一种具有光学检测功能的智能独立式检选机制造技术

本发明专利技术公开了一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳，所述外壳内壁两侧分别设置有固定板，所述固定板上表面固定有导轨，所述导轨上表面设置有滑块，所述滑块顶端固定有安装板，所述安装板上表面设置有卡块，所述安装板与外壳通过电动推杆连接，所述卡块底端设置有检测孔，所述安装板上表面一侧固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定有联轴器；本发明专利技术通过第一固定杆、第二固定杆、记忆弹簧和卡块的设置，使其利用记忆弹簧的特性，可以使不同规格的晶圆放置到卡块内时，通过记忆弹簧的弹力，两边卡块同时向中间靠拢，使其固定住晶圆，同时由于两边弹力相同，从而还不会出现偏离中心，增大检测结果，提高检测效率。

Intelligent independent checking machine with optical detection function

The invention discloses an intelligent independent sorting machine with optical detection function, which comprises a housing. Fixed plates are arranged on both sides of the inner wall of the housing. A guide rail is fixed on the surface of the fixed plate. A slide block is arranged on the upper surface of the guide rail, and an installation plate is fixed at the top of the slide block. The surface of the installation plate is provided with a fixing plate. A clamp block is connected with the outer shell by an electric push rod, and a detection hole is arranged at the bottom end of the clamp block, a servo motor is fixed on one side of the surface of the clamp plate, and a coupling is fixed at the output end of the servo motor; the invention is advantageous by setting the first fixed rod, the second fixed rod, the memory spring and the clamp block. With the characteristics of memory spring, wafers of different specifications can be placed in the card block. Through the elastic force of memory spring, the two sides of the card block close to the middle at the same time to fix the wafer. At the same time, because of the same elastic force on both sides, there will be no deviation from the center, so as to increase the detection results and improve the detection efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种具有光学检测功能的智能独立式检选机
本专利技术属于光学检测
，具体涉及一种具有光学检测功能的智能独立式检选机。
技术介绍
晶圆,多指单晶硅圆片,由普通硅沙拉制提炼而成,是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至更大规格.晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就多,可降低成本;但要求材料技术和生产技术更高，随着晶圆的要求越来越高，从而需要对其进行光学分析和检测，从而筛选出符合要求的晶圆，光学检测机是基于光学原理来对晶圆生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。现有的光学检测晶圆在使用时仍然存在一些不足之处：现有的光学检测仪在对晶圆检测时，由于晶圆的规格不同，所以现有的对其需要使用不同的固定装置进行固定，使其更换麻烦，成本提高，现有的对晶圆进行光学分析的时候，需要两面分析，使其一面分析后还需要人工将其换面，使其检测效率低，效果不准确，现有的光学检测仪进行检测时，使用传送带进行传送，从而无法保证传送精度，使其检测存在误差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳，所述外壳内壁两侧分别设置有固定板，所述固定板上表面固定有导轨，所述导轨上表面设置有滑块，所述滑块顶端固定有安装板，所述安装板上表面设置有卡块，所述安装板与外壳通过电动推杆连接，所述卡块底端设置有检测孔，所述安装板上表面一侧固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定有联轴器，所述联轴器另一端固定有连接杆，所述连接杆另一端固定有第二固定杆，所述第二固定杆上设置有凹槽，所述凹槽内部设置有记忆弹簧，所述记忆弹簧通过固定连接与第一固定杆连接，所述第一固定杆另一端固定有卡块。优选的，所述安装板上表面另一侧固定有支撑架，所述支撑架上设置有轴承，所述联轴器通过固定连接与从动杆连接，所述从动杆一端穿过支撑架上的轴承与紧固螺母通过固定连接。优选的，所述卡块内壁固定有海绵垫，所述外壳的前端面设置有柜门。优选的，所述外壳底端四个拐角处分别固定有支撑柱，所述支撑柱底端设置有调节杆，所述调节杆外壁设置有调节螺母。优选的，所述调节杆一端固定有固定座，所述固定座底端固定有橡胶防滑垫。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过第一固定杆、第二固定杆、记忆弹簧和卡块的设置，使其利用记忆弹簧的特性，可以使不同规格的晶圆放置到卡块内时，通过记忆弹簧的弹力，两边卡块同时向中间靠拢，使其固定住晶圆，同时由于两边弹力相同，从而还不会出现偏离中心，增大检测结果，提高检测效率，通过伺服电机的设置，可以使本专利技术进行换面检测时，不需要人工操作，便可直接进行反转，使其工作效率提高，同时还不会有外界物质在翻面时粘在晶圆面上使其检测出现误差，通过电动推杆、滑块和导轨的设置，使本专利技术在进行传送时，更加稳定，定位更加精准，通过调节杆和调节螺母的设置，可以使本专利技术在坑洼地带也能通过调节使其达到水平状态，通过海绵垫的设置，起到保护晶圆的作用，防止晶圆受到卡块的损坏，通过防滑橡胶垫的设置，增大本专利技术与地面的摩擦力，增加安全性。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的主视图；图3为本专利技术导轨安装示意图；图4为本专利技术固定装置的安装示意图；图中：1、外壳；2、安装板；3、连接杆；4、检测孔；5、滑块；6、固定板；7、导轨；8、轴承；9、支撑架；10、从动杆；11、记忆弹簧；12、海绵垫；13、卡块；14、第一固定杆；15、第二固定杆；16、联轴器；17、伺服电机；18、电动推杆；19、支撑柱；20、调节杆；21、固定座；22、橡胶防滑垫。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1请参阅图1至图4，本专利技术提供一种技术方案：一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳1，外壳1内壁两侧分别设置有固定板6，固定板6上表面通过螺钉固定有导轨7，导轨7上表面设置有滑块5，滑块5顶端通过螺钉固定有安装板2，安装板2上表面设置有卡块13，安装板2与外壳1通过电动推杆18连接，卡块13底端设置有检测孔4，安装板2上表面一侧安装有伺服电机17，伺服电机17的输出端通过螺纹连接有联轴器16，联轴器16另一端通过螺纹连接有连接杆3，连接杆3另一端通过焊接固定有第二固定杆15，第二固定杆15上设置有凹槽，凹槽内部设置有记忆弹簧11，记忆弹簧11通过焊接连接与第一固定杆14连接，第一固定杆14另一端通过焊接连接有卡块13。为了使本专利技术在进行换面使更加润滑，本实施例中，优选的，安装板2上表面另一侧固定有支撑架9，支撑架9上设置有轴承8，联轴器16通过固定连接与从动杆10连接，从动杆10一端穿过支撑架9上的轴承8与紧固螺母通过固定连接。为了防止晶圆受到损坏，本实施例中，优选的，卡块13内壁固定有海绵垫12，外壳1的前端面设置有柜门。为了使本专利技术可以调节水平和高度，本实施例中，优选的，外壳1底端四个拐角处分别固定有支撑柱19，支撑柱19底端设置有调节杆20，调节杆20外壁设置有调节螺母。为了增大本专利技术与地面的摩擦力，本实施例中，优选的，调节杆20一端固定有固定座21，固定座21底端固定有橡胶防滑垫22。实施例2请参阅图1至图3，本专利技术提供一种技术方案：一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳1，外壳1内壁两侧分别设置有固定板6，固定板6上表面通过焊接连接有导轨7，导轨7上表面设置有滑块5，滑块5顶端通过焊接连接有安装板2，安装板2上表面设置有卡块13，安装板2与外壳1通过电动推杆18连接，卡块13底端设置有检测孔4，安装板2上表面一侧安装有伺服电机17，伺服电机17的输出端通过焊接连接有联轴器16，联轴器16另一端通过焊接连接有连接杆3，连接杆3另一端通过焊接固定有第二固定杆15，第二固定杆15上设置有凹槽，凹槽内部设置有记忆弹簧11，记忆弹簧11通过焊接连接与第一固定杆14连接，第一固定杆14另一端通过焊接连接有卡块13。为了时本专利技术在进行换面使更加润滑，本实施例中，优选的，安装板2上表面另一侧固定有支撑架9，支撑架9上设置有轴承8，联轴器16通过固定连接与从动杆10连接，从动杆10一端穿过支撑架9上的轴承8与紧固螺母通过固定连接。为了防止晶圆受到损坏，本实施例中，优选的，卡块13内壁固定有海绵垫12，外壳1的前端面设置有柜门。为了使本专利技术可以调节水平和高度，本实施例中，优选的，外壳1底端四个拐角处分别固定有支撑柱19，支撑柱19底端设置有调节杆20，调节杆20外壁设置有调节螺母。为了增大本专利技术与地面的摩擦力，本实施例中，优选的，调节杆20一端固定有固定座21，固定座21底端固定有橡胶防滑垫22。本专利技术的工作原理及使用流程：本专利技术在使用时，将本专利技术安装移动到指定位置，通过调节调节杆20使其达到水平状态，拧紧调节螺母，从而固定本专利技术，接通电源，打开柜门，将待检测的晶圆放置在卡块13的中间，由于记忆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳（1），其特征在于，所述外壳（1）内壁两侧分别设置有固定板（6），所述固定板（6）上表面固定有导轨（7），所述导轨（7）上表面设置有滑块（5），所述滑块（5）顶端固定有安装板（2），所述安装板（2）上表面设置有卡块（13），所述安装板（2）与外壳（1）通过电动推杆（18）连接，所述卡块（13）底端设置有检测孔（4），所述安装板（2）上表面一侧固定有伺服电机（17），所述伺服电机（17）的输出端固定有联轴器（16），所述联轴器（16）另一端固定有连接杆（3），所述连接杆（3）另一端固定有第二固定杆（15），所述第二固定杆（15）上设置有凹槽，所述凹槽内部设置有记忆弹簧（11），所述记忆弹簧（11）通过固定连接与第一固定杆（14）连接，所述第一固定杆（14）另一端固定有卡块（13）。

【技术特征摘要】
1.一种具有光学检测功能的智能独立式检选机，包括外壳（1），其特征在于，所述外壳（1）内壁两侧分别设置有固定板（6），所述固定板（6）上表面固定有导轨（7），所述导轨（7）上表面设置有滑块（5），所述滑块（5）顶端固定有安装板（2），所述安装板（2）上表面设置有卡块（13），所述安装板（2）与外壳（1）通过电动推杆（18）连接，所述卡块（13）底端设置有检测孔（4），所述安装板（2）上表面一侧固定有伺服电机（17），所述伺服电机（17）的输出端固定有联轴器（16），所述联轴器（16）另一端固定有连接杆（3），所述连接杆（3）另一端固定有第二固定杆（15），所述第二固定杆（15）上设置有凹槽，所述凹槽内部设置有记忆弹簧（11），所述记忆弹簧（11）通过固定连接与第一固定杆（14）连接，所述第一固定杆（14）另一端固定有卡块（13）。2.根据权利要求1所述的一种具有光学检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾红星，朱威莉，李锋，王丽，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32