垫移除装置制造方法及图纸

垫移除装置，包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器，以及与致动器耦合的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量，该量是视第一端和第二端之间的距离而定。

Pad removal device

The pad removal device includes a pad guide with a first end and a second end along the first direction, an actuator attached to the first end, and a control component coupled with the actuator. The control component is configured to cause the actuator to move the first end towards the second end in the first direction, and the pad guide is configured to extend a quantity in the second direction perpendicular to the first direction, depending on the distance between the first end and the second end.

【技术实现步骤摘要】
垫移除装置
本揭露是有关于一种垫移除装置以及方法，且特别是有关于一种用于移除化学机械研磨垫的装置以及方法。
技术介绍
制造集成电路(integratedcircuit；IC)常包括化学机械平坦化(chemicalmechanicalplanarizaiton；CMP)制程操作，其中化学浆液和研磨头是施加在集成电路晶圆上。为帮助在上述操作中的移动和压力的控制，晶圆是典型地由与平台接合的化学机械研磨垫支撑。在化学机械研磨垫达到其使用寿命时，将化学机械研磨从平台上分开并取代。
技术实现思路
本揭露提供一种垫移除装置。所述垫移除装置包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器，以及耦合致动器的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量，该量是视第一端和第二端之间的距离而定。附图说明通过以下详细说明并配合附图阅读，可更容易理解本揭露。在此强调的是，按照产业界的标准做法，各种特征并未按比例绘制，仅为说明的用。事实上，为了清楚的讨论，各种特征的尺寸可任意放大或缩小。图1A至图1E为根据一些实施例的一或多个垫移除装置的示意图；图2A至图2C为根据一些实施例的垫引导件的示意图；图3A至图3C为根据一些实施例的垫引导件的示意图；图4为根据一些实施例的伸缩臂的示意图；图5为根据一些实施例的致动组件的示意图；图6为根据一些实施例的致动组件的示意图；图7为根据一些实施例的移除垫的方法的流程图；图8为根据一些实施例的控制垫移除装置的系统的示意图。具体实施方式下面的揭露提供了许多不同的实施例或例示，用于实现本揭露的不同特征。部件和安排的具体实例描述如下，以简化本揭露的揭露。当然，这些是仅仅是例示并且不意在进行限制。例如，在接着的说明中叙述在第二特征上方或上形成第一特征可以包括在第一和第二特征形成直接接触的实施例，并且还可以包括一附加特征可以形成第一特征的形成第一和第二特征之间的实施例，从而使得第一和第二特征可以不直接接触。此外，本公开可以在各种例示重复元件符号和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，并不在本身决定所讨论的各种实施例和/或配置之间的关系。此外，空间相对术语，如“之下”、“下方”、“低于”、“上方”、“高于”等，在本文中可以用于简单说明如图中所示元件或特征对另一元件(多个)或特征(多个特征)的关系。除了在附图中描述的位向，空间相对术语意欲包含元件使用或步骤时的不同位向。元件可以其他方式定位(旋转90度或者在其它方位)，并且本文中所使用的相对的空间描述，同样可以相应地进行解释。在许多实施例中，垫移除装置包括具有沿第一方向的第一端和第二端、附于上述第一端的至少一致动器，以及机械地耦合至上述致动器的控制组件。控制组件造成致动器沿上述第一方向将第一端朝向第二端拉引，使得第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以于垂直上述第一方向的第二方向延伸一量，所延伸的量是视第一端和第二端之间的距离而定。通过将垫引导件的第一端和第二端紧固至垫边缘，垫边缘是在远离垫中心位置的方向被拉扯，从而可将垫从所接合的表面上分离。图1A和图1B为根据一些实施例的垫移除装置100的示意图。图1A是基于垫移除装置100在第一位置配置的侧视示意图，而图1B是基于垫移除装置在第二位置配置的侧视示意图。除了垫移除装置100，图1A和图1B也绘示垫140、表面150、方向X和垂直于方向X的方向Z。垫移除装置100包括垫引导件110、多个致动器120以及控制组件130。垫引导件110包括第一端112以及第二端114。第一致动器120是从控制组件130延伸至第一端112，以及第二致动器120是从控制组件130延伸至第二端114。在一些实施例中，垫移除装置100包括单一个致动器120，且前述多个致动器120中的一者被取代为支撑件(未绘示)。在一些实施例中，垫移除装置100包括单一个致动器120以及直接耦合至第一端112和第二端114的其中一者的控制组件130。在一些实施例中，除了垫引导件110之外，垫移除装置100包括一或多个垫引导件(未绘示)。在一些实施例中，除了从控制组件130延伸至第一端112的第一致动器120和从控制组件130延伸至第二端114的第二致动器120之外，垫移除装置100包括一或多个致动器(未绘示)。垫引导件110包括位于第一端112的紧固(affixing)元件116、位于第二端114的紧固元件116以及下表面118。如下述，紧固元件116是配置以暂时地将垫引导件110紧固至垫140的边缘。在操作中，垫移除装置100的一或多个位置配置是将垫移除装置100设置于垫140上方，且至少一部分的下表面118接触垫140的上表面149。如图1A和图1B所绘示，垫140的至少中心部分是接合至表面150。在一些实施例中，垫140为化学机械平坦化的研磨垫(或称化学机械研磨垫)。在一些实施例中，表面150为化学机械平坦化制程系统的平台的表面。在图1A所绘示的第一位置配置中，第一端112和第二端114定义沿方向X的距离D1。距离D1对应垫引导件110未被致动的状态，使得下表面118对齐方向X且沿方向Z不具有显著的分量。在图1B所绘示的第二位置配置中，第一端112和第二端114定义沿方向X的距离D2。距离D2小于距离D1，且距离D2对应垫引导件110被致动的状态。在被致动的状态中，下表面118从对齐方向X的状态偏移，使得显著的分量，距离D3，存在于方向Z上。距离D3被定义为最低部分的下表面118从未被致动的状态到被致动的状态沿方向Z的位移，以响应沿方向X朝向彼此被移动的第一端112和第二端114。第一端112和第二端114之间的距离减少造成垫引导件110弯曲(bend)或挠曲(flex)。垫引导件110为机械元件或组件，其可将第一端112和第二端114沿方向X的位移转换为下表面118沿方向Z的位移。第一端112和第二端114沿方向X的位移包括具有方向X以外的方向的分量的位移。沿方向Z的下表面118的位移量是视第一端112和第二端114之间的距离而定。当第一端112和第二端114之间的距离减少时，沿方向Z的下表面118的位移量则增加。在一些实施例中，第一端112和第二端114是对齐垫引导件110的纵轴(未绘示)，使得在操作中，沿方向Z的下表面118的位移远离致动器120和控制组件130。在一些实施例中，在操作中，垫引导件110与控制组件130及致动器120的一或二者的接近度，造成沿方向Z的下表面118的位移远离致动器120和控制组件130。在一些实施例中，垫引导件110是配置以使得沿方向Z的下表面118的最大位移位于下表面118的中心处。通过上述的配置方式，在操作中，垫引导件110通过增加垫140的中心和垫140的边缘之间沿方向Z的距离，以响应第一端112和第二端114之间沿方向X减少之间隔，且上述垫140的边缘的位置是对应紧固元件116。在操作中，因为垫140一开始是与表面150接合，垫引导件110作动以将每个垫边缘位置沿方向Z拉离中心垫区域，来响应第一端112沿方向X朝向第二端114被移动及/或第二端114沿方向X朝向第一端112被移动。垫引导件110包括具有足本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种垫移除装置，其特征在于，包含：一垫引导件，具有沿一第一方向的一第一端和一第二端；一致动器，附于该第一端；以及一控制组件，耦合该致动器，该控制组件是配置以使该致动器沿该第一方向从该第一端朝向该第二端移动，其中该垫引导件是配置以于垂直该第一方向的一第二方向延伸一量，该量是视该第一端和该第二端之间的一距离而定。

【技术特征摘要】
2017.04.17 US 15/488,9581.一种垫移除装置，其特征在于，包含：一垫引导件，具有沿一第一方向的一第一端和一第二端；一致动器，附于该第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，王生城，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71