【技术实现步骤摘要】
一种保护探头的扫描电镜试样台
本专利技术涉及一种保护探头的扫描电镜试样台，属于精密仪器领域。
技术介绍
扫描电镜即扫描电子显微镜是一种电子光学显像仪器，采用极细窄的电子束来扫描试样，通过电子束与试样相互作用，产生各种信号，这些信号被相应的检测器接受，经放大器放大后送到显像管成像，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大的特点，现已在材料、冶金、生物等领域有了广泛的应用。试样台是扫描电镜中的一个重要组件，用来承载试样，当观察试样时，试样台运动将试样送到安全检测位置，但是对于要求高倍数拍摄，为了提高扫描图片的质量，需要试样与探头无限接近，试样的观测位置会超出安全检测位置，很容易由于人工失误导致探头与试样直接接触，从而使探头出现损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服已有技术的不足，提供一种保护探头扫描电镜试样台，旨在解决扫描试样需要高倍拍摄时，在试样和探头无限接近过程中探头与试样发生刚性碰撞，从而损坏探头的问题。一种保护探头的扫描电镜试样台，包括试样台缓冲装置和试样台底座1，试样台底座1连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座1上...
【技术保护点】
1.一种保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，包括试样台缓冲装置和试样台底座（1），试样台底座（1）连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座（1）上，试样台缓冲装置包括法兰（2）、试样爪基座（3）、试样爪、弹簧（5）、套筒（6）、试样爪紧固件（8），法兰（2）设置在试样台底座（1）上，套筒（6）设置在法兰（2）上，弹簧（5）设置在套筒（6）外部，弹簧（5）的底部设置在法兰（2）上，试样爪基座（3）的侧视图为T字型结构，T字型结构的上部位于弹簧（5）顶部，T字型结构的底部悬空设置在套筒（6）内， T字型结构的顶部开有环形凹槽，试样爪设置在环形凹槽内，试...
【技术特征摘要】
1.一种保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，包括试样台缓冲装置和试样台底座（1），试样台底座（1）连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座（1）上，试样台缓冲装置包括法兰（2）、试样爪基座（3）、试样爪、弹簧（5）、套筒（6）、试样爪紧固件（8），法兰（2）设置在试样台底座（1）上，套筒（6）设置在法兰（2）上，弹簧（5）设置在套筒（6）外部，弹簧（5）的底部设置在法兰（2）上，试样爪基座（3）的侧视图为T字型结构，T字型结构的上部位于弹簧（5）顶部，T字型结构的底部悬空设置在套筒（6）内，T字型结构的顶部开有环形凹槽，试样爪设置在环形凹槽内，试样爪紧固件（8）设置在试样爪基座（3）上并将试样爪固定。2.根据权利要求1所述保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，所述试样爪基座（3）的T字型结构的顶部中间还开有螺纹孔，试样爪紧固件（8...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪喜，张璐璐，张晓伟，石海，郝轩弘，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：云南,53
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