通过电流驱动控制的微反射镜的打开角度的稳定化制造技术

本公开的实施例涉及通过电流驱动控制的微反射镜的打开角度的稳定化。本文公开的电子设备包括被配置为生成驱动控制信号的反射镜控制器，以及被配置为基于驱动控制信号生成用于可移动反射镜的驱动信号的驱动电路。感测电路被配置为感测驱动信号。反射镜控制器进一步被配置为根据所感测的驱动信号来调节驱动控制信号。

【技术实现步骤摘要】
通过电流驱动控制的微反射镜的打开角度的稳定化
本公开一般涉及用于图像扫描的微反射镜的驱动，并且更具体地涉及驱动所述微反射镜来帮助维持在时间上一致的打开角度的方法。
技术介绍
诸如晶片缺陷扫描仪、激光打印机、文件扫描仪、投影仪等的某些设备采用准直激光束，该准直激光束以直线或曲线路径扫过平坦的表面。这些设备采用倾斜反射镜来偏转光束以执行扫描。这些倾斜反射镜可以是或可以包括微机电系统(“MEMS”)设备。取决于应用，在MEMS器件中使用的反射镜(在此称为MEMS反射镜)的致动可以是通过电磁效应、静电效应、压电效应和热电效应。一种常见的MEMS反射镜包括定子和转子，其中由转子或者转子承载的结构是反射性的。利用驱动信号驱动定子和/或转子，导致转子相对于定子振荡，从而改变入射光束在转子上的反射角。通过使转子在两个方向之间振荡，定义了反射镜的打开角度，并且完成了光束在平坦表面上的扫描。对于使用这种MEMS反射镜的精确应用来说，需要精确地控制反射镜的打开角度以将打开角度维持在恒定角度。然而，当电路系统的操作状况或特性改变时，电流反射镜驱动技术可能不提供恒定的打开角度。因此，需要进一步研发。专利技术内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子设备，包括：反射镜控制器，被配置为生成驱动控制信号；驱动电路，被配置为基于所述驱动控制信号生成用于可移动反射镜的驱动信号；以及感测电路，被配置为感测所述驱动信号；其中所述反射镜控制器进一步被配置为根据所感测的驱动信号来调节所述驱动控制信号。

【技术特征摘要】
2017.05.08 US 15/589,5421.一种电子设备，包括：反射镜控制器，被配置为生成驱动控制信号；驱动电路，被配置为基于所述驱动控制信号生成用于可移动反射镜的驱动信号；以及感测电路，被配置为感测所述驱动信号；其中所述反射镜控制器进一步被配置为根据所感测的驱动信号来调节所述驱动控制信号。2.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述反射镜控制器调节所述驱动控制信号，使得所述所感测的驱动信号等于期望的驱动信号。3.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述驱动信号具有电流值；并且其中所述感测电路包括被配置为将所述驱动信号的所述电流值转换成电压的电流到电压转换器。4.根据权利要求3所述的电子设备，还包括模数转换器，所述模数转换器被配置为将所述电压转换成所述所感测的驱动信号的数字表示；并且其中所述反射镜控制器根据所述所感测的驱动信号的数字表示来调节所述驱动控制信号。5.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述驱动电路具有根据所述电子设备的操作温度而改变的电阻；其中所述驱动信号根据所述电阻而被生成；并且其中所述反射镜控制器根据所述所感测的驱动信号来调节所述驱动控制信号，以便将所述驱动信号维持在期望的状况而不管所述电子设备的所述操作温度如何。6.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述所感测的驱动信号具有电流值；其中所述反射镜控制器调节所述驱动控制信号，使得如果所述所感测的驱动信号的所述电流值小于期望的驱动信号电流值，则所述驱动电路增加所述驱动信号的所述电流值来匹配所述期望的驱动信号电流值。7.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述所感测的驱动信号具有电流值；其中所述反射镜控制器调节所述驱动控制信号，使得如果所述所感测的驱动信号的所述电流值大于期望的驱动信号电流值，则所述驱动电路减小所述驱动信号的所述电流值来匹配所述期望的驱动信号电流值。8.根据权利要求1所述的电子设备，其中所述感测电路是模拟的并且实时操作；并且其中所述反射镜控制器基于频率高于所述可移动反射镜的振荡频率的时钟信号来操作。9.一种便携式电子设备，包括：被电磁操作的振荡MEMS反射镜；反射镜控制器，被配置为生成驱动控制信号；驱动电路，被配置为基于所述驱动控制信号生成用于所述振荡MEMS反射镜的驱动电流；感测电路，被配置为感测所述驱动电流；其中所述反射镜控制器进一步被配置为：在校准模式中，将驱动电流与所述振荡MEMS反射镜的打开角度相关；在正常操作模式中，基于所述所感测的驱动电流来调节所述驱动控制信号，使得所述振荡MEMS反射镜的实际打...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·哈兰，
申请(专利权)人：意法半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列,IL