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一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:19421147
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本发明公开了一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置,其利用等离子体与待测物体之间相互作用力,来呈现待测物体表面的物理特征,本发明通过用等离子体作为探针,当等离子体与物体表面接近时,会与物体表面发生相互作用,通过测量等离子与物体表面的相互作...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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