调节室部件制造技术

本发明专利技术涉及调节室部件。提供了一种用于调节处理室的部件的装置。提供了一种保持兆频超声波调节溶液的罐。支架在罐被兆频超声波调节溶液填充时保持浸入兆频超声波调节溶液中的部件。兆频超声波调节溶液入口系统将兆频超声波调节溶液输送到罐。兆频超声波换能器头包括至少一个兆频超声波换能器，以向兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将兆频超声波能量通过兆频超声波调节溶液输送到部件。兆频超声波调节溶液排放系统在将部件保持在兆频超声波调节溶液中的位置上方的位置处从罐中排出兆频超声波调节溶液。致动器使兆频超声波换能器头移动通过罐。

Regulating chamber components

The invention relates to an adjustment chamber component. A device for adjusting components of a processing room is provided. A tank for maintaining mega-frequency ultrasound to regulate solution is provided. The bracket keeps the parts immersed in the solution when the tank is filled with the solution regulated by mega-frequency ultrasound. The solution inlet system is controlled by mega-frequency ultrasound, and the solution is transported to the tank by mega-frequency ultrasound. The mega-frequency ultrasonic transducer head includes at least one mega-frequency ultrasonic transducer to provide mega-frequency ultrasonic energy to the solution regulated by the mega-frequency ultrasound, in which the mega-frequency ultrasonic energy is transferred to the component through the solution regulated by the mega-frequency ultrasound. Mega-frequency ultrasound regulating solution drainage system discharges the solution from the tank at the position above the mega-frequency ultrasound regulating solution. The actuator moves the mega-frequency ultrasonic transducer head through the tank.

【技术实现步骤摘要】
调节室部件相关申请的交叉引用本申请要求于2017年5月3日提交的美国临时申请No.62/500,688的优先权权益，该申请通过引用并入本文以用于所有目的。
本公开涉及用于调节陶瓷部件的方法。更具体地，本公开涉及用于调节用于晶片等离子体处理室中的陶瓷部件的方法。
技术介绍
在形成半导体器件中，使用晶片等离子体处理室来处理衬底。一些等离子体处理室具有包含陶瓷的部件，例如介电功率窗、气体注入器、边缘环、电极、喷头、高流动衬里和静电卡盘。
技术实现思路
为了实现上述目的并且根据本专利技术的目的，提供了一种用于调节处理室的部件的装置。罐容纳兆频超声波调节溶液。支架在所述罐被兆频超声波调节溶液填充时保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件。兆频超声波调节溶液入口系统将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐。兆频超声波换能器头包括至少一个兆频超声波换能器，以向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液输送到所述部件。兆频超声波调节溶液排放系统在将所述部件保持在所述兆频超声波调节溶液中的位置上方的位置处从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液。致动器在将所述部件保持在所述兆频超声波调节溶液中的位置上方将所述兆频超声波换能器头移动通过所述罐。在另一表现方案中，提供了一种用于调节晶片处理室的部件的方法。将所述部件浸入在罐中的兆频超声波调节溶液中。通过所述兆频超声波调节溶液将兆频超声波能量施加到所述部件上以清洁所述部件。在另一表现方案中，提供了一种用于调节处理室的部件的装置。罐容纳兆频超声波调节溶液。支架在所述罐被兆频超声波调节溶液填充时，保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件。兆频超声波调节溶液入口系统将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐。兆频超声波换能器头包括被置于所述罐中的至少一个固定兆频超声波换能器以向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液输送到所述部件。兆频超声波调节溶液排放系统在将所述部件保持在所述兆频超声波调节溶液中的位置上方的位置处从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液。具体而言，本专利技术的一些方面可以阐述如下：1.一种用于调节处理室的部件的装置，其包括：用于容纳兆频超声波调节溶液的罐；支架，所述支架用于在所述罐被所述兆频超声波调节溶液填充时，保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件；兆频超声波调节溶液入口系统，其用于将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐；具有长度的兆频超声波换能器头，其包括至少一个兆频超声波换能器，以向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液输送到所述部件；兆频超声波调节溶液排放系统，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置的位置处从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液；以及致动器，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置处将所述兆频超声波换能器头移动通过所述罐。2.根据条款1所述的装置，其还包括：用于循环所述兆频超声波调节溶液的泵；脱气膜；以及至少一个过滤器，其用于过滤来自所述兆频超声波调节溶液的污染物，其中所述泵、所述脱气膜和所述至少一个过滤器串联流体连接在所述兆频超声波调节溶液排放系统和所述兆频超声波调节溶液入口系统之间。3.根据条款2所述的装置，其还包括用于加热与所述泵串联流体连接的所述兆频超声波调节溶液的加热器。4.根据条款1所述的装置，其中所述兆频超声波调节溶液排放系统包括：被配置成使得所述兆频超声波调节溶液能从所述罐流出的溢流道；以及沟槽，其用于捕获从所述溢流道流出的所述兆频超声波调节溶液。5.根据条款4所述的装置，其中所述溢流道由堰形成。6.根据条款1所述的装置，其中，所述兆频超声波调节溶液入口系统包括至少一个入口，所述至少一个入口用于使所述兆频超声波调节溶液在低于在所述罐内安装所述部件的位置的位置处流入所述罐。7.根据条款1所述的装置，其中所述罐包括非金属侧面。8.根据条款1所述的装置，其中所述致动器在基本上垂直于所述兆频超声波换能器头的长度的方向上移动所述兆频超声波换能器头。9.根据条款1所述的装置，其中所述兆频超声波换能器头包括位于所述至少一个兆频超声波换能器与所述兆频超声波调节溶液之间的石英外壳。10.根据条款1所述的装置，其还包括至少一个发电机，其中所述至少一个发电机向所述兆频超声波换能器头提供足够的功率，以使所述兆频超声波换能器头向所述兆频超声波调节溶液提供至少2瓦/cm2的功率。11.根据条款1所述的装置，其还包括附接到所述兆频超声波换能器头的插座和球。12.根据条款1所述的装置，其中，所述兆频超声波换能器头的长度横跨所述罐的尺寸。13.一种用于调节晶片处理室的部件的方法，其包括：将所述部件浸入在罐中的兆频超声波调节溶液中；以及通过所述兆频超声波调节溶液将兆频超声波能量施加到所述部件上以清洁所述部件。14.根据条款13所述的方法，其还包括在将所述部件浸入在所述兆频超声波调节溶液中之前，对所述部件执行第一清洁。15.根据条款14所述的方法，其中，所述执行所述第一清洁包括：将所述部件置于超声波溶液罐中的超声波调节溶液中；以及将超声波能量通过所述超声波调节溶液施加到所述部件上以清洁所述部件。16.根据条款14所述的方法，其中，所述执行所述第一清洁包括对所述部件进行干冰喷砂。17.根据条款13所述的方法，其还包括在所述施加兆频超声波能量的过程中使所述兆频超声波调节溶液流动。18.根据条款17所述的方法，其中，所述使所述兆频超声波调节溶液流动包括：使所述罐内的所述兆频超声波调节溶液再循环，其包括：使所述兆频超声波调节溶液流入所述罐中；从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液；并且使所述兆频超声波调节溶液流回所述罐内；以及在将所述兆频超声波调节溶液排出之后并且在使所述兆频超声波调节溶液流回所述罐中之前，使所述兆频超声波调节溶液通过至少一个过滤器。19.根据条款17所述的方法，其中，所述使所述兆频超声波调节溶液流动提供单程的所述兆频超声波调节溶液。20.根据条款17所述的方法，其中所述将所述部件浸入在所述兆频超声波调节溶液中包括将所述部件安装在所述罐中的支架上，并且其中所述使所述兆频超声波调节溶液流动包括：使所述兆频超声波调节溶液在低于所述罐中安装所述部件的位置的位置处流入所述罐中；以及使所述兆频超声波调节溶液在高于在所述罐中安装所述部件的位置的位置处从所述罐中排出。21.根据条款13所述的方法，其中施加所述兆频超声波能量，使得具有复杂几何形状的超大尺寸的部件能通过所述兆频超声波调节溶液接收所述兆频超声波能量。22.根据条款13所述的方法，其中所述部件是含陶瓷部件。23.一种用于调节处理室的部件的装置，其包括：用于容纳兆频超声波调节溶液的罐；支架，所述支架用于在所述罐被所述兆频超声波调节溶液填充时，保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件；兆频超声波调节溶液入口系统，其用于将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐；兆频超声波换能器头，其包括置于所述罐中的至少一个固定兆频超声波换能器，所述兆频超声波换能器向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于调节处理室的部件的装置，其包括：用于容纳兆频超声波调节溶液的罐；支架，所述支架用于在所述罐被所述兆频超声波调节溶液填充时，保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件；兆频超声波调节溶液入口系统，其用于将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐；具有长度的兆频超声波换能器头，其包括至少一个兆频超声波换能器，以向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液输送到所述部件；兆频超声波调节溶液排放系统，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置的位置处从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液；以及致动器，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置处将所述兆频超声波换能器头移动通过所述罐。

【技术特征摘要】
2017.05.03 US 62/500,6881.一种用于调节处理室的部件的装置，其包括：用于容纳兆频超声波调节溶液的罐；支架，所述支架用于在所述罐被所述兆频超声波调节溶液填充时，保持浸入所述兆频超声波调节溶液中的所述部件；兆频超声波调节溶液入口系统，其用于将所述兆频超声波调节溶液输送到所述罐；具有长度的兆频超声波换能器头，其包括至少一个兆频超声波换能器，以向所述兆频超声波调节溶液提供兆频超声波能量，其中将所述兆频超声波能量通过所述兆频超声波调节溶液输送到所述部件；兆频超声波调节溶液排放系统，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置的位置处从所述罐中排出所述兆频超声波调节溶液；以及致动器，其用于在高于在所述兆频超声波调节溶液中保持所述部件的位置处将所述兆频超声波换能器头移动通过所述罐。2.根据权利要求1所述的装置，其还包括：用于循环所述兆频超声波调节溶液的泵；脱气膜；以及至少一个过滤器，其用于过滤来自所述兆频超声波调节溶液的污染物，其中所述泵、所述脱气膜和所述至少一个过滤器串联流体连接在所述兆频超声波调节溶液排放系统和所述兆频超声波调节溶液入口系统之间。3.根据权利要求2所述的装置，其还包括用于加热与所述泵串联流体连接的所述兆频超声波调节溶液的加热器。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述兆频超声波调节溶液排放系统包括：被配置成使得所述兆频超声波调节溶液能从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿米尔·A·亚西尔，石洪，约翰·多尔蒂，杜安·奥特卡，许林，阿芒·阿沃扬，克利夫·拉克鲁瓦，吉里什·洪迪，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国,US