一种增加产能的电镀机制造技术

本实用新型专利技术提供一种增加产能的电镀机，包括电镀机本体和调整端子，电镀机本体设置有电镀槽，调整端子包括密封推杆、弹簧、放置腔体和压缩气体管路。本技术方案在电镀机本体的电镀槽上安装多个调整端子，通过调整端子可以调整电镀槽内的面积大小，进而满足不同尺寸的产品需求。因此不同尺寸的产品通过设置密封推杆的长度，符合该产品放置的需求。并使用压缩气体管路通入高压气体推动密封推杆滑动，进而使得电镀槽内的面积变小，从而对较小尺寸的产品进行电镀。若需要调整回初始的尺寸，则将输入的气体通过压缩气体管路放掉即可，达到调整电镀槽内的面积大小的目的，在提高电镀机的灵活性的同时，降低了生产成本。

An electroplating machine for increasing production capacity

The utility model provides an electroplating machine for increasing production capacity, which comprises an electroplating machine body and an adjusting terminal. The electroplating machine body is provided with an electroplating trough, and the adjusting terminal comprises a sealed push rod, a spring, a placement cavity and a compressed gas pipeline. The technical scheme installs a plurality of adjusting terminals on the plating tank of the plating machine body. By adjusting the terminals, the area of the plating tank can be adjusted to meet the needs of different sizes of products. Therefore, different sizes of products can meet the needs of this product by setting the length of the sealing push rod. The compressed gas pipeline is used to drive the sealing push rod to slide, thereby reducing the area in the electroplating bath, thereby plating the products of smaller size. If it is necessary to adjust the original size, the input gas can be released through the compressed gas pipeline to achieve the purpose of adjusting the size of the plating bath area, improving the flexibility of the plating machine, while reducing production costs.

【技术实现步骤摘要】
一种增加产能的电镀机
本技术涉及电镀机领域，尤其涉及一种增加产能的电镀机。
技术介绍
现有的电镀设备的6寸环大小是确定的，因此通过6寸环放置产品只能是尺寸大小相符合的产品进行电镀，导致电镀机的灵活性差，因此在更换电镀产品时，需要经常更换不同尺寸的6寸环进行固定，进而满足电镀需求。然而频繁的更换，不仅降低电镀的效率，而且还提高了生产成本。
技术实现思路
为此，需要提供一种增加产能的电镀机，解决现有电镀机灵活性底，且产生成本较高的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种增加产能的电镀机，包括电镀机本体和调整端子，所述调整端子设置有多个，电镀机本体设置有电镀槽，多个调整端子圆周阵列设置在电镀槽的内侧壁上，电镀机本体用于通过电镀槽进行电镀作业；所述调整端子包括密封推杆、弹簧、放置腔体和压缩气体管路，密封推杆的一端贯穿放置腔体的底板设置，弹簧设置在放置腔体的内底面与密封推杆密封端之间，压缩气体管路的一端与放置壳体的内腔端口管连接，压缩气体管路用于向放置腔体内提供压缩气体。进一步地，所述调整端子还包括电磁阀，电磁阀设置在压缩气体管道上。进一步地，所述密封推杆包括固定端头、密封端头和滑杆，滑杆一端贯穿放置腔体的底板设置在固定端头上，滑杆的另一端设置在密封端头上，密封端头位于放置腔体的内腔上，弹簧套设置在滑杆上，且弹簧位于放置腔体的内腔底面与密封端头之间，密封端头用于与放置腔体的内腔侧面密封。进一步地，还包括密封腔室，电镀机本体的电镀槽设置在密封腔室内。进一步地，所述电镀机本体包括电镀槽盖和驱动单元，电镀槽盖设置在密封腔室的顶板上，驱动单元设置在密封腔室的顶面固定板上，且驱动单元的输出轴设置在电镀槽盖的顶面上，电镀槽盖用于对电镀槽的槽口进行密封处理。进一步地，所述电镀机本体包括阴极板、阳极网、放置板和电镀液输送管道，所述阳极网设置在电镀槽的槽底部上，阴极板设置在电镀槽的槽顶部上，放置板设置在电镀槽的槽口顶部上，放置板位于阴极板的上方，电镀液输送管道的一端贯穿电镀槽的底板设置在电镀槽内，电镀液输送管道的另一端贯穿密封腔室的底板设置。区别于现有技术，上述技术方案在电镀机本体的电镀槽上安装多个调整端子，通过调整端子可以调整电镀槽内的面积大小，进而满足不同尺寸的产品需求，例如：该产品的规格只有两种不同尺寸，因此通过设置密封推杆的长度，进而符合该两种不同尺寸之间调整的需求。并使用压缩气体管路通入高压气体推动密封推杆滑动，进而使得电镀槽内的面积变小，从而对较小尺寸的产品进行电镀。若需要调整回初始的尺寸，则将输入的气体通过压缩气体管路放掉即可，达到调整电镀槽内的面积大小的目的，在提高电镀机的灵活性的同时，降低了生产成本。附图说明图1为具体实施方式所述的增加产能的电镀机的示意图；图2为具体实施方式所述的增加产能的电镀机的电镀槽示意图；图3为具体实施方式所述的增加产能的电镀机的密封推杆的示意图。附图标记说明：10、电镀机本体；101、电镀槽盖；102、驱动单元；103、阴极板；104、阳极网；105、放置板；106、电镀液输送管道；11、电镀槽；20、调整端子；21、密封推杆；211、固定端头；212、密封端头；213、滑杆；22、弹簧；23、放置腔体；24、压缩气体管路；30、电磁阀；40、密封腔室；具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1、图2和图3，本实施例提供一种增加产能的电镀机，包括电镀机本体10和调整端子20，所述调整端子设置有多个，电镀机本体设置有电镀槽11，多个调整端子圆周阵列设置在电镀槽的内侧壁上，电镀机本体用于通过电镀槽进行电镀作业；所述调整端子包括密封推杆21、弹簧22、放置腔体23和压缩气体管路24，密封推杆的一端贯穿放置腔体的底板设置，弹簧设置在放置腔体的内底面与密封推杆密封端之间，压缩气体管路的一端与放置壳体的内腔端口管连接，压缩气体管路用于向放置腔体内提供压缩气体。本实施例中在电镀机本体的电镀槽上安装多个调整端子，通过调整端子可以调整电镀槽内的面积大小，进而满足不同尺寸的产品需求，例如：该产品的规格只有两种不同尺寸，因此通过设置密封推杆的长度，进而符合该两种不同尺寸之间调整的需求。并使用压缩气体管路通入高压气体，进而推动密封推杆在放置腔体内滑动，而多个调整端子之间的放置腔体通过管道相互连通，因此多个调整端子同时朝电镀槽中心移动，进而使得电镀槽内的面积变小，从而可以对较小尺寸的产品进行电镀。若需要调整回初始的尺寸，则将输入的气体通过压缩气体管路放掉，即降低压缩气体管路内的气压，使得密封推杆通过弹簧回弹，达到调整电镀槽内的面积大小的目的，在提高电镀机的灵活性的同时，降低了生产成本。本实施例中调整端子还包括电磁阀30，电磁阀设置在压缩气体管道上。使用电磁阀可以控制压缩气体管的开启或关闭，进而控制压缩器气体管道内的压力变化，从而达到控制密封推杆在放置腔体内滑动，从而调整电镀槽内的体积。具体的，本实施例中密封推杆包括固定端头211、密封端头212和滑杆213，滑杆一端贯穿放置腔体的底板设置在固定端头上，滑杆的另一端设置在密封端头上，密封端头位于放置腔体的内腔上，弹簧套设置在滑杆上，且弹簧位于放置腔体的内腔底面与密封端头之间，密封端头用于与放置腔体的内腔侧面密封。当通过压缩气体管路朝放置腔体内通入压缩气体时，增加放置腔体的密封端头与压缩气体管路连通处的压强，进而推动密封端头朝向放置腔体的腔内底面移动。与此同时，密封端头带动滑杆和固定端头移动，使得固定端头朝向电镀槽的中心位置移动，从而达到通过控制气压的压强调整固定端头移动的距离。而当降低压缩气体管路输送的气压时，通过弹簧推动密封端头反向移动，并同时带动滑杆和固定端头移动，解决了现有的电镀机灵活性较差的问题。本实施例中所述电镀机本体包括电镀槽盖101和驱动单元102，电镀槽盖设置在密封腔室的顶板上，驱动单元设置在密封腔室的顶面固定板上，且驱动单元的输出轴设置在电镀槽盖的顶面上，电镀槽盖用于对电镀槽的槽口进行密封处理。在进行电镀之前，启动驱动单元推动电镀槽盖向下移动，因为电镀槽盖位于电镀槽的正上方，因此随着电镀槽盖下降移动，会使得电镀槽盖对电镀槽的槽口进行密封封盖，提高电镀的质量。驱动单元可以为气缸、液压缸或直线电机，使得电镀槽盖可以在直线上进行上下移动。本实施例中所述电镀机本体包括106，所述阳极网设置在电镀槽的槽底部上，阴极板设置在电镀槽的槽顶部上，放置板设置在电镀槽的槽口顶部上，放置板位于阴极板的上方，电镀液输送管道的一端贯穿电镀槽的底板设置在电镀槽内，电镀液输送管道的另一端贯穿密封腔室的底板设置。具体的在电镀时，通过电镀液输送管道将电镀液输送至电镀槽与密封腔室内，使得电镀槽会浸泡在恒温的电镀液中，将晶圆放入电镀槽内后，启动驱动单元将电镀槽盖盖在电镀槽的槽口上，并将晶圆盖紧，完成准备工序。此时，电镀槽底部的管路将电镀液喷流至晶圆的表面上，并对阴极板与阳极网之间进行通电，对晶圆进行电镀，达到电镀的目的，而通过调整端子可以放置不同尺寸的晶圆进行电镀，因此提高电镀的效率，增加了电镀机的产能。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本技术的专利保护本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种增加产能的电镀机，其特征在于：包括电镀机本体和调整端子，所述调整端子设置有多个，电镀机本体设置有电镀槽，多个调整端子圆周阵列设置在电镀槽的内侧壁上，电镀机本体用于通过电镀槽进行电镀作业；所述调整端子包括密封推杆、弹簧、放置腔体和压缩气体管路，密封推杆的一端贯穿放置腔体的底板设置，弹簧设置在放置腔体的内底面与密封推杆密封端之间，压缩气体管路的一端与放置壳体的内腔端口管连接，压缩气体管路用于向放置腔体内提供压缩气体。

【技术特征摘要】
1.一种增加产能的电镀机，其特征在于：包括电镀机本体和调整端子，所述调整端子设置有多个，电镀机本体设置有电镀槽，多个调整端子圆周阵列设置在电镀槽的内侧壁上，电镀机本体用于通过电镀槽进行电镀作业；所述调整端子包括密封推杆、弹簧、放置腔体和压缩气体管路，密封推杆的一端贯穿放置腔体的底板设置，弹簧设置在放置腔体的内底面与密封推杆密封端之间，压缩气体管路的一端与放置壳体的内腔端口管连接，压缩气体管路用于向放置腔体内提供压缩气体。2.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机，其特征在于：所述调整端子还包括电磁阀，电磁阀设置在压缩气体管道上。3.根据权利要求1所述的一种增加产能的电镀机，其特征在于：所述密封推杆包括固定端头、密封端头和滑杆，滑杆一端贯穿放置腔体的底板设置在固定端头上，滑杆的另一端设置在密封端头上，密封端头位于放置腔体的内腔上，弹簧套设置在滑杆上，且弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟健，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35