The invention relates to a control field, in particular to a control valve and a control loop. The control valve consists of a spool, a first input channel, a first by-pass, a second input channel, a second by-pass and more than one mixed output channel; if the first input channel is connected with the mixed output channel and/or the first by-pass under the control of the spool, the material input from the first input channel will flow into the mixed input channel. And/or the first bypass; if the second input channel is connected with the mixed output channel and/or the second bypass under the control of the spool, the material input from the second input channel will flow into the mixed input channel and/or the second bypass; thus, by increasing the bypass design, the spool can not only control the mixing ratio of the two substances. At the same time, the bypass ratio of the two material circuits can be controlled, so that the circulation circuit of the two materials is not affected by the mixing ratio, which improves the reliability of the equipment operation, simplifies the pipeline design and improves the control accuracy of the valve.
【技术实现步骤摘要】
控制阀和控制回路
本专利技术涉及控制领域,特别是涉及控制阀和控制回路。
技术介绍
在半导体温度控制领域,主工艺设备需要温控设备提供温度和流量稳定的循环液体,但是由温控设备来改变设定温度时,升降温时间较长,反应不够迅速,不能满足新的一些工艺的要求。现有技术通过温控设备自身改变设定温度,反应较慢。使用两路不同温度的循环液进行切换,反应较快,但温度不能无级变换,如需达到无级变换,需主工艺设备配置额外的加热器进行控制。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种控制阀和控制回路,解决上述的至少一个问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题,本专利技术提供一种控制阀,其包括:阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道;其中,第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通;第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。在一些实施例中,优选为,所述第一输入通道的输入端和所述第一旁通道的输出端均与第一供应结构连接;所述第二输入通道的输入端和所述第二旁通道的输出端均与第二供应结构连接。在一些实施例中,优选为,所述第一输入通道、所述第二输入通道均为液体通道或均为气体通道。在一些实施例中,优选为,所述混合输出通道的输出端设置传感器,所述传感器与所述阀芯连接。在一些实施例中,优选为,所述传感器包括温度传感器或流量传感器。在一些实施例中,优选为,所述控制阀包括温度控制阀或流量控制阀。本专利技术还提供了一种控制回路,其包括第一供应结构、第二供应结构、主机台及所述的控制阀;其中,所述控制阀的第一输入通道的 ...
【技术保护点】
1.一种控制阀,其特征在于,包括:阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道;其中,第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通;第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。
【技术特征摘要】
1.一种控制阀,其特征在于,包括:阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道;其中,第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通;第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。2.如权利要求1所述的控制阀,其特征在于,所述第一输入通道的输入端和所述第一旁通道的输出端均与第一供应结构连接;所述第二输入通道的输入端和所述第二旁通道的输出端均与第二供应结构连接。3.如权利要求1所述的控制阀,其特征在于,所述第一输入通道、所述第二输入通道均为液体通道或均为气体通道。4.如权利要求1-3任一项所述的控制阀,其特征在于,所述混合输出通道的输出端设置传感器,所述传感器与所述阀芯连接。5.如权利要求4所述的控制阀,其特征在于,所述传感器包括温度传感器或流量传感器。6.如权利要求1-3任一项所述的控制阀,其特征在于,所述控制阀包括温度控制阀或流量控制阀。7.一种控制回路,其特征在于,包括第一供应结构、第二供应结构、主机台及权利要求1-6任...
【专利技术属性】
技术研发人员:芮守祯,何茂栋,赵力行,蒋俊海,于浩,邹昭平,
申请(专利权)人:北京京仪自动化装备技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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