统几何模型,然后将标定中得到的LCD显示屏(1)平面度误差数据代入模型中,从点像素坐标转换到其空间坐标;...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵文川,宋伟红,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:四川,51
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