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一种保护探头的扫描电镜试样台制造技术
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文档序号:19591109
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本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台,包括试样台缓冲装置和试样台底座,试样台底座连接电镜的载物转台,一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上;试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件,当由于人工操作失误使得试...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。
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