The invention belongs to the technical field of electrochemical machining, and in particular relates to a rotatable supercritical electrodeposition device, including a reactor assembly and a base assembly. The reactor assembly comprises a reactor body with an inner cavity, a piston and a first drive system. The piston is arranged in an inner cavity, and a deposition cavity is formed between the piston and the inner cavity. The drive system is used to drive the piston motion to control the size of the deposit chamber. The base assembly comprises a base, a rotating disc arranged on the base and a second drive system for driving the rotating disc. Beneficial effects: The rotating disc of the invention drives the assembly of the reaction kettle to rotate, guarantees the uniform flow of the plating solution in the deposition chamber during the electrodeposition process, facilitates the rapid replenishment of ions near the cathode, alleviates the influence of concentration polarization phenomenon, improves the compactness and smoothness of the deposition layer, and improves the surface quality of the deposition layer. A new method for mechanical properties is provided.
【技术实现步骤摘要】
一种可旋转的超临界电沉积装置
本专利技术属于电化学加工
,尤其涉及一种可旋转的超临界电沉积装置。
技术介绍
基于超临界条件下的电沉积技术是一项新兴的电化学加工技术。超临界流体是指纯净物质处于临界压力和临界温度以上时,所表现出来的一种介于液态和气态的流体。超临界流体具有良好的混溶性和优异的传质性,可以改善电沉积过程中阴极附近的浓差极化现象,溶解析氢现象中产生的氢气,提高镀层内部的均匀性和表面的平整性,从而起到改善镀层性能的作用。超临界电沉积要求在密封的反应釜中进行,因此一般采用在反应釜中放置磁性转子进行磁力搅拌。但磁力搅拌受限于转子的大小和磁力搅拌器的功率,当镀液体积较大时,磁力搅拌无法充分的使镀液流动,影响阴极附近离子的补充。另外也常在反应釜内部设置搅拌器进行机械搅拌,例如中国专利CN106191933A公开了一种基于超临界流体3D电沉积加工零部件的方法,在反应釜内部左右分别设置一个搅拌器进行搅拌,电场分布是固定的,搅拌器无法使整个镀液保持相同的流速,导致阴极附近离子不能及时补充,影响沉积层的性能。因此,设计一种反应釜可旋转的超临界电沉积装置,使得镀液各部分保持相同的流速,具有重要的意义。
技术实现思路
为解决现有技术存在的反应釜内镀液各部分流速不同的问题,本专利技术提供一种可旋转的超临界电沉积装置。为解决上述技术问题,本专利技术所采用的技术方案如下,一种可旋转的超临界电沉积装置,包括反应釜组件和基座组件,所述反应釜组件包括具有内腔的反应釜本体、活塞和第一驱动系统,所述活塞设置在内腔中,且其与内腔之间形成沉积腔,所述第一驱动系统用于驱动活塞运动控制沉积腔 ...
【技术保护点】
1.一种可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:包括反应釜组件(1)和基座组件(2),所述反应釜组件(1)包括具有内腔(111)的反应釜本体(11)、活塞(12)和第一驱动系统,所述活塞(12)设置在内腔(111)中,且其与内腔(111)之间形成沉积腔(112),所述第一驱动系统用于驱动活塞(12)运动控制沉积腔(112)的大小,所述基座组件(2)包括底座(21)、转动设置在底座(21)上的旋转盘(22)和用于驱动旋转盘(22)转动的第二驱动系统,所述旋转盘(22)上设置有釜壁夹具(23),所述釜壁夹具(23)用于夹持反应釜本体(11)。
【技术特征摘要】
1.一种可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:包括反应釜组件(1)和基座组件(2),所述反应釜组件(1)包括具有内腔(111)的反应釜本体(11)、活塞(12)和第一驱动系统,所述活塞(12)设置在内腔(111)中,且其与内腔(111)之间形成沉积腔(112),所述第一驱动系统用于驱动活塞(12)运动控制沉积腔(112)的大小,所述基座组件(2)包括底座(21)、转动设置在底座(21)上的旋转盘(22)和用于驱动旋转盘(22)转动的第二驱动系统,所述旋转盘(22)上设置有釜壁夹具(23),所述釜壁夹具(23)用于夹持反应釜本体(11)。2.根据权利要求1所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述釜壁夹具(23)包括夹爪(231),所述夹爪(231)的侧面向外延伸有卡凸(232),所述夹爪(231)的底端铰接在旋转盘(22)上,所述反应釜本体(11)上开设有与卡凸(232)配合的卡槽(113),当所述卡凸(232)卡入卡槽(113)后,夹爪(231)通过螺栓(233)与反应釜本体(11)固定连接。3.根据权利要求2所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述卡凸(232)的数量为两个,两个所述卡凸(232)沿夹爪(231)从上至下分布。4.根据权利要求3所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述夹爪(231)的数量至少为两个,若干个所述夹爪(231)沿反应釜本体(11)的圆周方向均匀分布。5.根据权利要求1所述的可旋转的超临...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷卫宁,王剑桥,邓瑶,李小平,张扬,侯文达,王康,
申请(专利权)人:江苏理工学院,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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