下载一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置的技术资料

文档序号:19421147

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置,其利用等离子体与待测物体之间相互作用力,来呈现待测物体表面的物理特征,本发明通过用等离子体作为探针,当等离子体与物体表面接近时,会与物体表面发生相互作用,通过测量等离子与物体表面的相互作...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。