一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置，其利用等离子体与待测物体之间相互作用力，来呈现待测物体表面的物理特征，本发明专利技术通过用等离子体作为探针，当等离子体与物体表面接近时，会与物体表面发生相互作用，通过测量等离子与物体表面的相互作用产生的影响，可以得出物体表面的轮廓，实现对物体进行表征检测。

【技术实现步骤摘要】
一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置
本专利技术属于材料的表征与检测领域，更具体地，涉及一种利用等离子体作为探针来做表征，通过等离子体与物体表面相互作用来实现对物体表面进行检测。
技术介绍
普通的电子显微镜和光学显微镜只能得到微观物体的图像不能得到微观物体具体的表面特征。传统的表征检测方法包括原子力显微镜(AtomicForceMicroscope，AFM)及扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope，ATM)。它们都属于一种扫描探针显微术工具，扫描隧道显微镜是根据量子力学中的隧道效应原理，通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置，只能对导体进行表征检测。而原子力显微镜则是根据探针尖端与样品表面的作用力，根据胡克定律使得悬臂偏移。而针尖与样品表面的作用力包括机械接触力、范德华力、毛细作用、化学键合、静电力、磁力及卡西米尔效应等。当原子间距离减小到一定程度以后，原子间的作用力将迅速上升。因此，由显微探针受力的大小就可以直接换算出样品表面的高度，从而获得样品表面形貌的信息。并且原子力显微镜可以测量绝缘体，具有高分辨率，非破坏性等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于等离子体的物体表征检测方法，其特征在于，包括：将等离子体作为探针；根据所述探针与待测物体表面发生相互作用的结果，得出所述待测物体表面的轮廓，以实现对所述待测物体进行表征检测。

【技术特征摘要】
1.一种基于等离子体的物体表征检测方法，其特征在于，包括：将等离子体作为探针；根据所述探针与待测物体表面发生相互作用的结果，得出所述待测物体表面的轮廓，以实现对所述待测物体进行表征检测。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子体为低温等离子体。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述等离子体包含带电粒子和中性粒子。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将等离子体作为探针，包括：将在介质环境中产...

【专利技术属性】
技术研发人员：张静宇，刘思垣，高骥超，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42