一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路制造技术

本发明专利技术公开了一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路，该驱动电路具有运动状态检测与控制功能、温控功能，且包括：处理器模块（1）、驱动信号隔离电路（2）、驱动信号放大电路（3）、驱动信号幅值调整电路（4）、感应电动势隔离电路（5）、电磁式MEMS微镜模块（6）、感应电动势放大电路（7）、感应电动势幅值调整电路（8）、感应电动势滤波限压电路（9）、感应电动势ADC模块（10）、电源模块（11）、温控模块（12）。在该驱动电路驱动下，电磁式MEMS扭转微镜的运动状态稳定，同时避免了内置或外置运动状态检测装置的使用，降低了微镜运动状态检测与控制装置的复杂程度与成本。

【技术实现步骤摘要】
一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路
本专利技术涉及一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路，该电路具有运动状态检测与控制功能以及温控功能，属于光学仪器

技术介绍
随着电子技术及其相关技术的发展，除了追求提高光学测量仪器的测量精确度外，人们试图在保证光学测量仪器的光学测量性能不变的前提下，追求降低仪器功耗、缩小仪器体积、降低仪器成本、便于仪器使用。而MEMS微镜的应用，就是实现前述目标的一种重要手段。MEMS微镜是一种基于MEMS技术的能够快速扫描的反射镜器件，驱动方式主要有静电、电磁、电热、压电，其中电磁式MEMS微镜具有驱动力大、扫描范围广的优点。MEMS微镜的工作特性易受到环境温度、湿度等因素影响，从而影响使用MEMS微镜的仪器性能，如影响微型光谱仪的光谱测量的稳定性、移动投影设备的成像质量、光学显微镜的精确度等，因此改善MEMS微镜工作特性的稳定性是提高基于MEMS微镜的光学仪器性能的关键环节。改善MEMS微镜工作特性的稳定性通常需要外置或者内置MEMS微镜的运动状态检测器，通过特置的运动状态检测器来实时检测MEMS微镜的运动状态，并进一步实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路，所述电路具有运动状态检测与控制功能以及温控功能，适用于没有内置或外置运动状态检测器的情形，包括：处理器模块（1）、驱动信号隔离电路（2）、驱动信号放大电路（3）、驱动信号幅值调整电路（4）、感应电动势隔离电路（5）、电磁式MEMS微镜模块（6）、感应电动势放大电路（7）、感应电动势幅值调整电路（8）、感应电动势滤波限压电路（9）、感应电动势ADC模块（10）、电源模块（11）、温控模块（12）；所述电磁式MEMS微镜模块（6）包括微镜镜面（13）、驱动线圈（14）；所述温控模块（12）包括数控电流源（15）、半导体制冷器（16）、温度传感...

【技术特征摘要】
1.一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路，所述电路具有运动状态检测与控制功能以及温控功能，适用于没有内置或外置运动状态检测器的情形，包括：处理器模块（1）、驱动信号隔离电路（2）、驱动信号放大电路（3）、驱动信号幅值调整电路（4）、感应电动势隔离电路（5）、电磁式MEMS微镜模块（6）、感应电动势放大电路（7）、感应电动势幅值调整电路（8）、感应电动势滤波限压电路（9）、感应电动势ADC模块（10）、电源模块（11）、温控模块（12）；所述电磁式MEMS微镜模块（6）包括微镜镜面（13）、驱动线圈（14）；所述温控模块（12）包括数控电流源（15）、半导体制冷器（16）、温度传感器（17）；其中，所述处理器模块（1）与所述驱动信号隔离电路（2）的输入端、所述驱动信号幅值调整电路（4）的第一输入端、所述温控模块（12）、所述电源模块（11）相连，所述驱动信号隔离电路（2）的输出端与所述驱动信号放大电路（3）的输入端相连，所述驱动信号放大电路（3）的输出端与所述驱动信号幅值调整电路（4）的第二输入端相连，所述驱动信号幅值调整电路（4）输出端与所述感应电动势隔离电路（5）的输入端相连，所述感应电动势隔离电路（5）的输出端与所述电磁式MEMS微镜模块（6）的驱动端、所述感应电动势放大电路（7）的输入端相连，所述感应电动势放大电路（7）的输出端与所述感应电动势幅值调整电路（8）的输入端相连，所述感应电动势幅值调整电路（8）的输出端与所述感应电动势滤波限压电路（9）的输入端相连，所述感应电动势滤波限压电路（9）的输出端与所述感应电动势ADC模块（10）的输入端相连，所述感应电动势ADC模块（10）的输出端与所述处理器模块（1）相连；所述处理器模块（1），用于设置并输出数字控温信号至所述温控模块（12），还用于根据所述电磁式MEMS微镜模块（6）中的微镜镜面（13）的目标运动状态，实时确定微镜驱动信号的周期、占空比，输出相同周期、占空比的第一周期脉冲信号至所述驱动信号隔离电路（2）的输入端，同时所述处理器模块（1）输出幅值调整信号至所述驱动信号幅值调整电路（4）的第一输入端；所述驱动信号隔离电路（2），用于接收由处理器模块（1）发出的第一周期脉冲信号后，输出驱动能力强的第二周期脉冲信号至所述驱动信号放大电路（3）的输入端；所述驱动信号放大电路（3），用于对输入端的信号放大，输出第三周期脉冲信号至所述驱动信号幅值调整电路（4）的第二输入端；所述驱动信号幅值调整电路（4），用于根据第一输入端的幅值调整信号，对第二输入端的第三周期脉冲信号的幅值调整后，输出第四周期脉冲信号至感应电动势隔离电路（5）的输入端；所述感应电动势隔离电路（5），用于对输入端信号进行取正处理后，输出微镜驱动信号至所述电磁式MEMS微镜模块（6）的驱动端、所述感应电动势放大电路（7）的输入端；所述感应电动势隔离电路（5）还用于对第一感应电动势信号起到隔离作用；所述电磁式MEMS微镜模块（6），用于接收所述感应电动势隔离电路（5）输出的微镜驱动信号，输出调制在微镜驱动信号上的第一感应电动势信号，至所述感应电动势放大电路（7）的输入端、所述感应电动势隔离电路（5）的输出端；所述感应电动势放大电路（7），用于对输入端信...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶坤涛，殷超，吉俄木沙，刘继锋，郭肇禄，
申请(专利权)人：江西理工大学，
类型：发明
国别省市：江西,36