膜检测装置及膜检测方法制造方法及图纸

本申请公开一种膜检测装置及膜检测方法。所述膜检测装置的入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，缓存架包括多层可上下移动的收容机构，该收容机构用于暂存待检测成膜件。基于此，本申请能够有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
膜检测装置及膜检测方法
本申请涉及电子设备的成膜制造与品质检测
，具体涉及一种膜检测装置及膜检测方法。
技术介绍
PI(Polyimide,聚酰亚胺)膜是一种广泛应用于LCD(LiquidCrystalDisplay,液晶显示器)、以及OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有机发光二极管)显示器等中的薄膜结构，其成膜品质直接影响到显示器的显示效果，因此业界通常需要借助PIN(PIinspection,PI检测)机对PI膜进行检测，以避免其出现瑕疵、刮伤等缺陷。PIN机是一种inline(内联)设备，其上游和下游分别设置有缓存架(Buffer)，即上游缓存架和下游缓存架，PIN机从上游缓存架调取待检测成膜件。但是，上游缓存架一般仅设置有10层用于暂存待检测成膜件的收容机构，其暂存的待检测成膜件的数量较少，一旦其缓存数量出现异常，则容易导致PIN机无法调取待检测成膜件，从而影响整个检测流程的协调性，并且在需要将上游缓存架上的待检测成膜件传送至PIN机的入料区时，位于PIN机上游或下游的机台需要切换为手动模式，需要人工手动将待检测成膜件搬运至PIN机的入料区。这显然不利于提高整个检测流程的协调性，从而导致检测效率低下。申请内容有鉴于此，本申请提供一种膜检测装置及膜检测方法，有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。本申请一实施例的膜检测装置，包括入料区和检测区，所述入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述传送机构用于将待检测成膜件传送至检测区，所述收容机构用于暂存待检测成膜件且可上下移动。本申请一实施例的膜检测方法，包括：提供一膜检测装置，其入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述缓存架包括多层可上下移动的收容机构；所述缓存架的多层收容机构采用循环方式依次暂存待检测成膜件，所述循环方式表示其中一收容机构接收待检测成膜件之后位于所述其中一收容机构下方的第一层收容机构上升或者位于所述其中一收容机构上方的第一层收容机构下降以接收下一个待检测成膜件；所述缓存架的收容机构与所述传送机构平齐，并将暂存于所述收容机构的待检测成膜件转移至所述传送机构上；所述传送机构将位于其上的待检测成膜件传送至所述膜检测装置的检测区，并对所述待检测成膜件进行检测。有益效果：本申请在膜检测装置(以PIN机为例)的入料区设置一缓存架，该缓存架包括可上下移动的多层收容机构，即入料区自身可以暂存待检测成膜件，即使PIN机上游的机台出现暂存异常，PIN机也可以依次调取自身入料区暂存的待检测成膜件，无需人工手动从上游搬运，无需将PIN机上游的机台切换为手动模式，因此，本申请能够有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。附图说明图1是本申请一实施例的膜检测装置的结构俯视示意图；图2是本申请一实施例的传送机构的结构示意图；图3是本申请一实施例的缓存架的结构示意图；图4是本申请一实施例的膜检测方法的流程示意图。具体实施方式本申请的主要目的是：在膜检测装置的入料区设置一缓存架，该缓存架包括可上下移动的多层收容机构，通过收容机构暂存待检测成膜件，于此，入料区自身可以暂存待检测成膜件，即使其上游的机台出现暂存异常，入料区也可以依次调取各层收容机构暂存的待检测成膜件，无需人工手动从上游搬运，无需将上游的机台切换为手动模式，以此有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。所述待检测成膜件包括但不限于为制备有PI膜的基板，相应地，所述膜检测装置可以为PIN机，该PIN机用于检测PI膜的品质。下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。并且，本申请下文各个实施例所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例，并非用于限制本申请的保护范围。图1是本申请一实施例的膜检测装置的结构俯视示意图。如图1所示，所述膜检测装置10包括依次设置的入料区11、检测区12及出料区13，所述入料区11用于接收待检测膜件并将其传送至检测区12，检测区12用于对位于其内的待检测膜件进行品质检测，以判断该待检测膜件是否有瑕疵、刮伤等缺陷，出料区13用于将完成检测的待检测膜件从所述膜检测装置10搬出以便进行下一阶段制程。其中，所述入料区11可以包括图2所示的传送机构111和图3所示的缓存架112，两者相邻设置。所述传送机构111用于将待检测成膜件传送至所述检测区12，具体地，传送机构111可以包括多个滚动件(例如Roller)113以及多个间隔设置的传动杆114，每一传动杆114上可以设置至少一个滚动件113，所述多个传动杆114同步绕轴(例如顺时针)转动，并带动所有滚动件113同步绕轴转动，从而将承载于滚动件113上的待检测成膜件传送至检测区12。当然，所述传送机构111也可以为由马达驱动的传送带，待检测成膜件承载于传送带上并由传送带传送至检测区12。所述缓存架112包括多层收容机构121，每一层收容机构121用于暂存待检测成膜件，且所暂存的待检测成膜件的数量可以不止一个，例如某一收容机构121暂存规格相同的多个待检测成膜件。本申请以每一收容机构121暂存一个待检测成膜件为例进行阐述。其中，每一层收容机构121可上下移动，为实现此设计，所述缓存架112可以采用如下其中一种结构设计：一、缓存架112连接有传动装置，该传动装置驱动缓存架112上升或下降，在升降过程中，所有收容机构121同步运动，任意相邻两层收容机构121之间的距离(或者说高度)保持不变。二、任意相邻两层收容机构121之间通过可伸缩件进行连接，该可伸缩件单独调节相邻两层收容机构121之间的距离。也就是说，收容机构121之间可以并非同步运动，而是可以相对上下移动。结合图1～图3所示，在所述膜检测装置10从上游(例如上游的机械手)接收待检测成膜件，即入料区11暂存待检测成膜件的过程中，缓存架112的多层收容机构121采用循环方式依次暂存待检测成膜件，所述循环方式可以理解为：其中一收容机构121接收待检测成膜件之后，位于该其中一收容机构121下方的第一层收容机构121上升，或者位于该其中一收容机构121上方的第一层收容机构121下降，以此接收下一个待检测成膜件。具体而言：对于收容机构121上升以接收待成膜件的应用场景，在初始状态(可理解为所有收容机构121均未暂存有待检测成膜件的状态)下，最上层的收容机构121可以与传送机构111平齐，此时将最上层的收容机构121视为第一层收容机构(即上述“其中一收容机构”)121，该第一层收容机构121从上游接收并暂存待检测成膜件，然后第二层收容机构(即上述“其中一个收容机构下方的第一层收容机构”)121上升，直至与上游的机械手平齐并接收待检测成膜件以暂存。按照此方式，其余各层收容机构121依次上升接收并暂存待检测成膜件。对于收容机构121下降以接收待成膜件的应用场景，在初始状态下，缓存架112的最下层收容机构121可以与传送机构111平齐，此时将最下层的收容机构121视为第一层收容机构(即上述“其中一收容机构”)121，该第一层收容机构121从上游接收并暂存待检测成膜件，然后第二层收容机构(即上述“其中一个收容机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜检测装置，包括入料区和检测区，其特征在于，所述入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述传送机构用于将待检测成膜件传送至检测区，所述收容机构用于暂存待检测成膜件且可上下移动。

【技术特征摘要】
1.一种膜检测装置，包括入料区和检测区，其特征在于，所述入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述传送机构用于将待检测成膜件传送至检测区，所述收容机构用于暂存待检测成膜件且可上下移动。2.根据权利要求1所述的膜检测装置，其特征在于，任意相邻两层所述收容机构之间设置有可伸缩件，所述可伸缩件用于单独调节相邻两层所述收容机构之间的距离。3.根据权利要求1所述的膜检测装置，其特征在于，所述缓存架连接有传动装置，所述传动装置用于驱动所述缓存架上升或下降，同时任意相邻两层所述收容机构之间的距离保持不变。4.根据权利要求1～3任一项所述的膜检测装置，其特征在于，所述膜检测装置还包括用于检测所述收容机构与所述传送机构是否平齐的传感器，所述传感器设置于所述传送机构或者每一层收容机构。5.根据权利要求4所述的膜检测装置，其特征在于，所述传感器包括信号发射机构和信号接收机构，所述信号发射机构的信号发射区和所述信号接收机构的信号接收区相对重叠设置。6.一种膜检测方法，其特征在于，所述膜检测方法包括：提供一膜检测装置，其入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述缓存架包括多层可上下移动的收容机构；所述缓存架的多层收容机构采用循环方式依次暂存待检测成膜件，所述循环方式表示其中一收容机构接收待检测成膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛超，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42