一维快速控制反射镜制造技术

本发明专利技术公开了一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片、外框架、位移放大机构和堆叠型压电陶瓷执行器，外框架为一体成型结构，包括横向底板、两块纵向侧板、横梁和两个镜架，镜架通过第一柔性铰链与纵向侧板连接，镜架通过第一柔性连接件与横梁的端部连接，位移放大机构与横梁、横向底板固定连接，反射镜片的端部固定连接在镜架上；反射镜还包括电容式微位移传感器，电容式微位移传感器包括反映反射镜片转动偏摆的动极板和第一、第二定极板组件，第一定极板组件与第二定极板组件相互平行的固定在传感器支架上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，传感器支架固定连接在两块纵向侧板的上安装面上。该反射镜能提高抗振动和抗冲击能力。

【技术实现步骤摘要】
一维快速控制反射镜
本专利技术属于快速控制反射镜领域，具体涉及一种一维快速控制反射镜。
技术介绍
快速控制反射镜是一种在输入的电信号控制下实时调整镜面角度的装置，具有体积小、速度快、精度高等优点，能够实现高频率的角度指向、扫描和稳定，在自适应光学补偿、视觉跟踪、图像稳定等方面有着广泛的应用。现有的快速控制反射镜主要有音圈电机驱动和压电陶瓷驱动两种驱动方式，一般来说，前者扫描角度较大但谐振频率较低，后者扫描角度较小但是扫描频率高。CN103823302A公开了一种一维快速控制反射镜，其采用压电陶瓷驱动，能够提供单纯的角度偏转，整体结构紧凑。但是其仍然存在如下问题：（1）不能实时检测反射镜体的旋转角度，作为控制压电陶瓷执行器产生微位移的反馈，当反射镜片因为振动和冲击而出现偏摆时由于没有反馈而无法得到控制，反射镜的抗振动和抗冲击能力差。（2）由于柔性连接件的转动自由度未受限制，在位移放大机构带动柔性连接件产生推拉作用，以使反射镜体旋转时，柔性连接件容易在非工作方向上产生运动，从而影响反射镜体旋转角度的精度。（3）在温度变化时，镜体连接部（相当于本申请中的镜架）会出现转动偏摆误差，从而影响反本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片（1）、外框架、位移放大机构（4）和预压紧在位移放大机构（4）内的堆叠型压电陶瓷执行器（5），所述外框架为一体成型结构，包括横向底板（8）、设在横向底板（8）两侧的相互平行的两块纵向侧板（12）、与横向底板（8）平行且横贯两块纵向侧板（12）的横梁（9）和分别位于两块纵向侧板上端中部的两个镜架（6），镜架（6）通过第一柔性铰链（10）与纵向侧板（12）连接，镜架（6）通过第一柔性连接件（11）与横梁（9）的端部连接，所述位移放大机构（4）位于横向底板（8）与横梁（9）之间，且上部与横梁（9）固定连接、下部与横向底板（8）固定连接，所述反射镜片（1）的端部...

【技术特征摘要】
1.一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片（1）、外框架、位移放大机构（4）和预压紧在位移放大机构（4）内的堆叠型压电陶瓷执行器（5），所述外框架为一体成型结构，包括横向底板（8）、设在横向底板（8）两侧的相互平行的两块纵向侧板（12）、与横向底板（8）平行且横贯两块纵向侧板（12）的横梁（9）和分别位于两块纵向侧板上端中部的两个镜架（6），镜架（6）通过第一柔性铰链（10）与纵向侧板（12）连接，镜架（6）通过第一柔性连接件（11）与横梁（9）的端部连接，所述位移放大机构（4）位于横向底板（8）与横梁（9）之间，且上部与横梁（9）固定连接、下部与横向底板（8）固定连接，所述反射镜片（1）的端部固定连接在镜架（6）上，镜架（6）与反射镜片（1）能绕旋转轴线转动偏摆；其特征在于：所述反射镜还包括电容式微位移传感器，所述电容式微位移传感器包括反映反射镜片（1）转动偏摆的动极板和位于反射镜片（1）下方的第一、第二定极板组件（2、3），第一定极板组件（2）与第二定极板组件（3）相互平行的固定在传感器支架（7）上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，第一定极板组件（2）的第一定极板、第二定极板组件（3）的第二定极板都与所述动极板正对，传感器支架（7）固定连接在两块纵向侧板（12）的上安装面上。2.根据权利要求1所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述反射镜片（1）为导电体，反射镜片（1）直接构成所述动极板。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王代华，梁亮，袁刚，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：重庆,50